资料价格：198元

1 化学机械研磨的方法
2 一种化学机械研磨浆料组成
3 晶圆的化学机械研磨方法及其装置
4 晶圆的化学机械研磨装置
5 化学机械研磨装置的晶圆载具结构
6 用于化学机械研磨的研磨头
7 整合型化学机械式研磨
8 化学机械研磨工艺中氧化剂浓度的监控系统
9 铜化学机械研磨中减少碟陷的方法
10 化学机械研磨浆液组合物及其使用方法
11 化学机械研磨机的载具膜的冲孔模具以及适用于此模具的预防保养方法
12 一种消除化学机械研磨碟化效应的内连线制造方法
13 化学机械研磨的监控测量方法
14 减少化学机械研磨工艺缺陷的电路布局及其制造方法
15 一种用于铜制程的化学机械研磨液组合物
16 研磨剂分布系统及应用此分布系统的化学机械研磨设备
17 化学机械抛光用研磨剂
18 摆动的固定研磨料化学机械研磨系统及其实现方法
19 化学机械研磨装置的晶片载具及其研磨方法
20 用来研磨晶片材料的化学-机械研磨机，以及装在该机器上的研磨剂输送设备
21 可减少微刮痕的钨金属的化学机械研磨制程
22 化学机械研磨后洗涤液组合物
23 降低铜制程化学机械研磨的缺陷与研浆残留的方法
24 化学机械研磨用的水分散体
25 高速研磨金属层用化学机械研磨液组成物
26 具有浮动阻隔环的化学机械研磨头
27 低口径化学机械研磨系统
28 用于化学机械抛光的研磨垫
29 机械密封环高速、高效、高精度研磨方法
30 化学-机械研磨设备中的浆料再循环
31 制造集成电路的化学机械研磨方法及其装置
32 用于加工半导体的化学机械研磨组合物
33 化学机械研磨组合物
34 由强化机械研磨获得的纳晶态粉末制备的变阻器
35 化学机械研磨机台
36 半导体制程用的化学机械研磨组合物
37 半导体制程用的化学机械研磨组合物
38 化学机械研磨机台
39 化学机械研磨装置与方法
40 输送基片机械抛光研磨悬浮液的设备和方法
41 化学机械研磨机台
42 化学机械研磨垫
43 化学机械研磨机台
44 通过机械研磨氢化镁制备的具有活化界面的纳米复合材料及其储氢用途
45 半导体加工用化学机械研磨组合物
46 化学机械研磨组合物及方法
47 半导体加工用化学机械研磨组合物
48 化学机械研磨组合物
49 半导体器件及其制造方法、化学机械研磨装置和方法
50 化学机械研磨机之载具膜的预防保养方法及实施该方法的装置
51 回收化学和机械平整化所用水与浆料研磨剂的方法和设备
52 化学机械研磨异常探测装置
53 有机硅类低介电常数材料的化学机械研磨平坦化的方法
54 化学机械研磨组合物
55 化学机械研磨用研磨剂及基板的研磨法
56 化学机械研磨用研磨剂及研磨方法
57 含硅烷改性研磨颗粒的化学机械抛光(CMP)组合物
58 结合旋转涂布的化学机械研磨法
59 具有温度控制的化学机械研磨装置
60 化学机械研磨机台的导管过滤装置
61 用于化学机械抛光研磨液组合物的氧化剂
62 一种化学机械研磨装置
63 复合式化学机械研磨法与浅沟槽隔离结构的制造方法
64 在铜化学机械研磨工艺中减少晶片被腐蚀的方法
65 用于化学机械研磨的基底固定环
66 用于化学机械研磨的漩涡电流监测方法和设备
67 电化学机械研磨系统和用于检测研磨终点的方法
68 一种防止研磨液稀释的化学机械研磨系统及其机台
69 化学机械研磨后残留物的去除方法
70 化学机械研磨浆液与化学机械平坦化方法
71 具有温度控制研磨头的化学机械研磨系统
72 基于光谱的监测化学机械研磨的装置及方法
73 化学机械研磨工艺及装置
74 决定化学机械研磨的过度研磨时间的方法
75 化学机械研磨用水性分散体及其化学机械研磨方法
76 化学机械研磨的流程与基底上铜层氧化物研磨制程
77 化学机械研磨装置及其研磨垫轮廓的控制系统与调节方法
78 化学机械研磨用研磨剂及基板的研磨法
79 铝金属的化学机械研磨方法
80 化学机械研磨浆液及其使用方法
81 化学机械研磨用水性分散剂及其化学机械研磨方法
82 电化学机械研磨控制工艺
83 化学机械研磨装置以及研磨方法
84 研磨粉碎机械的磨筒和搅拌磨
85 化学机械研磨制程控制方法
86 化学机械研磨制作工艺的假制作工艺与研磨垫调节方法
87 化学机械研磨方法、化学机械研磨系统、半导体器件制造方法
88 化学机械研磨机台滑片检测方法
89 用于钨和钛的化学机械平坦化的研磨剂和组合物
90 半导体芯片化学机械研磨剂及其配制方法
91 半导体芯片化学机械研磨后清洗液
92 化学机械研磨用水性分散剂及其化学机械研磨方法
93 化学机械研磨方法
94 化学研磨垫、其制造方法及半导体晶圆的化学机械研磨方法
95 化学机械研磨抛光系统中的抛光垫的调理方法
96 化学机械研磨垫、其制造方法和化学机械研磨方法
97 电化学辅助化学机械研磨处理中的移除行程控制
98 化学机械研磨用垫
99 化学机械研磨用水性分散剂以及化学机械研磨方法
100 用于化学机械研磨的漩涡电流监测方法和设备
101 化学机械研磨用浆料组合物、利用它的半导体元件的表面平坦化方法以及浆料组合物的选择比控制方法
102 化学机械研磨工艺
103 一种减少钨化学机械研磨微刮痕的工艺
104 使用化学机械研磨法制造半导体元件的内连线结构的方法
105 用于光纤连接器端面的超声/机械复合研磨/抛光方法及装置
106 多晶硅化学机械研磨法来增进栅极微影能力的方法
107 浅沟槽隔离工艺中化学机械研磨工艺窗口确定方法
108 使用垫调节装置的传感信号来控制化学机械研磨的方法及系统
109 鳍状场效应晶体管中栅极区域的多步骤化学机械研磨
110 用于化学机械研磨平面化的双硅层鳍状场效应晶体管
111 化学机械研磨方法
112 用于化学机械抛光的二氧化铈研磨剂
113 用以化学机械研磨的多用途研磨浆施放臂
114 化学机械研磨用水系分散体及研磨方法、调制用的试剂盒
115 化学机械研磨机台的研磨液供应设备与研磨液混合方法
116 化学机械研磨制程及增加其研磨终点准确性的方法
117 机械研磨制备纳米复合氧化物技术
118 一种在化学机械研磨中减少导体结构碟陷与侵蚀的方法
119 避免研磨浆料残留的化学机械研磨方法及设备
120 化学机械研磨用水系分散体及研磨方法、调制用的试剂盒
121 化学机械研磨用水性分散质、配制该分散质的工具、化学机械研磨方法及半导体装置的制造方法
122 一种可改善化学机械研磨前薄膜均匀性的工艺方法
123 铜化学机械研磨方法
124 化学机械研磨装置及其研磨垫的调节方法
125 用回蚀和化学机械研磨形成铝镜层的方法
126 用化学机械研磨形成铝特征图案的方法
127 一种化学机械抛光中研磨垫沟槽加工方法
128 化学机械研磨用研磨剂及基板的研磨法
129 化学机械研磨浆料、化学机械研磨法及半导体装置的制法
130 一种化学机械抛光中延长研磨垫寿命的方法
131 化学机械抛光研磨垫
132 一种自动调节化学机械抛光设备硅片研磨压力的方法
133 化学机械研磨颗粒、浆料及其制造方法
134 在机械或电动调料磨具或食品粉碎机中进行研磨调节的通用盒匣
135 通过机械研磨制备微米级人参粉的方法
136 机械研磨加工夹具的框体及机械研磨加工机台
137 用于清洗化学机械平坦化的研磨垫的水性清洗组合物
138 化学机械研磨组合物
139 化学机械研磨后的晶片清洗方法
140 化学机械研磨方法与研磨液组合物
141 垂直双盘表面研磨机械中研磨轮的初始位置设定方法
142 在金属和多晶硅化学机械研磨中减少大图案凹陷的方法
143 用于化学机械抛光的系统、方法与研磨液
144 一种化学机械研磨工艺建模的实验方法
145 一种化学机械研磨工艺建模的集成电路版图结构
146 借助多区域研磨液输送的化学机械抛光
147 化学机械研磨剂及化学机械研磨方法
148 化学机械研磨方法
149 化学机械研磨终点的检测方法
150 掩膜版版图及其监测化学机械研磨工艺窗口的方法
151 一种化学机械研磨设备
152 一种安全阀密封面的研磨机械装置
153 机械研磨式粉碎机
154 适用于机械研磨的气门
155 石材研磨机械的磨头
156 波纹管机械密封静环修复用研磨卡具
157 一种改进型化学机械研磨液容器
158 用于化学机械研磨装置的研磨台间清洗装置
159 化学机械研磨机台排放管
160 化学机械研磨装置
161 研磨粉碎机械的磨筒和搅拌磨
162 一种化学机械研磨设备
163 一种化学机械研磨设备
164 一种化学机械研磨测试设备
165 一种化学机械研磨垫及化学机械研磨设备
166 一种化学机械研磨设备
167 固定研磨料的化学机械研磨设备
168 化学机械研磨装置用研磨浆调制供给装置和方法
169 化学机械研磨过程中测量非金属层厚度的方法
170 晶圆上的校正符号的清洁方法以及化学机械研磨制程后续再清洁制程的方法
171 化学机械研磨设备
172 无刮伤化学机械研磨工艺
173 处理铜化学机械研磨废水的方法及装置
174 化学机械研磨机台的调节器
175 化学机械研磨浆液组合物及其使用方法
176 化学机械研磨方法和化学机械研磨装置
177 化学机械研磨机台的调节器清洗装置
178 半导体业化学机械研磨机台水回收管路系统
179 化学机械研磨垫
180 以电化学机械研磨法进行基材平坦化
181 化学机械研磨剂组合及其化学机械研磨方法
182 化学机械研磨系统及研磨液
183 化学机械研磨方法
184 化学机械研磨机台中研磨液及去离子水输送管的配置方法
185 化学机械研磨系统及化学机械研磨方法
186 化学机械研磨时间控制方法
187 化学机械研磨的研磨修整装置
188 用于化学机械研磨装置的操作参数自动反馈方法及其控制系统
189 一种化学机械研磨机台化学液供给装置
190 化学机械研磨方法
191 确定化学机械研磨工艺研磨时间的方法
192 化学机械研磨终点的控制方法
193 化学机械研磨设备和用于化学机械研磨设备的防溅装置
194 改善化学机械研磨终点检测及检测前道工艺的方法
195 铜表面化学机械研磨平坦化方法
196 移除基底上的绝缘层的方法和化学机械研磨工艺
197 一种化学机械研磨装置
198 保持环及化学机械研磨装置
199 化学机械抛光的研磨头及其制作方法
200 化学机械研磨用水系分散体制备用试剂盒及其应用
201 化学机械研磨用水系分散体和化学机械研磨方法、以及用于调制化学机械研磨用水系分散体的试剂盒
202 化学机械研磨机台的维护方法
203 铜化学机械研磨的方法
204 化学机械研磨装置及清洗研磨垫、研磨头的方法
205 机械往复与超声振动复合的研磨方法
206 化学机械研磨设备及化学机械研磨方法
207 化学机械研磨垫及其制造方法
208 化学机械研磨垫
209 基于光谱的监测化学机械研磨的装置及方法
210 化学机械研磨用水系分散体、化学机械研磨方法、化学机械研磨用试剂盒以及用于制备化学机械研磨用水系分散体......
211 化学机械研磨用水系分散体和化学机械研磨方法、以及用于制备化学机械研磨用水系分散体的试剂盒
212 用于化学机械研磨的喷头臂及其控制装置
213 一种化学机械抛光工艺中确定研磨时间的方法
214 化学机械研磨方法
215 化学机械研磨用的研磨垫修整器
216 用于诸如研磨或抛光之类的表面处理的机械
217 提高化学机械抛光研磨液使用率的系统及方法
218 层间介电质化学机械研磨的时间反馈控制方法及系统
219 浅沟隔离结构的化学机械研磨制程
220 化学机械抛光研磨液的供料装置及研磨液处理方法
221 化学机械研磨及其终点检测方法
222 化学机械研磨的方法
223 钨化学机械研磨方法及钨插塞的制造方法
224 化学机械研磨设备研磨头的清洗方法
225 研磨液供给管路以及化学机械研磨装置
226 研磨液及化学机械研磨方法
227 化学机械研磨方法及晶片清洗方法
228 一种研磨颗粒及其制造方法和化学机械研磨液的制造方法
229 化学机械研磨用水系分散体及半导体装置的化学机械研磨方法
230 化学机械研磨台研磨头辅助位置校正装置及其校正方法
231 化学机械研磨方法
232 化学机械研磨用水系分散体及半导体装置的化学机械研磨方法
233 高机械能混合分散研磨装置
234 化学机械研磨方法
235 层间介质层化学机械研磨方法
236 具有提高的机械加工性的研磨压实体
237 一种用于化学机械抛光的研磨垫调整装置
238 化学机械研磨的组成物
239 钨化学机械研磨方法
240 化学机械研磨方法及研磨装置
241 化学机械研磨用水系分散体、电路基板及其制造方法
242 一种提高机械研磨截断碳纳米管效率的方法
243 一种用于化学机械研磨的抛光液
244 化学机械研磨的方法
245 进行化学机械研磨的方法
246 化学机械研磨方法
247 化学机械研磨元件、晶圆的研磨方法及晶圆研磨系统
248 四头行星双运行研磨机械
249 化学机械研磨后残留物的去除方法
250 用于移除锯痕的化学机械研磨组合物
251 化学机械研磨后的晶片清洗方法
252 化学机械研磨后残留物的去除方法
253 使用垫调节装置的传感信号来控制化学机械研磨的方法及系统
254 化学机械研磨方法、研磨液喷嘴及化学机械研磨设备
255 对晶圆进行化学机械研磨工艺的方法
256 一种机械表面强化研磨加工的方法
257 化学机械研磨组合物和方法
258 化学机械研磨及通孔形成方法
259 化学机械研磨机用的可挠膜
260 用于修整研磨垫的设备、化学机械研磨设备和方法
261 化学机械研磨用研磨剂及基板的研磨法
262 侦测化学机械研磨机台水槽上/下位置的装置及方法
263 研磨液供给系统及化学机械研磨站的研磨液混合物供给法
264 化学机械抛光设备及其研磨液输送方法
265 化学机械研磨用水系分散体以及化学机械研磨方法
266 化学机械研磨设备
267 化学机械研磨用水系分散体以及化学机械研磨方法
268 一种化学机械研磨方法
269 化学机械研磨制程的研磨终点判断方法
270 层间介质层的化学机械研磨方法
271 化学机械研磨方法
272 一种机械表面自动强化研磨加工设备
273 表面改性胶体二氧化硅以及含有该胶体二氧化硅的化学机械研磨用研磨组合物
274 化学机械研磨方法
275 化学机械研磨方法和装置
276 用于化学机械研磨的固定环
277 化学机械抛光的研磨液供给系统及方法
278 化学机械研磨设备及研磨方法
279 化学机械抛光设备的研磨头装置
280 化学机械研磨工艺的优化方法
281 用于将晶片移出化学机械抛光设备研磨头的方法
282 一种化学机械研磨刮伤的检测方法
283 化学机械研磨时间的控制方法
284 化学机械研磨的方法和金属互连层的形成方法
285 化学机械研磨绝缘介质层的方法
286 控制化学机械研磨时间的方法及系统
287 识别和/或提高化学机械研磨垫修整器性能的系统及方法
288 化学机械研磨方法
289 化学机械研磨的方法及系统
290 一种化学机械研磨废液的处理方法
291 在化学机械研磨过程中防止钨塞凹陷缺陷的方法
292 化学机械研磨后的清洗方法
293 一种用于化学机械研磨的抛光液
294 化学机械研磨用研磨液以及使用了该研磨液的基板的研磨方法
295 用于化学机械研磨机台的制造程序控制方法及其控制系统
296 化学机械研磨的残留物去除方法
297 化学机械研磨装置、化学机械研磨方法以及控制程序
298 机械研磨和琢磨去污中收集粉尘和气溶胶的吸尘罩
299 超细粉碎和机械合金化研磨装置
300 化学机械研磨机台的清洗装置
301 化学机械研磨机台的改良型喷头结构
302 一种化学机械抛光研磨头
303 用于化学机械研磨的清洗垫
304 化学机械研磨机台的夹钳用锁环螺接结构
305 平面显示器用玻璃基板的外部机械研磨装置
306 研磨中心孔专用加工机械
307 化学机械研磨装置
308 化学机械研磨抛光头压力环安装装置
309 高机械能混合分散研磨装置
310 化学机械研磨用金刚石修整器
311 化学机械研磨装置
312 用于研磨垫调整装置的机械臂
313 化学机械研磨设备
314 四头行星双运行研磨机械
315 化学机械研磨设备的清洗装置
316 研磨头组件的清洗装置以及化学机械研磨设备
317 清洗装置以及化学机械研磨设备
318 液体输送系统和化学机械研磨装置
319 超细卧式纳米研磨机中的机械密封
320 研磨液手臂以及化学机械研磨设备
321 一种用于化学机械研磨的定位环
322 晶圆研磨定位环以及化学机械研磨设备
323 一种化学机械研磨样品固定工具
324 一种化学机械研磨设备
325 一种化学机械研磨测试设备