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掩膜版制作方法 光掩膜版结构设计图技术【小套】

点击数: 更新时间:2021-05-21 15:09
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资料编号:ZL-14018

资料价格:198元

1 掩膜版
2 DNA芯片超对称掩膜版的制备方法
3 掩膜版、掩膜版的版图设计方法和缺陷修复方法
4 浅沟槽隔离区、浅沟槽隔离区掩膜版及浅沟槽隔离区制造方法
5 光刻制程、掩膜版及其制造方法
6 检测新旧掩膜版差别的方法
7 方形掩膜版玻璃基片平面度检测仪
8 偏振掩膜版、光刻系统以及用偏振掩膜版结合偏振光形成图案的方法
9 掩膜版缺陷的判断方法及判断系统
10 亚分辨率辅助图形的设置以及光刻掩膜版的制作方法
11 设计光掩膜版的方法
12 掩膜版版图及其监测化学机械研磨工艺窗口的方法
13 一种确定掩膜版经光刻系统后所成像光照强度分布的方法
14 制作掩膜版的方法、对布局图形进行光学邻近修正方法
15 图形化衬底工艺用步进光刻掩膜版数据拼接方法和修正法
16 一种耐高温硬掩膜版制备方法
17 图形化衬底及其形成方法及用于制作所述衬底的掩膜版
18 灰阶掩膜版、阵列基板及其制备方法、显示装置
19 一种掩膜版、晶圆和测机方法
20 方形掩膜版玻璃基片平面度检测仪 联系我们:133 100 18 7 78
21 掩膜版及掩膜版组
22 掩膜版及掩膜版组
23 掩膜版的自动搬送装置
24 掩膜版
25 氧化羰基铁光刻掩膜版
26 隔离环基层、隔离环基层掩膜版及隔离环基层形成方法
27 TFT结构和灰阶掩膜版结构
28 灰阶掩膜版结构
29 掩膜版的显影方法
30 一种用于掩膜版的定位确认装置及该装置的操作方法
31 补偿型灰阶掩膜版结构
32 FPD掩膜版制作设备制作Reticle掩膜版的方法
33 离子注入测试体、离子注入区掩膜版及离子注入测试方法
34 一种掩膜版显影液恒温方法及恒温装置
35 一种检测掩膜版设计规则的方法
36 检测掩膜版的方法
37 一种监测结构及包括监测结构的掩膜版及其使用方法
38 用于扩大焦深参数工艺窗口的掩膜版、反掩膜版及其曝光方法
39 一种掩膜版倒边磨边机及其加工过程
40 一种修正掩膜版图形的方法和装置
41 用于同一图层曝光的掩膜版及其多重曝光方法
42 光掩膜版及光掩膜
43 掩膜版设计方法
44 光掩膜版及其光掩膜
45 200910197615.7 200910198555.0 201110144874.0 201110147840.7 201110266100.5 201010250997.8 201010268664.8 201010544668.4 201010534162.5 201010560253.6 201010613371.9 201210194780.9 201210197040.0 201210230386.6 02258908.2 200320112204.1 200820028195.0 200820147157.7 200820147200.X 200820212006.5 200820212047.4 200820147155.8 200820158098.3 200920073980.2 200920166836.3 200920166835.9 200920166837.8 201020636483.1 

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1、资料格式:资料全部为PDF格式文件,可复制到电脑自由阅读、打印,也可以用手机阅读,方便快捷,没有任何限制,所有文件均保证正常打开。

2、资料说明:资料都是国家专利文献原版全文内容,含技术背景/原理、材料配方比例、制作方法、工艺步骤、技术关键、结构设计图(部分设备类有),以及发明人姓名、地址/邮编、申请日期、专利号、权利要求等详细信息。每一项专利文献的内容详略都是不同的,平均每一项4-10页,多的有几十页的。

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