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1 溅射法生产高稳定性金属膜电阻器用的高阻靶材制造方法
2 Ag合金膜以及Ag合金膜形成用喷溅靶材
3 用于形成栅氧化物膜的硅化铪靶材及其制备方法
4 溅射玻璃镀膜用镍基变形合金靶材
5 用于制备透明导电薄膜的锌铝氧化物靶材
6 铝合金薄膜及靶材和使用它的薄膜形成方法
7 氮化碳超硬薄膜镀覆靶材及其制备方法
8 制取透明功能薄膜的三元金属氧化物陶瓷靶材的制备工艺
9 靶材以及该靶材所制造的薄膜
10 光信息记录用铝合金反射膜及其形成用靶材、记录介质
11 金属电阻材料、溅射靶材、电阻薄膜及其制造方法
12 合金靶材磁控溅射法制备CoSi2</sub>薄膜的方法
13 氧化物烧结体、溅射靶材、透明导电性薄膜及其制造方法
14 半反射膜或反射膜，光学信息记录介质和溅射靶材
15 银合金、其溅射靶材料及其薄膜
16 绝缘性靶材及其制造方法、导电性复合氧化膜及设备
17 绝缘性靶材及其制造方法、绝缘性复合氧化膜及装置
18 导电薄膜或其保护层用的合金靶材及其制造方法
19 多层膜金属化的靶材
20 利用粉末状靶材制备碲化铋薄膜的单靶溅射方法
21 一种铟掺杂氧化锌靶材及透明导电膜的制备方法
22 镓掺杂氧化锌靶材及其透明导电膜的制备方法
23 用于形成薄膜晶体管用布线膜的溅射靶材
24 全固态薄膜锂离子电池相关靶材及其制造方法
25 以等离子喷涂制备圆柱形大面积镀膜靶材及方法
26 光伏吸收层溅射镀膜的铜镓合金旋转靶材及制备方法
27 铝铈金属靶材及利用该铝铈金属靶材制作铝铈膜的方法
28 一种金属电阻膜用Ni-Cr-Si溅射靶材的制造方法
29 一种真空溅射镀膜用硅铝合金中空旋转靶材的制备方法
30 溅射靶材料、其制备方法、及使用其制备的薄膜
31 采用涡流加热靶材的共蒸发制备薄膜的装置
32 利用电流直接加热靶材蒸发制备大面积薄膜的装置
33 采用电弧加热靶材蒸积制备大面积薄膜的装置
34 溅射式镀膜机用靶材结构
35 真空镀膜机用成型镀膜靶材
36 靶材金属化蒸发镀膜用多功能夹具
37 用于反射型平面显示器的反射膜及溅镀靶材的合金材料
38 导电薄膜用的合金靶材及制作方法
39 铝合金薄膜和具有该薄膜的配线电路以及形成此薄膜的靶材
40 溅射靶材和透明导电薄膜
41 太阳能电池铜铟镓硒薄膜关键靶材及其制备方法
42 复合型相变化记录薄膜以及用以制造该薄膜的靶材与方法
43 透明导电薄膜制备所用的靶材及导电薄膜和电极制造方法
44 氧化锌类的非晶质薄膜用溅射靶材及其制造方法
45 一种溅射镀膜用高硅含量硅铝合金靶材及其制备方法
46 BiFeO3</sub>靶材及薄膜的制备方法
47 一种用于薄膜太阳能电池的氧化锌铝靶材的制备方法
48 反射膜或半透反射膜用的薄膜及溅射靶材以及光记录介质
49 反射膜或半透反射膜用的薄膜及溅射靶材以及光记录介质
50 透明导电膜及其制造方法以及用于其制造的溅射靶材
51 高强度光记录介质保护膜形成用溅镀靶材
52 反射膜或半透反射膜用的薄膜及溅射靶材以及光记录介质
53 反射膜或半透反射膜用的薄膜及溅射靶材以及光记录介质
54 一种YBCO超导薄膜靶材的制备方法
55 显示装置用Al合金膜、显示装置以及溅射靶材
56 燃料电池的金属隔板用合金皮膜、其制造方法和溅射用靶材、以及金属隔板和燃料电池
57 掺铌纳米铟锡氧化物粉末及其高密度溅射镀膜靶材的制备方法
58 磁控溅射镀膜系统中提高平面靶材利用率的方法
59 一种CIGS粉末、靶材、薄膜及其制备方法
60 一种采用掺磷酸锌的靶材生长P型氧化锌薄膜的方法
61 铜合金靶材、其制造方法、及其制成的薄膜及太阳能电池
62 形成金属玻璃镀膜的靶材及该靶材形成的复合材料
63 一种高稳定性能透明导电膜用AZO溅射靶材及制造方法
64 用于磁控溅射镀膜的导电Nb2</sub>O5-x</sub>靶材及生产方法
65 一种透明导电膜用IZGO溅射靶材及制造方法
66 含硼靶材及其制作方法、薄膜、磁记录媒体
67 一种氧化铝靶材和该靶材制备的透明导电薄膜
68 垂直磁记录介质的中间层膜制备用的溅射靶材料和通过使用其制备的薄膜
69 一种玻璃镀膜靶材及其制备方法
70 光记录介质用铝合金反射膜以及用于形成该反射膜的溅射靶材
71 金银镶嵌靶材及其薄膜的制备方法
72 一种靶材和利用靶材在铝或铝合金基材上镀膜的工艺方法
73 多元素合金单一靶材制备薄膜太阳能电池的方法
74 氧化锌透明导电薄膜的低温制备方法及专用靶材
75 光信息记录介质用反射膜及光信息记录介质反射膜形成用溅射靶材
76 用于在垂直磁记录介质中的软磁膜层的合金
77 一种玻璃镀膜用ZnSn溅射靶材的制造方法
78 一种生长碲镉汞薄膜的靶材制备方法
79 靶材基座及采用该靶材基座的镀膜装置
80 铬合金靶材及具有硬质薄膜的金属材料
81 Cu电极保护膜用NiCu合金靶材以及叠层膜
82 铜锌锡硫或铜锌锡硒薄膜太阳能电池吸收层靶材及其制备方法和应用
83 防止反溅射物质剥落的靶材及膜层的形成方法
84 可均匀镀膜的靶材装置
85 一种磁控溅射镀膜设备中的靶材结构