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抛光液生产技术 化学机械抛光液加工工艺【小套】

点击数: 更新时间:2021-01-12 23:13
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资料编号:ZL-2583

资料价格:198元

1 超大规模集成电路多层铜布线化学机械全局平面化抛光液
2 抛光液组合物
3 铜化学-机械抛光工艺用抛光液
4 超大规模集成电路多层铜布线中铜与钽的化学机械全局平面化抛光液
5 金属表面抛光液
6 不锈钢表面化学抛光液及化学抛光方法
7 一种加氧化剂酸性硅溶胶抛光液的配制方法
8 抛光液
9 用于不锈钢表面化学抛光的抛光液和方法
10 不锈钢抛光液
11 用于化学机械平面加工的含过氧化物抛光液的稳定方法
12 在半导体晶片化学机械抛光时输送抛光液的系统
13 用于金属和金属氧化物的结构化处理的抛光液和方法
14 铝型材抛光液无能耗简易回收法
15 纳米级抛光液及其制备方法
16 一种浮法抛光液膜厚度测量装置
17 磁流变抛光液及其制备方法
18 用于抛光多晶硅的化学机械抛光液
19 用于抛光低介电材料的化学机械抛光液
20 用于抛光多晶硅的化学机械抛光液
21 非离子型聚合物在自停止多晶硅抛光液制备及使用中的应用
22 抛光液传输设备
23 一种低介电材料抛光液
24 金属抛光液和使用该金属抛光液的抛光方法
25 高效高精度蓝宝石抛光液及其制备方法
26 一种化学机械抛光半导体晶片用的抛光液
27 抛光液恒温输送装置
28 磁流变抛光液流变性测试装置
29 可长时稳定抛光液性能的磁流变抛光液循环装置
30 用于光学加工的水基磁流变抛光液及其制备方法
31 一种用于抛光多晶硅的化学机械抛光液
32 一种用于粮食加工的抛光液雾化装置
33 抛光液内循环系统上水密封装置
34 一种水基纳米金刚石抛光液及其制造方法
35 硫系化合物相变材料化学机械抛光的纳米抛光液及其应用
36 一种化学机械抛光液
37 硫系相变材料化学机械抛光的无磨料抛光液及其应用
38 高介电材料钛酸锶钡化学机械抛光用的纳米抛光液
39 核/壳型纳米粒子研磨剂抛光液组合物及其制备方法
40 抛光液和抛光有色金属材料的方法
41 化学抛光液
42 抛光液组合物
43 一种纳米级蓝宝石衬底的加工方法及其专用抛光液
44 一种有机碱腐蚀介质的稀土抛光液
45 用于化学机械平坦化的多步抛光液
46 集成电路铜互连一步化学机械抛光工艺及相应纳米抛光液
47 可选择性阻隔金属的抛光液
48 钛镍合金电化学抛光液
49 用于大规模集成电路多层布线中钨插塞的抛光液
50 用于铌酸锂光学晶片研磨抛光的抛光液
51 用于微晶玻璃研磨抛光的抛光液
52 用于计算机硬盘基片化学机械抛光的抛光液
53 用于硼酸锂铯晶体的化学机械无水抛光液及平整化方法
54 半导体锑化铟化学机械抛光液
55 蓝宝石衬底材料抛光液及其制备方法
56 硅单晶衬底材料抛光液及其制备方法
57 电子玻璃的纳米SiO2磨料抛光液
58 超大规模集成电路铝布线抛光液
59 用于磷酸氧钛钾晶体的化学机械抛光液
60 一种化学机械抛光单晶氧化镁基片用的抛光液
61 超大规模集成电路多层布线SiO2介质的纳米SiO2磨料抛......
62 化学机械抛光液
63 化学机械抛光液及其用途
64 抛光液
65 金属化学机械抛光的抛光液原位批处理方法及所使用的装置
66 高精度复合抛光液及其生产方法、用途
67 高精度抛光液及其生产方法、用途
68 抛光液体
69 水性抛光液和化学机械抛光方法
70 水基金刚石抛光液及其制备方法
71 一种碱性硅晶片抛光液
72 电解抛光液和其平坦化金属层的方法
73 抛光液以及抛光Ⅱ-Ⅵ族化合物半导体晶片的方法
74 阻挡层用抛光液
75 碱性计算机硬盘抛光液及其生产方法
76 多组分阻挡层抛光液
77 一种高纯度纳米金刚石抛光液及其制备方法
78 微晶玻璃加工用纳米二氧化硅磨料抛光液及其制备方法
79 H62黄铜抛光液及其制备方法
80 抛光液自动滴液装置
81 用于精细表面平整处理的抛光液及其使用方法
82 一种用于锗晶片的抛光液及其制备方法
83 一种用于砷化镓晶片的抛光液及其制备方法
84 一种金属抛光液及其制备方法
85 一种用于玻璃材料的抛光液及其制备方法
86 一种钨抛光液及其制备方法
87 一种用于二氧化硅介质的抛光液及其制备方法
88 一种用于硬盘基片的抛光液及其制备方法
89 一种除藻型抛光液
90 一种防冻型抛光液及其制备方法
91 用于抛光低介电材料的抛光液
92 用于抛光低介电材料的抛光液
93 一种含有混合磨料的低介电材料抛光液
94 抛光液
95 低粘度稳定的非水基磁流变抛光液及其配制方法
96 金属抛光液和抛光方法
97 多晶硅化学机械抛光液
98 氧化铈浆料、氧化铈抛光液以及使用其抛光衬底的方法
99 用于大尺寸金刚石晶圆超精密低损伤抛光的抛光液及制备方法
100 纳米氧化铈复合磨粒抛光液的制备方法
101 一种纳米二氧化硅磨料抛光液的制备方法
102 抛光液及使用该抛光液的抛光方法
103 一种集成电路铜布线的无磨粒化学机械抛光液
104 用于低碳钢纳米压入试样的抛光液
105 铝合金用抛光液
106 一种镁合金用抛光液
107 用于抛光半导体封盖层的抛光液
108 铜抛光中用的纳米二氧化硅磨料抛光液
109 锌和铬加工用的纳米二氧化硅磨料抛光液
110 微晶玻璃加工用的纳米二氧化硅磨料抛光液
111 铝及铝合金材料抛光液
112 硫系化合物相变材料氧化铈化学机械抛光液
113 不锈钢的化学抛光液
114 一种抛光液用氧化铝粉的制备方法
115 可循环使用的抛光液
116 抛光液和抛光方法
117 抛光液
118 抛光液及使用该抛光液的抛光方法
119 一种抛光低介电材料的抛光液
120 一种化学机械抛光液
121 一种金属铜的抛光液
122 一种化学机械抛光液
123 一种金属铜的抛光液
124 一种多晶硅化学机械抛光液
125 一种化学机械抛光液
126 一种化学机械抛光液的制备工艺
127 一种化学机械抛光液
128 一种化学机械抛光液
129 一种化学机械抛光液
130 一种用于铜制程的化学机械抛光液
131 一种用于铜制程的化学机械抛光液
132 一种化学机械抛光液
133 一种化学机械抛光液
134 一种化学机械抛光液
135 一种化学机械抛光液
136 一种阻挡层化学机械抛光液
137 一种化学机械抛光液
138 一种用于阻挡层抛光的化学机械抛光液
139 蓝宝石衬底抛光液及其制作方法
140 一种铝制品化学抛光液及其抛光方法
141 一种用于软脆易潮解晶体的非水基无磨料抛光液
142 用于抛光低介电材料的抛光液
143 用于抛光低介电材料的抛光液
144 一种化学机械抛光液
145 一种化学机械抛光液
146 一种K金首饰无氰电解抛光液及其电解抛光方法
147 用于抛光低介电材料的化学机械抛光液
148 高效无划伤玻璃抛光液及其生产方法
149 用于抛光多晶硅的化学机械抛光液
150 一种化学机械抛光液
151 用于抛光多晶硅的化学机械抛光液
152 非离子型聚合物在自停止多晶硅抛光液制备及使用中的应用
153 一种用于抛光多晶硅的化学机械抛光液
154 SiSb基相变材料用化学机械抛光液
155 一种镁合金的电解抛光液及其表面抛光处理方法
156 抛光液供给控制装置
157 抛光液恒温输送装置 

温馨提示

1、资料格式:资料全部为PDF格式文件,可复制到电脑自由阅读、打印,也可以用手机阅读,方便快捷,没有任何限制,所有文件均保证正常打开。

2、资料说明:资料都是国家专利文献原版全文内容,含技术背景/原理、材料配方比例、制作方法、工艺步骤、技术关键、结构设计图(部分设备类有),以及发明人姓名、地址/邮编、申请日期、专利号、权利要求等详细信息。每一项专利文献的内容详略都是不同的,平均每一项4-10页,多的有几十页的。

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