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1 一种锌镓氧化物陶瓷靶材及其制备方法和应用
2 溅射法生产高稳定性金属膜电阻器用的高阻靶材制造方法
3 无磁屏蔽型铁磁性靶材溅射阴极
4 铟锡氧化物靶材的制备方法
5 溅射靶材
6 Ag合金膜以及Ag合金膜形成用喷溅靶材
7 用于形成栅氧化物膜的硅化铪靶材及其制备方法
8 制备溅射靶材料的方法
9 溅射玻璃镀膜用镍基变形合金靶材
10 氧化铟/氧化锡溅射靶材及其制造方法
11 一种磁光盘记录介质靶材制造方法
12 含混合稀土元素高阻溅射靶材
13 用于制备透明导电薄膜的锌铝氧化物靶材
14 铝合金薄膜及靶材和使用它的薄膜形成方法
15 高密度铟锡氧化物靶材及其制造方法
16 磁光记录靶材及其生产工艺
17 以气喷粉末制作铝合金溅镀靶材的方法
18 金属溅镀靶材的制造方法
19 铝系合金靶材的制造方法及用该方法得到的铝系合金靶材
20 氮化碳超硬薄膜镀覆靶材及其制备方法
21 Co—Fe—Zr系合金溅射靶材及其制造方法
22 一种LaGaO3</sub>基固体电解质靶材的制备方法
23 一种金属靶材与靶托的连接方法
24 金属靶材与靶托的连接方法
25 制取透明功能薄膜的三元金属氧化物陶瓷靶材的制备工艺
26 一种Li掺杂ZnO陶瓷靶材制备工艺
27 一种以适配体作为分子识别元件的碳纳米管晶体管生物传感器及其用于检测靶材料的方法
28 导电氧化物陶瓷溅射靶材的热压制备方法
29 一种钛铝合金靶材的粉末冶金制备方法
30 溅镀靶材的制造方法
31 靶材以及该靶材所制造的薄膜
32 光信息记录用铝合金反射膜及其形成用靶材、记录介质
33 金属电阻材料、溅射靶材、电阻薄膜及其制造方法
34 合金靶材磁控溅射法制备CoSi2</sub>薄膜的方法
35 一种可提高靶材利用率的磁控溅射靶
36 一种用于制作磁性直流磁控溅射钴靶材的方法
37 具有改进表面结构的溅射靶材
38 制备Mo合金制靶材料的方法
39 溅射靶材料及其生产方法
40 氧化物烧结体、溅射靶材、透明导电性薄膜及其制造方法
41 半反射膜或反射膜，光学信息记录介质和溅射靶材
42 溅射金刚石靶材及其制造方法
43 用于改进的磁性层的溅射靶材料
44 光记录介质的反射层形成用银合金溅射靶材
45 采用钛与铝材料的混合物涂覆的衬底
46 高耐热性铝合金配线材料和靶材
47 钽基化合物的陶瓷溅镀靶材及其应用方法和制备方法
48 静电纺丝法制备低密度多孔二氧化锡纳米纤维激光靶材料
49 铝类靶材及其制造方法
50 银合金、其溅射靶材料及其薄膜
51 溅射靶材
52 具有互补斜边以于其间形成倾斜间隙的多靶材牌
53 溅镀靶材
54 溅镀靶材牌的电子束焊接
55 绝缘性靶材及其制造方法、导电性复合氧化膜及设备
56 绝缘性靶材及其制造方法、绝缘性复合氧化膜及装置
57 一种制备溅射靶材料的方法
58 导电薄膜或其保护层用的合金靶材及其制造方法
59 多层膜金属化的靶材
60 一种制造溅射靶材的模锻工艺及其模锻挤压模具
61 利用粉末状靶材制备碲化铋薄膜的单靶溅射方法
62 大尺寸陶瓷溅射靶材的热压烧结成型方法
63 对向靶材式溅镀装置
64 靶材料及其在溅射过程中的应用
65 可消耗材料的厚板及物理气相沉积靶材料
66 用于溅射腔室的靶材和工艺套件组件
67 溅射靶用靶材的制造方法
68 高完整性溅射靶材以及其批量制造方法
69 一种含有掺杂剂元素的石墨靶材的制备方法
70 垂直磁记录介质软磁性底层用钴基合金靶材的制造方法
71 激光等离子EUV光源、靶材构件、胶带构件、靶材构件的制造方法、靶材的提供方法以及EUV曝光装置
72 溅镀靶材的制造方法
73 一种用于承载可转动的溅射靶材的扁平端块
74 一种用于可转动靶材溅射设备的端块
75 软磁性靶材
76 溅镀靶材
77 Fe-Co系靶材及其制造方法
78 用于衬底处理室的处理配件和靶材
79 由InGaO3</sub>(ZnO)结晶相形成的氧化物半导体用溅射靶材及其制造方法
80 靶材与背板的焊接方法
81 一种以喷雾干燥工艺制备AZO粉末及平面和旋转靶材的方法
82 一种ITO靶材的成型方法
83 一种ITO靶材的制备方法
84 一种高密度氧化铟锡靶材的制备方法
85 一种靶材与背板的连接方法
86 一种Si-SiC靶材
87 一种钴酸锂靶材及其制备方法
88 一种铟掺杂氧化锌靶材及透明导电膜的制备方法
89 镓掺杂氧化锌靶材及其透明导电膜的制备方法
90 可旋转溅射靶材支撑圆柱、可旋转溅射靶材、制造可旋转溅射靶材的方法以及涂覆设备
91 一种烧结体氧化镁靶材的杂质控制方法
92 铜铟镓硒靶材的制作方法
93 具有圆形地对称于溅射靶材的RF及DC馈给的物理气相沉积反应器
94 用于形成薄膜晶体管用布线膜的溅射靶材
95 带分配装置的半导体靶材用铸锭的制备工艺
96 全固态薄膜锂离子电池相关靶材及其制造方法
97 半导体及太阳能溅射靶材行业用钨钛合金靶材的制备方法
98 一种高密度低成本氧化锌铝溅射靶材的制造方法
99 一种利用温度梯度控制氧化镁烧结体靶材物理尺寸的方法
100 一种提高烧结体氧化镁靶材体积密度的方法
101 平面电弧金属靶材的初始化方法
102 一种靶材制备装置及其靶材加工方法
103 一种低熔点金属旋转靶材及生产技术
104 可旋转溅射靶材座、可旋转溅射靶材、涂覆设备、制造可旋转溅射靶材的方法、靶材座连接装置、以及将用于溅射......
105 易换靶材组件式旋转靶装置
106 一种磷酸铁锂靶材及其制备方法
107 以等离子喷涂制备圆柱形大面积镀膜靶材及方法
108 光伏吸收层溅射镀膜的铜镓合金旋转靶材及制备方法
109 铜铟镓硒靶材连续溅射制备CIGS太阳电池吸收层的新工艺
110 钽靶材制作方法
111 复合靶材及其制备方法
112 一种溅射靶材用钼铌合金板的制备方法
113 中空状靶材组件
114 钨靶材的制作方法
115 铝铈金属靶材及利用该铝铈金属靶材制作铝铈膜的方法
116 一种用凝胶注模成型制备AZO靶材的方法
117 一种金属电阻膜用Ni-Cr-Si溅射靶材的制造方法
118 一种真空溅射镀膜用硅铝合金中空旋转靶材的制备方法
119 一种包覆热压制备砷靶材的方法
120 铬铝合金靶材的粉末真空热压烧结制备方法
121 镍靶坯及靶材的制造方法
122 钨钛合金靶坯及靶材的制造方法
123 镍靶坯及靶材的制造方法
124 溅射靶材料、其制备方法、及使用其制备的薄膜
125 采用涡流加热靶材的共蒸发制备薄膜的装置
126 利用电流直接加热靶材蒸发制备大面积薄膜的装置
127 采用电弧加热靶材蒸积制备大面积薄膜的装置
128 可延长靶材使用寿命的平面磁控溅射靶
129 溅射式镀膜机用靶材结构
130 真空离子溅镀靶材
131 一种多元素溅射靶材结构
132 真空镀膜机用成型镀膜靶材
133 一种磁控溅射铁磁材料的靶材结构
134 一种靶材晶粒的连续生产装置
135 三角形靶材数控加工用工装卡具
136 长寿命溅射靶材组件
137 焊接靶材与背板的快速感应钎焊装置
138 靶材金属化蒸发镀膜用多功能夹具
139 靶材背板结构
140 靶材和内磁极
141 一种旋转型靶材
142 锌铝氧化物陶瓷靶材表面背铟方法
143 用于反射型平面显示器的反射膜及溅镀靶材的合金材料
144 导电薄膜用的合金靶材及制作方法
145 铝合金薄膜和具有该薄膜的配线电路以及形成此薄膜的靶材
146 从铟锡氧化物废靶材中回收铟的方法
147 高密度ITO靶材及其制造方法
148 溅射靶材
149 使用高电阻硅化物靶材生长硅化物的工艺
150 溅射靶材和透明导电薄膜
151 PVD用筒状靶材
152 等离子体溅射靶材装置及其制造方法
153 具有可施加至靶材的射频电源的物理气相沉积等离子体反应器
154 金属双层结构体及其制造方法以及使用该方法的溅射靶材的再生方法
155 一种p型半导体掺镍氧化铜靶材及其制备方法
156 太阳能电池铜铟镓硒薄膜关键靶材及其制备方法
157 缺陷修补装置及靶材结构
158 复合型相变化记录薄膜以及用以制造该薄膜的靶材与方法
159 SiOx</sub>:Si溅射靶材及其制造及使用方法
160 一种大面积靶材的压力焊接方法
161 透明导电薄膜制备所用的靶材及导电薄膜和电极制造方法
162 TFT LCD电极薄膜制备所用的靶材及靶材和电极薄膜制备方法
163 高真空离子束溅镀靶材利用率增强装置
164 一种大功率X线管用WMo石墨复合阳极靶材的制备方法
165 于激光处理期间的即时的靶材表面轮廓追踪
166 一种制备超细晶粒高纯度金属镍靶材的方法
167 含贵金属溅镀靶材的制作方法
168 一种氧化铟锡靶材的生产方法
169 氧化锌类的非晶质薄膜用溅射靶材及其制造方法
170 一种制备铜铟硒溅射靶材的工艺
171 多孔叠层金属或合金溅射靶材的制备方法
172 一种磁控溅射玫瑰金靶材及其制备方法
173 溅射靶、溅射靶材及其制造方法
174 一种具有多元靶材的溅镀靶
175 TFT LCD电极薄膜制备所用的靶材及靶材和电极薄膜制备方法
176 一种纳米均相ITO粉制备ITO靶材的方法
177 半导体装置、其制造方法以及用于该制造方法的溅射用靶材
178 铜铟镓硒或铜铟铝硒太阳能电池吸收层靶材及其制备方法
179 一种溅射镀膜用高硅含量硅铝合金靶材及其制备方法
180 电弧离子镀方法以及该方法中使用的靶材
181 热等静压法生产ITO靶材的方法
182 用于热等静压法制备靶材的包套及制备靶材的方法
183 一种贵金属靶材的修复方法
184 一种可提高靶材利用率的平面磁控溅射阴极
185 一种由具有不同输出性能特征的激光器提供质量一致的靶材料去除的方法
186 BiFeO3</sub>靶材及薄膜的制备方法
187 一种用于薄膜太阳能电池的氧化锌铝靶材的制备方法
188 反射膜或半透反射膜用的薄膜及溅射靶材以及光记录介质
189 反射膜或半透反射膜用的薄膜及溅射靶材以及光记录介质
190 透明导电膜及其制造方法以及用于其制造的溅射靶材
191 高强度光记录介质保护膜形成用溅镀靶材
192 反射膜或半透反射膜用的薄膜及溅射靶材以及光记录介质
193 反射膜或半透反射膜用的薄膜及溅射靶材以及光记录介质
194 高纯硼化锆/硼化铪粉体及其超高温陶瓷靶材的制备方法
195 一种YBCO超导薄膜靶材的制备方法
196 溅镀用方形TiW靶材表面处理工艺
197 一种制备铜溅射靶材的方法
198 靶材与背板的焊接结构及方法
199 CIS系粉末的制作方法及其靶材的制作方法
200 一种半导体及显示器用高纯铜溅射靶材的制造方法
201 一种钛铝合金靶材快速热压烧结成型工艺
202 靶材结构的制作方法
203 靶材与背板的焊接结构及方法
204 Al-Ni-B系合金溅射靶材
205 显示装置用Al合金膜、显示装置以及溅射靶材
206 靶材与背板的焊接方法
207 靶材与背板的焊接方法
208 靶材结构及其制作方法
209 靶材组件的制作方法
210 靶材与背板的焊接方法
211 一种用于磁控溅射的高纯镍靶材
212 铝靶材坯料与铝合金背板的焊接方法
213 靶材的制作方法
214 ITO溅射靶材的制备方法
215 一种锗掺杂的AZO靶材及其制备方法
216 燃料电池的金属隔板用合金皮膜、其制造方法和溅射用靶材、以及金属隔板和燃料电池
217 铜靶材坯料与铜合金背板的焊接方法
218 掺铌纳米铟锡氧化物粉末及其高密度溅射镀膜靶材的制备方法
219 一种钇掺杂的AZO靶材及其制备方法
220 磁控溅射镀膜系统中提高平面靶材利用率的方法
221 靶材的制作方法
222 铜靶材表面的处理方法
223 钛靶材表面的处理方法
224 一种彩色交流等离子体显示器用烧结体靶材成型用颗粒的混料方法
225 方形靶材的取样方法和检测方法
226 一种CIGS粉末、靶材、薄膜及其制备方法
227 铝靶材表面的处理方法
228 铝靶材的加工方法
229 钛靶材的加工方法
230 铜靶材的加工方法
231 铜靶材的加工方法
232 铜溅射靶材料和溅射法
233 靶材热处理方法
234 靶材坯料的热处理方法
235 溅射靶材以及由该溅射靶材所得的溅射靶
236 靶材塑性变形方法
237 超高纯铝超细晶粒溅射靶材的制备方法
238 含贵金属的金属基陶瓷复合靶材的制造方法
239 靶材的检测方法
240 靶材的检测方法
241 一种多靶材X光管
242 靶材与背板的焊接方法
243 大尺寸靶材组件的焊接方法
244 靶材组件的制作方法
245 靶材组件的制作方法
246 靶材与背板的焊接结构及方法
247 靶材与背板的焊接方法
248 靶材热处理方法
249 靶材塑性变形方法
250 一种复合相变材料靶材及其制备方法
251 一种镍基靶材及生产工艺
252 一种制备铌溅射靶材的方法
253 靶材的制备方法
254 制备相变材料的溅射靶材的方法
255 一种分布式熔焊实现靶材与背板连接的方法
256 具有提高的寿命和溅射均匀度的溅射靶材
257 靶材的制作方法
258 多元金属硫族元素化合物和靶材及涂层材料的制备方法
259 陶瓷溅镀靶材组件及其焊合方法
260 高磁通量的钴铁基合金磁性溅射靶材及其制造方法
261 一种氧化锌基陶瓷溅射靶材的中温制备方法
262 一种CuAlO2</sub>靶材的制备方法
263 注浆成型用的模具、其使用方法及所制成的生胚和ITO靶材
264 制备复合材料的可组装靶材、其制造、修复和改装方法
265 筒状旋转靶材帮定材料中含导电导热弹簧
266 一种用惰性气体保护法制备高品质AZO靶材的方法
267 一种采用掺磷酸锌的靶材生长P型氧化锌薄膜的方法
268 靶材金相组织的显示方法
269 靶材的检测方法
270 溅射靶材的表面处理方法
271 蒸馏法从ITO废靶材中回收铟锡的方法
272 氧化法从ITO废靶材中回收铟锡的方法
273 溅射靶材的塑性变形方法
274 靶材组件的制作方法
275 铜或铜合金溅射靶材的清洗方法
276 高纯度铬靶材切削加工方法
277 拼接靶材形成方法
278 铜合金靶材、其制造方法、及其制成的薄膜及太阳能电池
279 一种高纯度钛靶材的制备工艺
280 靶材组件的焊接方法
281 靶材组件的焊接方法
282 一种大面积靶材与背板的快速焊接方法
283 一种溅射靶材的制造方法
284 多组分氧化物的溅射靶材及其制造方法
285 一种高纯高富钨相钨钛靶材及其制备方法
286 靶材压制液压机
287 形成金属玻璃镀膜的靶材及该靶材形成的复合材料
288 大尺寸靶材超声波处理装置及其处理方法
289 ZnO基粉末-金属复合溅射靶材及其制备方法
290 制备ZnAl靶材的方法以及制得的ZnAl靶材
291 铜靶材组件的制造方法
292 一种高靶材利用率的矩形靶
293 一种控制晶粒度制造ITO靶材的方法
294 二钛酸钡陶瓷靶材的制备方法
295 银-金合金靶材、其制造方法及应用
296 再生溅镀靶材及其制作方法
297 靶材组件的制作方法
298 靶材组件焊接方法
299 单相结构-高密度铟锡氧化物靶材的制备方法
300 磁控溅射靶材表面粗糙度的监测方法和系统
301 一种通过大强度电流生产铝钛合金靶材的方法
302 一种氧化锌基溅射靶材的制备方法
303 一种高稳定性能透明导电膜用AZO溅射靶材及制造方法
304 用于磁控溅射镀膜的导电Nb2</sub>O5-x</sub>靶材及生产方法
305 一种透明导电膜用IZGO溅射靶材及制造方法
306 一种导电的氧化铌靶材、制备方法及其应用
307 靶材生产用锭材的制备方法
308 大尺寸溅射靶材的表面处理方法
309 钽靶材的织构形成方法
310 一种旋转陶瓷靶材的制备方法
311 一种旋转靶材的贴合方法
312 一种ITO靶材背面金属化的方法
313 一种硅基合金旋转靶材及其制备方法
314 一种可提高溅射工艺靶材利用率的方法
315 多晶MgO烧结体及其制造方法以及溅射用MgO靶材
316 一种W-Ti合金靶材的制备方法
317 含硼靶材及其制作方法、薄膜、磁记录媒体
318 一种用于真空磁控溅射的香槟色金靶材及其制备方法
319 一种高纯钼溅射靶材的制备方法
320 一种靶材结构的制作方法
321 一种钨钛合金靶材结构的制作方法
322 金属系溅射靶材
323 铝或铝合金溅射靶材的清洗方法
324 钨钛合金靶材焊接方法
325 靶材、源、EUV光刻设备和使用该设备的器件制造方法
326 用于在激光致等离子体EUV光源中输送靶材料的系统和方法
327 胸腺嘧啶类化合物及其作为分子探针靶材料的用途
328 一种氧化铝靶材和该靶材制备的透明导电薄膜
329 长寿命核反应装置高效靶材的原位沉积和再生方法及系统
330 中空柱状靶材及其组件
331 一种高纯钽溅射靶材的加工工艺
332 溅射靶材用钨钛合金板的制备方法
333 一种超高纯铝细晶、高取向靶材的制备方法
334 钼靶材焊接方法
335 氧化铟锡靶材浆料的制备方法
336 垂直磁记录介质的中间层膜制备用的溅射靶材料和通过使用其制备的薄膜
337 一种安全核废料嬗变靶材及其制备方法
338 一种采用冷等静压和液相烧结制备W-10Ti合金靶材的方法
339 一种玻璃镀膜靶材及其制备方法
340 靶材及设定靶材元素配比方法
341 钨钛合金靶材加工方法和加工装置
342 一种靶材焊接方法
343 光记录介质用铝合金反射膜以及用于形成该反射膜的溅射靶材
344 金银镶嵌靶材及其薄膜的制备方法
345 一种靶材和利用靶材在铝或铝合金基材上镀膜的工艺方法
346 CIGS太阳能光电四元溅镀靶材、其制法、其与靶背板结合方法及其补料方法
347 多元素合金单一靶材制备薄膜太阳能电池的方法
348 A1基合金溅射靶材的制造方法
349 一种钼靶材的加工方法
350 金属混合真空溅射合金靶材材料及其制作方法及用途
351 氧化锌透明导电薄膜的低温制备方法及专用靶材
352 光信息记录介质用反射膜及光信息记录介质反射膜形成用溅射靶材
353 一种新的ZrO2</sub>陶瓷靶材制备方法
354 高致密度氧化镁靶材的制造方法
355 靶材冷却装置及方法
356 高纯度铜靶材的制作方法
357 一种靶材加工的工具
358 一种安全核废料嬗变靶材及其制备方法
359 溅射靶材
360 提升靶材利用率的构造
361 在靶材上同时使用射频和直流功率的超均匀溅射沉积法
362 一种钨合金靶材及其制备方法
363 钨合金靶材铣削加工方法
364 一种高纯铜溅射靶材的制备方法
365 一种Sn-Si靶材
366 用于在垂直磁记录介质中的软磁膜层的合金
367 一种靶材的加工方法
368 氧化物烧结体及溅射靶材
369 一种氧气氛无压烧结法制备ITO靶材的方法
370 一种玻璃镀膜用ZnSn溅射靶材的制造方法
371 一种生长碲镉汞薄膜的靶材制备方法
372 靶材基座及采用该靶材基座的镀膜装置
373 碲化铥靶材的生产工艺
374 一种磷酸锂靶材及其制备方法
375 一种靶材及应用该靶材的半导体器件加工设备
376 铬合金靶材及具有硬质薄膜的金属材料
377 一种氧化锌基宽禁带陶瓷靶材及其制备方法
378 硅器件结构及其形成时所使用的溅射靶材料
379 一种金属离子掺杂二氧化钛靶材的制备方法以及由此获得的靶材
380 Cu电极保护膜用NiCu合金靶材以及叠层膜
381 一种铝钛硅合金靶材及其制备方法
382 热等静压生产平板显示器用钼合金溅射靶材的方法
383 溅镀用旋转靶材的粘接合成物及利用上述合成物的旋转靶材粘接方法
384 用于电弧离子镀沉积磁性材料涂层的复合结构靶材及应用
385 钨钛靶材坯料的制作方法
386 钴靶材组件的焊接方法
387 高纯钽靶材制备方法
388 铜锌锡硫或铜锌锡硒薄膜太阳能电池吸收层靶材及其制备方法和应用
389 一种靶材级超高纯钽金属的制取方法
390 靶材结构的制作方法
391 防止反溅射物质剥落的靶材及膜层的形成方法
392 平板显示器的大型高纯钼平面靶材的生产工艺方法
393 铜靶材坯块的检测方法及铜靶材组件的形成方法
394 一种生产泡沫镍金属化的溅射阴极靶材结构
395 一种制造溅射靶材的挤压模锻挤压模具
396 盘状磁性靶材PTF的测试装置
397 可均匀镀膜的靶材装置
398 高真空离子束溅镀靶材利用率增强装置
399 溅镀靶材的冷却装置
400 用于溅镀设备更换靶材的辅助装置
401 一种可提高靶材利用率的平面磁控溅射阴极
402 多元素溅射靶材结构
403 靶材装置
404 铜或铜合金溅射靶材包装件
405 用于偏振二次靶X射线荧光光谱仪的多靶材靶盘装置
406 一种溅射靶材的冷却装置
407 一种磁控溅射镀膜设备中的靶材结构
408 铝或铝合金溅射靶材包装件
409 靶材压制液压机
410 靶材与背板实现精确定位的钎焊装置
411 靶材表面喷砂系统
412 圆形铁磁性靶材多圆周PTF检测装置
413 管靶材组件
414 柱状电极靶材装置
415 一种改进的平面靶材
416 一种长寿命溅射靶材
417 光盘薄膜制备中磁控溅射靶材装置
418 靶材装置
419 一种安全核废料嬗变靶材
420 靶材结构及其溅镀设备
421 靶材生产用夹具
422 一种平面陶瓷靶材磨边夹具
423 一种平面陶瓷靶材磨边倒角夹具
424 一种防粘模平面陶瓷靶材成型模具
425 一种平面陶瓷靶材模压成型脱膜装置
426 一种应用于靶材钎焊的加热系统