硅晶体生长方法 硅晶体加工 碳化硅晶体生产技术【小套】
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1 用于可编程逻辑设备中绝缘体外延硅晶体管的设备和方法
2 用于控制硅晶体生长使生长速率和直径的偏差减至最小的方法
3 降低绝缘体上的硅晶体管源漏串联电阻的结构及实现方法
4 用于将砷掺杂剂加入硅晶体生长工艺中的方法和装置
5 用于在直拉法生长的硅晶体中得到低电阻率的多级砷掺杂法
6 97102309.3 92109354.3 96114458.0 96193285.6 98112814.9 97192084.2 98809673.0 99123180.5 99812022.7 99805555.7 99807092.0 99807420.9 00805352.9 00814001.4 200610113722.3 200710161950.2 85104089 200410004728.8 200410049388.0 02823012.4 200410061587.3 03814624.X 200510128854.9 200510046899.1 200510087833.7 200480016482.4 200480021731.9 200610025928.0 200480026416.5 200610088688.9 200510029993.6 200510107198.4
39 制作应变硅晶体管的方法
40 硅晶体生长炉用高纯固化炭毡制造方法
41 高电压绝缘体上硅晶体管及其制造方法
42 用于制造深结绝缘体上硅晶体管的方法
43 制造高品质大尺寸碳化硅晶体的方法
44 一种用于硅晶体材料缺陷显示的腐蚀液及其使用方法
45 一种硅晶体切割辅助工具
46 硅晶体线切割设备
47 定向凝固法生长硅晶体时控制坩埚底面结晶成核的方法
48 一种生长薄板硅晶体的方法
49 制备用于硅晶体生长的硅粉熔体的方法
50 精制硅的方法、设备和获得的硅晶体
51 碳化硅晶体的定型定向的切割方法
52 大应力碳化硅晶体的初加工方法
53 一种PVT法生长碳化硅晶体的方法及其装置
54 一种铸造法生长硅晶体的装料方法以及生长硅晶体的工艺
55 硅晶体管自动／手动两用测试仪
56 硅晶体线切割机
57 一种用于铸造法生长硅晶体的热交换台
58 一种碳化硅晶体生长装置
59 在用于量子计算机的硅晶体中的替代的施主原子
60 使用可变磁场控制生长的硅晶体的熔体-固体界面形状
61 一种硅晶体的生产方法
62 应变硅晶体管的锗硅和多晶硅栅极结构
63 低含氧量硅晶体的制备方法
64 一种绿色荧光纳米硅晶体
65 一种低氧含量硅晶体的制备方法及设备
66 一种低含氧量硅晶体的制备方法
67 太阳能级硅晶体的制备及提纯方法
68 一种含有掺杂元素的太阳能级硅晶体的制备方法
69 一种可去除含碳杂质的太阳能级硅晶体的制备方法
70 一种用于生长高质量碳化硅晶体的籽晶托
71 一种以中子辐照的碳化硅晶体为传感器的测温方法
72 一种利用电选从硅晶体切割液中回收多晶硅材料的方法
73 一种大直径硅晶体生长装置
74 用Si<sup>+</sup>自注入制备室温下硅晶体D1</sub>线发光材料的方法
75 通过避免几乎不溶性气体引入熔体来减少硅晶体中的气穴
76 具有双超浅隔离结构的多点式硅晶体管
77 具有双超浅隔离结构的多点式绝缘硅晶体管
78 具有双超浅隔离结构的硅晶体管及其制作方法
79 双向气流的硅晶体生长装置
80 一种CZ硅晶体生长炉碳－碳复合材料导流筒及其制备方法
81 一种制备高纯半绝缘碳化硅晶体的方法
82 一种用于生长高质量导电型碳化硅晶体的方法
83 硅晶体加工过程中废砂浆的处理工艺
84 应用酸洗提供提纯的硅晶体
85 用于处理硅粉末来获得硅晶体的方法
86 硅晶体电池表面结构及其制造方法
87 一种用于定向凝固法生长硅晶体的引晶导向模
88 双室结构碳化硅晶体生长装置
89 一种太阳能级硅晶体的热处理方法
90 多线切割机分段切割碳化硅晶体的方法
91 一种降低碳化硅晶体应力的退火工艺
92 一种多晶硅晶体生长炉热场结构
93 使用不平衡的磁场和共转来控制生长硅晶体的熔体-固体界面形状
94 用于定向凝固法生长硅晶体的引晶模具及晶体生长方法
95 201110264570.8 201110267894.7 201110265497.6 201080037429.8 201180002919.9 201010588052.7 201210019079.3 201080043770.4 201180004389.1 201210134910.X 201210141799.7 03201339.6 03273533.2 200820162766.X 200820109366.2 200820180536.6 200920032970.4 201020120042.6 200920187003.5 200920298102.0 201020291667.9 201020690891.5 201120003753.X
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