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1 一种锌镓氧化物陶瓷靶材及其制备方法和应用
2 溅射法生产高稳定性金属膜电阻器用的高阻靶材制造方法
3 无磁屏蔽型铁磁性靶材溅射阴极
4 铟锡氧化物靶材的制备方法
5 溅射靶材
6 Ag合金膜以及Ag合金膜形成用喷溅靶材
7 用于形成栅氧化物膜的硅化铪靶材及其制备方法
8 制备溅射靶材料的方法
9 溅射玻璃镀膜用镍基变形合金靶材
10 氧化铟/氧化锡溅射靶材及其制造方法
11 一种磁光盘记录介质靶材制造方法
12 含混合稀土元素高阻溅射靶材
13 用于制备透明导电薄膜的锌铝氧化物靶材
14 铝合金薄膜及靶材和使用它的薄膜形成方法
15 高密度铟锡氧化物靶材及其制造方法
16 磁光记录靶材及其生产工艺
17 以气喷粉末制作铝合金溅镀靶材的方法
18 金属溅镀靶材的制造方法
19 铝系合金靶材的制造方法及用该方法得到的铝系合金靶材
20 氮化碳超硬薄膜镀覆靶材及其制备方法
21 Co—Fe—Zr系合金溅射靶材及其制造方法
22 一种LaGaO3</sub>基固体电解质靶材的制备方法
23 一种金属靶材与靶托的连接方法
24 金属靶材与靶托的连接方法
25 制取透明功能薄膜的三元金属氧化物陶瓷靶材的制备工艺
26 一种Li掺杂ZnO陶瓷靶材制备工艺
27 一种以适配体作为分子识别元件的碳纳米管晶体管生物传感器及其用于检测靶材料的方法
28 导电氧化物陶瓷溅射靶材的热压制备方法
29 一种钛铝合金靶材的粉末冶金制备方法
30 溅镀靶材的制造方法
31 靶材以及该靶材所制造的薄膜
32 光信息记录用铝合金反射膜及其形成用靶材、记录介质
33 金属电阻材料、溅射靶材、电阻薄膜及其制造方法
34 合金靶材磁控溅射法制备CoSi2</sub>薄膜的方法
35 一种可提高靶材利用率的磁控溅射靶
36 一种用于制作磁性直流磁控溅射钴靶材的方法
37 具有改进表面结构的溅射靶材
38 制备Mo合金制靶材料的方法
39 溅射靶材料及其生产方法
40 氧化物烧结体、溅射靶材、透明导电性薄膜及其制造方法
41 半反射膜或反射膜，光学信息记录介质和溅射靶材
42 溅射金刚石靶材及其制造方法
43 用于改进的磁性层的溅射靶材料
44 光记录介质的反射层形成用银合金溅射靶材
45 采用钛与铝材料的混合物涂覆的衬底
46 高耐热性铝合金配线材料和靶材
47 钽基化合物的陶瓷溅镀靶材及其应用方法和制备方法
48 静电纺丝法制备低密度多孔二氧化锡纳米纤维激光靶材料
49 铝类靶材及其制造方法
50 银合金、其溅射靶材料及其薄膜
51 溅射靶材
52 具有互补斜边以于其间形成倾斜间隙的多靶材牌
53 溅镀靶材
54 溅镀靶材牌的电子束焊接
55 绝缘性靶材及其制造方法、导电性复合氧化膜及设备
56 绝缘性靶材及其制造方法、绝缘性复合氧化膜及装置
57 一种制备溅射靶材料的方法
58 导电薄膜或其保护层用的合金靶材及其制造方法
59 多层膜金属化的靶材
60 一种制造溅射靶材的模锻工艺及其模锻挤压模具
61 利用粉末状靶材制备碲化铋薄膜的单靶溅射方法
62 大尺寸陶瓷溅射靶材的热压烧结成型方法
63 对向靶材式溅镀装置
64 靶材料及其在溅射过程中的应用
65 可消耗材料的厚板及物理气相沉积靶材料
66 用于溅射腔室的靶材和工艺套件组件
67 溅射靶用靶材的制造方法
68 高完整性溅射靶材以及其批量制造方法
69 一种含有掺杂剂元素的石墨靶材的制备方法
70 垂直磁记录介质软磁性底层用钴基合金靶材的制造方法
71 激光等离子EUV光源、靶材构件、胶带构件、靶材构件的制造方法、靶材的提供方法以及EUV曝光装置
72 溅镀靶材的制造方法
73 一种用于承载可转动的溅射靶材的扁平端块
74 一种用于可转动靶材溅射设备的端块
75 软磁性靶材
76 溅镀靶材
77 Fe-Co系靶材及其制造方法
78 用于衬底处理室的处理配件和靶材
79 由InGaO3</sub>(ZnO)结晶相形成的氧化物半导体用溅射靶材及其制造方法
80 靶材与背板的焊接方法
81 一种以喷雾干燥工艺制备AZO粉末及平面和旋转靶材的方法
82 一种ITO靶材的成型方法
83 一种ITO靶材的制备方法
84 一种高密度氧化铟锡靶材的制备方法
85 一种靶材与背板的连接方法
86 一种Si-SiC靶材
87 一种钴酸锂靶材及其制备方法
88 一种铟掺杂氧化锌靶材及透明导电膜的制备方法
89 镓掺杂氧化锌靶材及其透明导电膜的制备方法
90 可旋转溅射靶材支撑圆柱、可旋转溅射靶材、制造可旋转溅射靶材的方法以及涂覆设备
91 一种烧结体氧化镁靶材的杂质控制方法
92 铜铟镓硒靶材的制作方法
93 具有圆形地对称于溅射靶材的RF及DC馈给的物理气相沉积反应器
94 用于形成薄膜晶体管用布线膜的溅射靶材
95 带分配装置的半导体靶材用铸锭的制备工艺
96 全固态薄膜锂离子电池相关靶材及其制造方法
97 半导体及太阳能溅射靶材行业用钨钛合金靶材的制备方法
98 一种高密度低成本氧化锌铝溅射靶材的制造方法
99 一种利用温度梯度控制氧化镁烧结体靶材物理尺寸的方法
100 一种提高烧结体氧化镁靶材体积密度的方法
101 平面电弧金属靶材的初始化方法
102 一种靶材制备装置及其靶材加工方法
103 一种低熔点金属旋转靶材及生产技术
104 可旋转溅射靶材座、可旋转溅射靶材、涂覆设备、制造可旋转溅射靶材的方法、靶材座连接装置、以及将用于溅射......
105 易换靶材组件式旋转靶装置
106 一种磷酸铁锂靶材及其制备方法
107 以等离子喷涂制备圆柱形大面积镀膜靶材及方法
108 光伏吸收层溅射镀膜的铜镓合金旋转靶材及制备方法
109 铜铟镓硒靶材连续溅射制备CIGS太阳电池吸收层的新工艺
110 钽靶材制作方法
111 复合靶材及其制备方法
112 一种溅射靶材用钼铌合金板的制备方法
113 中空状靶材组件
114 钨靶材的制作方法
115 铝铈金属靶材及利用该铝铈金属靶材制作铝铈膜的方法
116 一种用凝胶注模成型制备AZO靶材的方法
117 一种金属电阻膜用Ni-Cr-Si溅射靶材的制造方法
118 一种真空溅射镀膜用硅铝合金中空旋转靶材的制备方法
119 一种包覆热压制备砷靶材的方法
120 铬铝合金靶材的粉末真空热压烧结制备方法
121 镍靶坯及靶材的制造方法
122 钨钛合金靶坯及靶材的制造方法
123 镍靶坯及靶材的制造方法
124 溅射靶材料、其制备方法、及使用其制备的薄膜
125 靶材热处理方法
126 玻璃基板薄膜溅射靶材及其制备方法
127 一种靶材功率加载方法、靶材电源及半导体处理设备
128 用于PVD腔室的溅射靶材
129 镍靶坯及靶材的制造方法
130 一种改型磁控溅射靶材部件及其方法
131 高纯钴靶材的制备方法
132 靶材的真空包装方法
133 高纯钴靶材的制备方法
134 一种钌金属溅射靶材的制备方法
135 用于后视镜的靶材、后视镜及其制造方法
136 一种FeCoTaZr系合金溅射靶材及其制造方法
137 铜背板与靶材的焊接方法
138 一种溅射用铌管状靶材的制备方法
139 钨靶材组件的焊接方法
140 靶材与背板的焊接方法
141 钴靶材的加工方法
142 镍靶材组件的加工方法及加工装置
143 溅射靶材包装箱
144 一种磁控溅射用靶材
145 靶材的焊接检测方法
146 一种管状靶材的粘接方法
147 钨靶材的制作方法
148 钽粉末的提纯方法及钽靶材
149 垂直磁记录介质中的合金靶材及其制备方法
150 高纯钽靶材的制备方法
151 高纯钽靶材的制备方法和高纯钽靶材
152 用于制作薄膜太阳能电池的薄膜化合物的靶材、薄膜太阳能电池的制作方法及薄膜太阳能电池
153 一种靶材表面的加工方法
154 一种碲化镉靶材的制作方法
155 一种高纯硫系相变合金靶材及其制备方法
156 陶瓷材料、半导体制造装置用构件、溅射靶材及陶瓷材料的制造方法
157 陶瓷材料、层叠体、半导体制造装置用构件及溅射靶材
158 Mn-Co-Ni-O薄膜材料磁控溅射靶材制作方法
159 铟靶材及其制造方法
160 垂直磁记录介质的中间层膜制备用的溅射靶材料和通过使用其制备的薄膜
161 LiCoO2</sub>烧结体的制造方法及溅射靶材
162 LiCoO2</sub>烧结体的制造方法及溅射靶材
163 铟靶材及其制造方法
164 薄膜晶体管的半导体层用氧化物及溅射靶材以及薄膜晶体管
165 一种磁控溅射用管状铌靶材的制备方法
166 一种AZO陶瓷靶材中氧化锌和氧化铝含量的测定方法
167 用于垂直磁记录介质中软磁性膜层的CoFeNi-系合金和溅射靶材料
168 溅射靶材维护用管道系统
169 银靶材溅射系统
170 氧化锡陶瓷溅射靶材及其制备方法
171 一种靶材与背板焊接方法
172 硅靶材表面处理方法
173 铜溅射靶材料和溅射法
174 用于在激光产生的等离子体远紫外光源中的靶材传送保护的系统和方法
175 一种高纯低密度ITO靶材及其制备方法
176 用于支撑可旋转靶材的装置和溅射设备
177 未结合的旋转半导体靶材和它们的溅射方法
178 溅射靶材
179 电子部件用层叠配线膜和被覆层形成用溅射靶材
180 电子部件用层叠布线膜以及覆盖层形成用溅射靶材
181 一种高致密铬合金靶材的生产方法
182 高性能钽靶材的热轧工艺
183 Cu-Mn合金溅射靶材、使用其的薄膜晶体管配线以及薄膜晶体管
184 圆筒型溅射靶材、使用其的配线基板以及薄膜晶体管
185 一种靶材使用检测系统和方法
186 靶材背管的磁铁配置、包括所述磁铁配置的靶材背管、圆柱状靶材组件及溅射系统
187 采用涡流加热靶材的共蒸发制备薄膜的装置
188 利用电流直接加热靶材蒸发制备大面积薄膜的装置
189 采用电弧加热靶材蒸积制备大面积薄膜的装置
190 可延长靶材使用寿命的平面磁控溅射靶
191 溅射式镀膜机用靶材结构
192 真空离子溅镀靶材
193 一种多元素溅射靶材结构
194 真空镀膜机用成型镀膜靶材
195 一种磁控溅射铁磁材料的靶材结构
196 一种靶材晶粒的连续生产装置
197 三角形靶材数控加工用工装卡具
198 长寿命溅射靶材组件
199 焊接靶材与背板的快速感应钎焊装置
200 靶材金属化蒸发镀膜用多功能夹具
201 靶材背板结构
202 靶材和内磁极
203 一种旋转型靶材
204 一种靶材真空溅射移位装置
205 一种多弧离子镀用双层复合结构钛铝靶材
206 易换靶材组件式旋转靶装置
207 一种合金靶材的矫直装置
208 用于制备铝及铝基合金旋转靶材的模具
209 一种低熔点带有内衬管合金旋转靶材的连铸装置
210 用于真空溅镀的平面Sn靶材
211 溅镀靶材检测机构
212 一种组合式磁控溅射靶材
213 光盘生产线溅镀机专用靶材
214 一种溅射靶材包装组件
215 一种溅射靶材
216 靶材固定结构
217 一种组合式钼旋转溅射管形靶材
218 磁控溅射靶材
219 镀膜靶材自动成型机
220 一种大尺寸陶瓷靶材的压力注浆成型模具
221 一种新型的靶材固定装置
222 靶材检测夹具
223 新型靶材篮具
224 靶材背板
225 一种提高靶材溅射均匀性的旋转平面磁控溅射靶
226 锌铝氧化物陶瓷靶材表面背铟方法
227 用于反射型平面显示器的反射膜及溅镀靶材的合金材料
228 导电薄膜用的合金靶材及制作方法
229 铝合金薄膜和具有该薄膜的配线电路以及形成此薄膜的靶材
230 从铟锡氧化物废靶材中回收铟的方法
231 高密度ITO靶材及其制造方法
232 溅射靶材
233 使用高电阻硅化物靶材生长硅化物的工艺
234 溅射靶材和透明导电薄膜
235 PVD用筒状靶材
236 等离子体溅射靶材装置及其制造方法
237 具有可施加至靶材的射频电源的物理气相沉积等离子体反应器
238 金属双层结构体及其制造方法以及使用该方法的溅射靶材的再生方法
239 一种p型半导体掺镍氧化铜靶材及其制备方法
240 太阳能电池铜铟镓硒薄膜关键靶材及其制备方法
241 缺陷修补装置及靶材结构
242 复合型相变化记录薄膜以及用以制造该薄膜的靶材与方法
243 SiOx</sub>:Si溅射靶材及其制造及使用方法
244 一种大面积靶材的压力焊接方法
245 透明导电薄膜制备所用的靶材及导电薄膜和电极制造方法
246 TFT LCD电极薄膜制备所用的靶材及靶材和电极薄膜制备方法
247 高真空离子束溅镀靶材利用率增强装置
248 一种大功率X线管用WMo石墨复合阳极靶材的制备方法
249 于激光处理期间的即时的靶材表面轮廓追踪
250 一种制备超细晶粒高纯度金属镍靶材的方法
251 含贵金属溅镀靶材的制作方法
252 一种氧化铟锡靶材的生产方法
253 氧化锌类的非晶质薄膜用溅射靶材及其制造方法
254 一种制备铜铟硒溅射靶材的工艺
255 多孔叠层金属或合金溅射靶材的制备方法
256 一种磁控溅射玫瑰金靶材及其制备方法
257 溅射靶、溅射靶材及其制造方法
258 一种具有多元靶材的溅镀靶
259 TFT LCD电极薄膜制备所用的靶材及靶材和电极薄膜制备方法
260 一种纳米均相ITO粉制备ITO靶材的方法
261 半导体装置、其制造方法以及用于该制造方法的溅射用靶材
262 铜铟镓硒或铜铟铝硒太阳能电池吸收层靶材及其制备方法
263 一种溅射镀膜用高硅含量硅铝合金靶材及其制备方法
264 电弧离子镀方法以及该方法中使用的靶材
265 热等静压法生产ITO靶材的方法
266 用于热等静压法制备靶材的包套及制备靶材的方法
267 一种贵金属靶材的修复方法
268 一种可提高靶材利用率的平面磁控溅射阴极
269 一种由具有不同输出性能特征的激光器提供质量一致的靶材料去除的方法
270 BiFeO3</sub>靶材及薄膜的制备方法
271 一种用于薄膜太阳能电池的氧化锌铝靶材的制备方法
272 反射膜或半透反射膜用的薄膜及溅射靶材以及光记录介质
273 反射膜或半透反射膜用的薄膜及溅射靶材以及光记录介质
274 透明导电膜及其制造方法以及用于其制造的溅射靶材
275 高强度光记录介质保护膜形成用溅镀靶材
276 反射膜或半透反射膜用的薄膜及溅射靶材以及光记录介质
277 反射膜或半透反射膜用的薄膜及溅射靶材以及光记录介质
278 高纯硼化锆/硼化铪粉体及其超高温陶瓷靶材的制备方法
279 一种YBCO超导薄膜靶材的制备方法
280 溅镀用方形TiW靶材表面处理工艺
281 一种制备铜溅射靶材的方法
282 靶材与背板的焊接结构及方法
283 CIS系粉末的制作方法及其靶材的制作方法
284 一种半导体及显示器用高纯铜溅射靶材的制造方法
285 一种钛铝合金靶材快速热压烧结成型工艺
286 靶材结构的制作方法
287 靶材与背板的焊接结构及方法
288 Al-Ni-B系合金溅射靶材
289 显示装置用Al合金膜、显示装置以及溅射靶材
290 靶材与背板的焊接方法
291 靶材与背板的焊接方法
292 靶材结构及其制作方法
293 靶材组件的制作方法
294 靶材与背板的焊接方法
295 一种用于磁控溅射的高纯镍靶材
296 铝靶材坯料与铝合金背板的焊接方法
297 靶材的制作方法
298 ITO溅射靶材的制备方法
299 一种锗掺杂的AZO靶材及其制备方法
300 燃料电池的金属隔板用合金皮膜、其制造方法和溅射用靶材、以及金属隔板和燃料电池
301 铜靶材坯料与铜合金背板的焊接方法
302 掺铌纳米铟锡氧化物粉末及其高密度溅射镀膜靶材的制备方法
303 一种钇掺杂的AZO靶材及其制备方法
304 磁控溅射镀膜系统中提高平面靶材利用率的方法
305 靶材的制作方法，客服QQ:1134`268`395
306 铜靶材表面的处理方法
307 钛靶材表面的处理方法
308 一种彩色交流等离子体显示器用烧结体靶材成型用颗粒的混料方法
309 方形靶材的取样方法和检测方法
310 一种CIGS粉末、靶材、薄膜及其制备方法
311 铝靶材表面的处理方法
312 铝靶材的加工方法
313 钛靶材的加工方法
314 铜靶材的加工方法
315 铜靶材的加工方法
316 铜溅射靶材料和溅射法
317 靶材热处理方法
318 靶材坯料的热处理方法
319 溅射靶材以及由该溅射靶材所得的溅射靶
320 靶材塑性变形方法
321 超高纯铝超细晶粒溅射靶材的制备方法
322 含贵金属的金属基陶瓷复合靶材的制造方法
323 靶材的检测方法
324 靶材的检测方法
325 一种多靶材X光管
326 靶材与背板的焊接方法
327 大尺寸靶材组件的焊接方法
328 靶材组件的制作方法
329 靶材组件的制作方法
330 靶材与背板的焊接结构及方法
331 靶材与背板的焊接方法
332 靶材热处理方法
333 靶材塑性变形方法
334 一种复合相变材料靶材及其制备方法
335 一种镍基靶材及生产工艺
336 一种制备铌溅射靶材的方法
337 靶材的制备方法
338 制备相变材料的溅射靶材的方法
339 一种分布式熔焊实现靶材与背板连接的方法
340 具有提高的寿命和溅射均匀度的溅射靶材
341 靶材的制作方法
342 多元金属硫族元素化合物和靶材及涂层材料的制备方法
343 陶瓷溅镀靶材组件及其焊合方法
344 高磁通量的钴铁基合金磁性溅射靶材及其制造方法
345 一种氧化锌基陶瓷溅射靶材的中温制备方法
346 一种CuAlO2</sub>靶材的制备方法
347 注浆成型用的模具、其使用方法及所制成的生胚和ITO靶材
348 制备复合材料的可组装靶材、其制造、修复和改装方法
349 筒状旋转靶材帮定材料中含导电导热弹簧
350 一种用惰性气体保护法制备高品质AZO靶材的方法
351 一种采用掺磷酸锌的靶材生长P型氧化锌薄膜的方法
352 靶材金相组织的显示方法
353 靶材的检测方法
354 溅射靶材的表面处理方法
355 蒸馏法从ITO废靶材中回收铟锡的方法
356 氧化法从ITO废靶材中回收铟锡的方法
357 溅射靶材的塑性变形方法
358 靶材组件的制作方法
359 铜或铜合金溅射靶材的清洗方法
360 高纯度铬靶材切削加工方法
361 拼接靶材形成方法
362 铜合金靶材、其制造方法、及其制成的薄膜及太阳能电池
363 一种高纯度钛靶材的制备工艺
364 靶材组件的焊接方法
365 靶材组件的焊接方法
366 一种大面积靶材与背板的快速焊接方法
367 一种溅射靶材的制造方法
368 多组分氧化物的溅射靶材及其制造方法
369 一种高纯高富钨相钨钛靶材及其制备方法
370 靶材压制液压机
371 形成金属玻璃镀膜的靶材及该靶材形成的复合材料
372 大尺寸靶材超声波处理装置及其处理方法
373 ZnO基粉末-金属复合溅射靶材及其制备方法
374 制备ZnAl靶材的方法以及制得的ZnAl靶材
375 铜靶材组件的制造方法
376 一种高靶材利用率的矩形靶
377 一种控制晶粒度制造ITO靶材的方法
378 二钛酸钡陶瓷靶材的制备方法
379 银-金合金靶材、其制造方法及应用
380 再生溅镀靶材及其制作方法
381 靶材组件的制作方法
382 靶材组件焊接方法
383 单相结构-高密度铟锡氧化物靶材的制备方法
384 磁控溅射靶材表面粗糙度的监测方法和系统
385 一种通过大强度电流生产铝钛合金靶材的方法
386 一种氧化锌基溅射靶材的制备方法
387 一种高稳定性能透明导电膜用AZO溅射靶材及制造方法
388 用于磁控溅射镀膜的导电Nb2</sub>O5-x</sub>靶材及生产方法
389 一种透明导电膜用IZGO溅射靶材及制造方法
390 一种导电的氧化铌靶材、制备方法及其应用
391 靶材生产用锭材的制备方法
392 大尺寸溅射靶材的表面处理方法
393 钽靶材的织构形成方法
394 一种旋转陶瓷靶材的制备方法
395 一种旋转靶材的贴合方法
396 一种ITO靶材背面金属化的方法
397 一种硅基合金旋转靶材及其制备方法
398 一种可提高溅射工艺靶材利用率的方法
399 多晶MgO烧结体及其制造方法以及溅射用MgO靶材
400 一种W-Ti合金靶材的制备方法
401 含硼靶材及其制作方法、薄膜、磁记录媒体
402 一种用于真空磁控溅射的香槟色金靶材及其制备方法
403 一种高纯钼溅射靶材的制备方法
404 一种靶材结构的制作方法
405 一种钨钛合金靶材结构的制作方法
406 金属系溅射靶材
407 铝或铝合金溅射靶材的清洗方法
408 钨钛合金靶材焊接方法
409 靶材、源、EUV光刻设备和使用该设备的器件制造方法
410 用于在激光致等离子体EUV光源中输送靶材料的系统和方法
411 胸腺嘧啶类化合物及其作为分子探针靶材料的用途
412 一种氧化铝靶材和该靶材制备的透明导电薄膜
413 长寿命核反应装置高效靶材的原位沉积和再生方法及系统
414 中空柱状靶材及其组件
415 一种高纯钽溅射靶材的加工工艺
416 溅射靶材用钨钛合金板的制备方法
417 一种超高纯铝细晶、高取向靶材的制备方法
418 钼靶材焊接方法
419 氧化铟锡靶材浆料的制备方法
420 垂直磁记录介质的中间层膜制备用的溅射靶材料和通过使用其制备的薄膜
421 一种安全核废料嬗变靶材及其制备方法
422 一种采用冷等静压和液相烧结制备W-10Ti合金靶材的方法
423 一种玻璃镀膜靶材及其制备方法
424 靶材及设定靶材元素配比方法
425 钨钛合金靶材加工方法和加工装置
426 一种靶材焊接方法
427 光记录介质用铝合金反射膜以及用于形成该反射膜的溅射靶材
428 金银镶嵌靶材及其薄膜的制备方法
429 一种靶材和利用靶材在铝或铝合金基材上镀膜的工艺方法
430 CIGS太阳能光电四元溅镀靶材、其制法、其与靶背板结合方法及其补料方法
431 多元素合金单一靶材制备薄膜太阳能电池的方法
432 A1基合金溅射靶材的制造方法
433 一种钼靶材的加工方法
434 金属混合真空溅射合金靶材材料及其制作方法及用途
435 氧化锌透明导电薄膜的低温制备方法及专用靶材
436 光信息记录介质用反射膜及光信息记录介质反射膜形成用溅射靶材
437 一种新的ZrO2</sub>陶瓷靶材制备方法
438 高致密度氧化镁靶材的制造方法
439 靶材冷却装置及方法
440 高纯度铜靶材的制作方法
441 一种靶材加工的工具
442 一种安全核废料嬗变靶材及其制备方法
443 溅射靶材
444 提升靶材利用率的构造
445 在靶材上同时使用射频和直流功率的超均匀溅射沉积法
446 一种钨合金靶材及其制备方法
447 钨合金靶材铣削加工方法
448 一种高纯铜溅射靶材的制备方法
449 一种Sn-Si靶材
450 用于在垂直磁记录介质中的软磁膜层的合金
451 一种靶材的加工方法
452 氧化物烧结体及溅射靶材
453 一种氧气氛无压烧结法制备ITO靶材的方法
454 一种玻璃镀膜用ZnSn溅射靶材的制造方法
455 一种生长碲镉汞薄膜的靶材制备方法
456 靶材基座及采用该靶材基座的镀膜装置
457 碲化铥靶材的生产工艺
458 一种磷酸锂靶材及其制备方法
459 一种靶材及应用该靶材的半导体器件加工设备
460 铬合金靶材及具有硬质薄膜的金属材料
461 一种氧化锌基宽禁带陶瓷靶材及其制备方法
462 硅器件结构及其形成时所使用的溅射靶材料
463 一种金属离子掺杂二氧化钛靶材的制备方法以及由此获得的靶材
464 Cu电极保护膜用NiCu合金靶材以及叠层膜
465 一种铝钛硅合金靶材及其制备方法
466 热等静压生产平板显示器用钼合金溅射靶材的方法
467 溅镀用旋转靶材的粘接合成物及利用上述合成物的旋转靶材粘接方法
468 用于电弧离子镀沉积磁性材料涂层的复合结构靶材及应用
469 钨钛靶材坯料的制作方法
470 钴靶材组件的焊接方法
471 高纯钽靶材制备方法
472 铜锌锡硫或铜锌锡硒薄膜太阳能电池吸收层靶材及其制备方法和应用
473 一种靶材级超高纯钽金属的制取方法
474 靶材结构的制作方法
475 防止反溅射物质剥落的靶材及膜层的形成方法
476 平板显示器的大型高纯钼平面靶材的生产工艺方法
477 铜靶材坯块的检测方法及铜靶材组件的形成方法
478 用于制备铝及铝基合金旋转靶材的模具及制作方法
479 靶材与背板的焊接方法及形成的靶材组件
480 一种三氧化二铝陶瓷靶材的生产工艺
481 一种凝胶注模成型技术制备ITO靶材的方法
482 预防物理气相沉积溅射工艺过程中金属靶材被击穿的方法
483 一种靶材表面形态的设计方法
484 溅射用靶材、含硅膜的形成方法和光掩模坯
485 一种钛靶材及其制造方法
486 铜铟镓硒硫五元靶材的制作方法
487 靶材及其使用于磁性记录媒体的记录层材料
488 靶材及其使用于硬碟的记录层材料
489 溅射系统、可转动筒状靶材组件、衬管、靶材元件和冷却罩
490 大型Al靶材焊接方法
491 一种大尺寸ITO靶材的制备方法
492 垂直磁记录介质中间层用镍基合金靶材及其制造方法
493 一种新型铁基合金靶材的制造方法
494 靶材组件的制作方法
495 一种LCD平板显示器溅射靶材用大尺寸钼板的制备方法
496 一种低熔点带有内衬管合金旋转靶材的连铸装置及其工艺
497 一种靶材加工的工具
498 钨钛合金靶材与铜合金背板扩散焊接方法
499 钴靶材的加工方法
500 一种新型的垂直磁记录介质软磁性底层用合金靶材FeCoTaZr的制造方法
501 靶材及其形成方法
502 钼铌合金板靶材加工工艺
503 溅镀靶材检测机构
504 一种钇钡铜氧靶材的制造方法
505 一种掺杂氧化锌基溅射靶材及其制备方法
506 靶材结构的制作方法
507 靶材结构的制作方法
508 靶材及其形成方法
509 一种氧化锌基管状旋转靶材的制备方法
510 靶材组件的制作方法
511 铬二铝碳陶瓷靶材及其真空热压制备方法
512 铟靶材及其制造方法
513 一种大规格钽靶材的锻造方法
514 高密度氧化铌溅射靶材的制备方法
515 一种透明非晶态氧化物半导体溅镀靶材
516 耐老化特性优良的振子用电极材料及使用该材料的压电振子、以及由该材料构成的溅射靶材
517 靶材的制造方法及系统
518 一种钛硅合金靶材的制造方法
519 一种大型平面靶材和背板的粘接方法
520 用于真空磁控溅射的低含金量玫瑰金靶材及其制备方法
521 一种铜镓/铜铟镓管状阴极靶材的成型方法
522 制备TFT-LCD阵列基板铜导线用靶材的方法及靶材
523 用铜锌锡硫化合物单一靶材制备薄膜太阳能电池的方法
524 核聚变靶材、核聚变装置以及核聚变方法
525 一种ITO靶材及其生产过程中铟和锡含量的测定方法
526 一种高密度ITO蒸镀靶材的制备方法
527 一种低密度ITO蒸镀靶材的制备方法
528 一种p型CuAlO2</sub>陶瓷靶材的制备方法
529 一种高纯度、高成分均匀性的镍铬合金靶材及其制备方法
530 再生溅镀靶材及其制作方法
531 溅射靶材的制造方法及溅射靶材
532 MoCr 靶材的制造方法及MoCr 靶材
533 具有可施加至靶材的射频电源的物理气相沉积等离子体反应器
534 溅镀靶材检测机构
535 一种细晶高纯镍靶材制造方法
536 铪铟锌氧化物靶材的制作方法
537 一种锰合金靶材及其制造方法
538 高性能钽靶材的热锻工艺
539 利用超快激光在靶材表面制备大面积微光栅的方法及装置
540 一种铟锡氧化物靶材的制备方法
541 一种溅射靶材
542 用于支撑可旋转靶材和溅射设备的装置
543 一种钼靶材的制备方法
544 一种钌及钌合金靶材的加工方法
545 一种Ni-Cr磁控溅射靶材的制备方法
546 高密度AZO靶材及其制备方法
547 用新型低毒凝胶浇注制备大尺寸氧化锌基靶材的方法
548 一种制备铟靶材金属薄膜的方法
549 一种使用粉浆浇注制备AZO靶材的方法
550 一种铌靶材及其制备方法
551 一种铜铟硒基太阳能薄膜电池光吸收层用陶瓷靶材制备方法
552 一种电弧离子镀铁磁性复合结构靶材及其应用
553 一种光伏玻璃薄膜溅镀的简易靶材更换台车装置
554 MoTi靶材及其制造方法
555 溅射靶材及溅射装置
556 利用氧化铝锌靶材制备多层薄膜的方法
557 一种高性能钽靶材的制备方法
558 一种热压烧结高致密度氧化镁靶材的制备方法
559 一种离子沉积实现ITO靶材背面金属化的方法
560 一种注浆成型高密度高强度ITO靶材坯体的制备方法
561 一种钼钠合金旋转溅射管形靶材的制备工艺
562 一种氧化铌旋转靶材及其制备方法
563 一种钨硅合金靶材的制备方法
564 一种钼钛合金靶材的制备方法
565 钼铌合金靶材的生产工艺
566 磁控溅射阴极靶材的密封结构
567 一种以冷喷涂方法制备的难熔金属旋转溅射靶材
568 一种大长径比TiAl管靶材成形方法
569 钼溅射靶材热等静压生产方法
570 一种用于电弧离子镀沉积磁性材料涂层的复合靶材及应用
571 使用三角形形状裁适的镭射脉冲于所选定靶材类型的镭射系统和方法
572 一种采用超快激光在靶材表面制备纳米栅格的方法及装置
573 具有警示功能的溅镀靶材
574 薄膜晶体管及其制造方法、以及具备薄膜晶体管的显示装置、溅射靶材
575 磁记录介质用软磁性合金、溅射靶材以及磁记录介质
576 从ITO废靶材中回收粗铟、锡的工艺
577 基于固体液体组合靶材的极紫外光源产生装置及光源系统
578 热压法制备ITO靶材的方法
579 一种溅射用铜铟合金靶材及其制备方法
580 一种溅射靶材工艺及溅射工艺
581 CrTi系合金及溅射用靶材、垂直磁记录介质、以及它们的制造方法
582 一种生产泡沫镍金属化的溅射阴极靶材结构
583 一种制造溅射靶材的挤压模锻挤压模具
584 盘状磁性靶材PTF的测试装置
585 可均匀镀膜的靶材装置
586 高真空离子束溅镀靶材利用率增强装置
587 溅镀靶材的冷却装置
588 用于溅镀设备更换靶材的辅助装置
589 一种可提高靶材利用率的平面磁控溅射阴极
590 多元素溅射靶材结构
591 靶材装置
592 铜或铜合金溅射靶材包装件
593 用于偏振二次靶X射线荧光光谱仪的多靶材靶盘装置
594 一种溅射靶材的冷却装置
595 一种磁控溅射镀膜设备中的靶材结构
596 铝或铝合金溅射靶材包装件
597 靶材压制液压机
598 靶材与背板实现精确定位的钎焊装置
599 靶材表面喷砂系统
600 圆形铁磁性靶材多圆周PTF检测装置
601 管靶材组件
602 柱状电极靶材装置
603 一种改进的平面靶材
604 一种长寿命溅射靶材
605 光盘薄膜制备中磁控溅射靶材装置
606 靶材装置
607 一种安全核废料嬗变靶材
608 靶材结构及其溅镀设备
609 靶材生产用夹具
610 一种平面陶瓷靶材磨边夹具
611 一种平面陶瓷靶材磨边倒角夹具
612 一种防粘模平面陶瓷靶材成型模具
613 一种平面陶瓷靶材模压成型脱膜装置
614 一种应用于靶材钎焊的加热系统
615 靶材坯料打磨装置
616 提高湿式等静压平面靶材压制件平直度的工装
617 高材料利用率的溅镀靶材
618 一种平面硅靶材
619 靶材
620 一种靶材制备装置
621 一种用于电弧离子镀沉积磁性材料涂层的复合结构靶材
622 一种用于大型平面钼靶材磨削加工的平面磨床工装
623 一种旋转靶材的打磨装置
624 一种喷涂旋转靶材用的喷咀
625 一种喷涂旋转靶材的冷却装置
626 一种无铜环保镜合金溅射专用靶材
627 一种磁控溅射靶靶材消耗的监控管理装置
628 一种喷涂旋转靶材的监控装置
629 一种电弧离子镀铁磁性复合结构靶材
630 一种钨圆靶材
631 一种防止高压冷却水冲击变形的靶材组件
632 透明导电层的溅射靶材构造
633 一种磁控溅射用靶材
634 平面陶瓷靶材磨边机
635 尺寸可调平面陶瓷靶材模具
636 背板及靶材组件
637 一种靶材断电控制装置
638 一种用于通用车床上的大尺寸薄片靶材夹具
639 一种用于平面磨床加工非磁性靶材的装置
640 Ag靶材
641 靶材焊接定位装置
642 一种用于柔性基材磁控溅射镀膜靶材
643 一种用于真空溅镀的靶材
644 提高靶材利用率的水冷式电弧蒸发组件
645 用于焊接靶材与背板的焊接平台
646 用于磁控溅射镀膜的组合式陶瓷靶材
647 一种靶材与背板的连接结构