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1 研磨垫片恢复器的结构及其应用
2 研磨垫
3 具有防水窗口的研磨垫
4 用于化学机械抛光的研磨垫
5 研磨半导体晶片的复合研磨垫及其制作方法
6 带有研磨垫片的柔性刮板
7 化学机械研磨垫
8 具有中空纤维的研磨垫及其制造方法
9 研磨垫及其制造方法
10 研磨垫及其制造方法
11 研磨垫及其制造方法和研磨垫用缓冲层
12 一种有效控制研磨垫使用寿命的方法
13 一种有效控制研磨垫使用寿命的方法
14 研磨垫
15 研磨垫打磨器
16 研磨垫
17 研磨垫及其制造方法
18 用于低压研磨的多层研磨垫
19 CMP用研磨垫片、使用它的基板的研磨方法及CMP用研磨垫片的制造方法
20 导电性研磨垫及其制造方法
21 研磨垫及其制造方法
22 晶片的研磨方法及晶片研磨用研磨垫
23 研磨垫、研磨装置及晶片的研磨方法
24 研磨垫以及研磨晶圆的方法
25 透光视窗具有凹槽的研磨垫以及其制造方法
26 研磨垫及其制法和研磨方法
27 带有用于降低浆液消耗的凹槽排列的研磨垫
28 带有用于提高浆液利用率的凹槽的研磨垫
29 化学机械研磨装置及其研磨垫轮廓的控制系统与调节方法
30 研磨垫片用聚氨酯发泡体的制造方法和聚氨酯发泡体
31 研磨垫、平台孔盖及研磨装置和研磨方法及半导体器件的制造方法
32 研磨垫及其制造方法和研磨垫用缓冲层
33 研磨垫及其制造方法和研磨垫用缓冲层
34 研磨垫及其制造方法和研磨垫用缓冲层
35 化学机械研磨制作工艺的假制作工艺与研磨垫调节方法
36 化学研磨垫、其制造方法及半导体晶圆的化学机械研磨方法
37 单层研磨垫及其制造方法
38 化学机械研磨垫、其制造方法和化学机械研磨方法
39 研磨垫及其制造方法
40 研磨垫及半导体器件的制造方法
41 镶嵌研磨垫及其制造方法
42 研磨垫用组合物
43 研磨垫、其制造方法以及使用该研磨垫的研磨方法
44 研磨垫及其制造方法
45 研磨垫
46 研磨垫及半导体器件的制造方法
47 修整晶圆研磨垫的修整器及其制造方法
48 化学机械研磨装置及其研磨垫的调节方法
49 研磨垫及研磨装置
50 研磨垫和利用该研磨垫制造半导体器件的方法
51 研磨垫与其制造方法
52 一种化学机械抛光中研磨垫沟槽加工方法
53 一种研磨垫整理器的修正盘循环利用方法
54 一种自动加工研磨垫工艺方法
55 一种化学机械抛光中延长研磨垫寿命的方法
56 化学机械抛光研磨垫
57 用于清洗化学机械平坦化的研磨垫的水性清洗组合物
58 研磨垫、研磨方法及研磨装置
59 研磨垫及研磨垫的制造方法
60 研磨垫及其制造方法
61 具有侦测窗的研磨垫及其制造方法
62 研磨垫调节装置
63 研磨垫及其制造方法
64 改进型软研磨垫
65 研磨垫调节器的缓冲结构
66 研磨垫
67 研磨垫
68 一种化学机械研磨垫及化学机械研磨设备
69 研磨垫调节器的处理面结构
70 研磨垫修整器
71 研磨垫及其制造方法和研磨垫用缓冲层
72 自动显示磨耗程度的研磨垫及制造方法
73 用于制造增强晶片研磨垫的方法以及实施该方法的装置
74 研磨垫用组合物以及使用它的研磨垫
75 热塑性聚氨酯泡沫体、其制造方法和由该泡沫体制成的研磨垫料
76 一体型研磨垫及其制造方法
77 含有被埋入的液态微量成分的研磨垫及其制造方法
78 半导体晶片的研磨方法及其研磨垫
79 一体成型PU研磨垫的制造方法
80 研磨垫的制造方法
81 研磨垫整理装置及利用其整理研磨垫的方法
82 具有侦测窗口的研磨垫的制造方法
83 研磨垫整理器
84 聚氨酯组合物以及研磨垫
85 化学机械研磨垫
86 研磨垫整理器及其制造方法
87 研磨垫、其制法和金属模以及半导体晶片抛光方法
88 具有表面纹路的研磨垫
89 用于低压研磨的多层研磨垫
90 研磨垫及其制造方法
91 研磨垫及其制造方法
92 研磨垫及其制造方法
93 研磨垫及其制造方法
94 研磨垫及其制造方法
95 高分子材料、由其得到的发泡体以及使用它们的研磨垫
96 复合式研磨垫及其制造方法
97 研磨垫与其应用及其制造方法
98 研磨垫及其应用与制造方法
99 研磨垫的清洗方法
100 研磨垫整理装置及研磨垫整理方法
101 化学机械研磨装置及清洗研磨垫、研磨头的方法
102 化学机械研磨垫及其制造方法
103 研磨垫及研磨装置
104 化学机械研磨垫
105 化学机械研磨用的研磨垫修整器
106 研磨垫及研磨方法
107 研磨垫调节器及研磨垫的调节方法
108 研磨垫
109 研磨垫及其制造方法
110 互穿聚合物网络结构体及研磨垫以及它们的制造方法
111 研磨垫
112 研磨垫
113 一种用于化学机械抛光的研磨垫调整装置
114 研磨方法、研磨垫及研磨系统
115 研磨垫及其制造方法
116 具有防止研磨面脱落的沟槽结构的研磨垫
117 研磨垫及其微型结构形成方法
118 研磨垫
119 研磨垫
120 研磨垫及其制造方法
121 研磨垫及研磨垫的制造方法
122 研磨垫及研磨垫的制造方法
123 研磨垫的制造方法
124 研磨垫的制造方法
125 用于修整研磨垫的设备、化学机械研磨设备和方法
126 研磨垫
127 研磨垫
128 研磨方法、研磨垫与研磨系统
129 研磨垫
130 研磨垫与其应用和其制造方法
131 识别和/或提高化学机械研磨垫修整器性能的系统及方法
132 研磨垫用辅助板和采用它的研磨垫的再生方法
133 研磨垫及其制造方法
134 研磨垫用双组分型尿烷树脂组合物、聚氨酯研磨垫、和聚氨酯研磨垫的制造方法
135 菜瓜布研磨垫
136 研磨垫
137 研磨垫以及研磨装置
138 研磨垫
139 研磨垫
140 用于晶圆片研磨垫的整理器
141 用于研磨垫调整装置的机械臂
142 研磨垫以及研磨装置
143 研磨垫修整器
144 预热研磨垫的研磨机台
145 研磨垫清洗臂的罩子
146 一种研磨垫整理器
147 研磨垫调整装置