资料价格：198元

1 一种抛光垫
2 内装有光传感器的抛光垫
3 带槽的抛光垫及其使用方法
4 具有带槽和孔的抛光垫的抛光装置
5 抛光垫
6 使用皮带式抛光垫抛光平面的设备和方法
7 带有用于支承抛光垫的密封流体腔的抛光工具
8 改进抛光垫结构的抛光机
9 用于半导体底物的抛光垫
10 改进的抛光垫及其相关的方法
11 借研磨抛光系统制造存储盘或半导体器件和抛光垫
12 镶嵌式抛光垫及其有关方法
13 化学－机械抛光垫的修整装置及方法
14 抛光垫
15 半导体基材的抛光垫
16 半导体基材的抛光垫
17 改进的抛光垫及其抛光方法
18 抛光垫及抛光装置
19 流体喷布式固定研磨剂抛光垫
20 抛光垫及其形成的方法
21 调节晶片抛光垫的方法
22 修整抛光垫的设备和方法
23 具有不均匀间隔的凹槽的化学机械抛光垫
24 具有重叠的固定面积螺旋凹槽的化学机械抛光垫
25 抛光垫及其制造方法
26 抛光垫、其生产方法及使用其生产半导体器件的方法
27 用于化学机械抛光的多层抛光垫材料
28 抛光垫以及化学机械抛光方法
29 抛光垫以及化学机械抛光方法
30 包含磁性感应粒子的抛光垫及其使用方法
31 化学机械抛光垫
32 微孔抛光垫
33 抛光垫及其制造方法
34 包含具有聚氨酯基体的互渗液化烯类单体网状物的抛光垫
35 化学机械抛光用的化学改性抛光垫
36 具有用来将浆料保留在抛光垫构造上的凹槽的抛光垫
37 具有用于降低浆液消耗的凹槽的抛光垫
38 高弹体改性的化学机械抛光垫
39 抛光垫、其使用和其制造方法
40 抛光垫修整装置
41 用于化学机械平整化的定制抛光垫和制造方法及其应用
42 抛光垫及抛光半导体晶片的方法
43 抛光垫和化学机械抛光方法
44 抛光垫
45 化学机械抛光垫以及化学机械抛光方法
46 半导体晶片用抛光垫的加工方法以及半导体晶片用抛光垫
47 用于化学机械抛光的弹性抛光垫板
48 化学机械抛光垫
49 抛光垫
50 具有高透光窗口的抛光垫
51 抛光垫、抛光装置及抛光方法
52 抛光垫
53 抛光垫及使用该垫制造半导体衬底的方法
54 改进抛光性能和耐久性的抛光垫片载体
55 使用超声反射检测抛光垫的表面性质
56 含可释修光微粒的抛光垫
57 化学机械抛光垫、其制造方法以及化学机械抛光方法
58 层状抛光垫的成形方法
59 具有光传感器的抛光垫
60 用于电化学机械抛光的抛光垫
61 加热抛光垫的方法与设备
62 微孔抛光垫 客服QQ:11342~~68~~395
63 抛光垫与抛光盘之间的气泡检测方法
64 防剥离的抛光垫
65 平面化用的具有窗口的抛光垫片
66 平面化用的抛光垫片
67 用于电化学机械抛光的抛光垫
68 软的化学机械平坦化/抛光(CMP)抛光垫的金刚石调理
69 化学机械研磨抛光系统中的抛光垫的调理方法
70 用于电化学机械抛光的抛光垫
71 具有在抛光时促进混合尾迹的凹槽结构的抛光垫座
72 具有减压通道的抛光垫座
73 抛光垫整修器及其制造和循环使用方法
74 抛光垫调节
75 具有微孔的聚氨酯泡沫的制备方法和由此获得的抛光垫
76 化学机械抛光用抛光垫的制备方法
77 具有复合透明窗口的化学机械抛光垫
78 具有流线型窗玻璃的化学机械抛光垫
79 形成具有很少条纹的抛光垫的方法
80 带有窗口的抛光垫片
81 抛光垫
82 从底盘上去除CMP抛光垫的设备和方法
83 抛光垫设备和方法
84 用于半导体晶片的抛光垫、装备有该抛光垫用于抛光半导体晶片的层叠体以及用于抛光半导体晶片的方法
85 制造减少条纹的化学机械抛光垫的设备
86 减少了条纹的化学机械抛光垫的制备方法
87 具有重叠阶梯状凹槽排列的化学机械抛光垫
88 具有排列的凹槽来提高抛光介质利用的化学机械抛光垫
89 抛光垫修整装置及修整方法
90 具有边缘表面处理的抛光垫片
91 具有径向交替凹槽段结构的化学机械抛光垫
92 用于化学机械抛光的多层抛光垫材料
93 制造包含光学透射区的抛光垫的超音波焊接方法
94 水基抛光垫及其制造方法
95 具有凹陷窗的抛光垫
96 用于化学机械抛光的抛光垫
97 化学机械抛光垫及化学机械抛光方法
98 多孔反应注塑化学机械抛光垫的制造方法
99 径向倾斜的抛光垫
100 冷冻纳米磨料抛光垫及其制备方法
101 抛光垫的基垫和包括该基垫的多层垫
102 聚氨酯抛光垫
103 透明抛光垫
104 抛光垫及其制造方法
105 低表面能的化学机械抛光垫
106 包含疏水区及终点检测口的抛光垫
107 具有成分填充孔的多孔化学机械抛光垫
108 具有改进的粘着性的水基抛光垫及其制造方法
109 抛光垫、抛光系统以及制造该抛光垫的方法
110 用于连续成形一种用作半导体抛光垫片的均一片材的工艺和设备
111 化学机械抛光装置及其抛光垫的清洗方法与平坦化的方法
112 粘结抛光垫的方法和粘结抛光垫的夹具
113 具有振荡式路径凹槽网络的抛光垫
114 制造化学机械抛光垫的方法
115 具有改进流动性的凹槽网络的抛光垫
116 改进缺陷度的多层抛光垫及其制造方法
117 化学机械抛光垫和化学机械抛光方法
118 抛光垫
119 用于修整抛光垫的方法和设备
120 具有表面纹路的抛光垫和其制造方法与制造装置
121 具有定向颗粒的化学机械抛光垫修整器及其相关方法
122 抛光垫以及垫磨除速率和平坦化的改进方法
123 呈曲面的化学机械抛光垫修整器及其相关方法
124 具有多微孔区域的抛光垫
125 化学机械抛光垫
126 化学机械抛光垫
127 化学机械抛光垫修整器
128 抛光垫及抛光垫的制造方法
129 一种控制抛光垫使用时数的方法和装置
130 具有多孔单元的抛光垫以及制造和使用该抛光垫的方法
131 基于固结磨料抛光垫的软脆LBO晶体的加工方法
132 基板抛光设备、基板抛光方法和在该抛光设备中用于调节抛光垫的抛光面温度的设备
133 抛光垫及其制造方法
134 微孔抛光垫
135 制造抛光垫的方法和抛光垫
136 含铜固结磨料研磨抛光垫
137 含铁固结磨料研磨抛光垫
138 含石墨的固结磨料研磨抛光垫
139 抛光垫及其制造方法
140 具有复合排屑结构的研磨抛光垫
141 开槽型冰冻固结磨料抛光垫及其制备方法
142 一种用于改善晶圆表面被固定磨料抛光垫刮伤的装置
143 沟槽式化学机械抛光抛光垫
144 旋转抛光垫
145 具有局部区域透明部的化学机械抛光垫
146 硅片无蜡抛光垫
147 一种抛光垫调节器及具有抛光垫调节器的化学机械装置
148 抛光垫
149 一种抛光垫清洁装置及抛光装置
150 一种抛光垫
151 化学机械抛光垫修整器
152 包含粒状聚合物和交联聚合物粘结剂的抛光垫
153 抛光垫及其使用方法
154 带有内置光学传感器的抛光垫
155 抛光垫
156 抛光垫及多层抛光垫
157 含固体催化剂的化学机械抛光的抛光垫
158 抛光垫及制造半导体器件的方法
159 提高垫寿命的化学机械抛光垫调节器方向速度控制
160 抛光垫及装置
161 用于抛光垫窗口的抗反射层
162 包括填充的半透明区域的抛光垫
163 抛光包括铜和钨的半导体器件结构中使用的浆液与固定磨料型抛光垫以及抛光方法
164 抛光垫及其生产方法
165 化学机械抛光垫的调节的前馈和反馈控制
166 具有优化的槽的抛光垫及使用方法
167 具有成型或柔性窗口结构的加强的抛光垫
168 具有孔和/或槽的化学机械抛光垫
169 具有波形槽的化学机械抛光垫
170 利用激光制造化学机械抛光垫的方法
171 利用激光束和掩模制造抛光垫的方法
172 微孔化学机械抛光垫
173 具有自修正功能的固结磨料研磨抛光垫及制备方法
174 抛光垫以及化学机械抛光方法
175 抛光垫及其制造方法
176 抛光垫
177 内装有光传感器的抛光垫
178 抛光垫和化学机械抛光装置
179 用于化学机械抛光的分层冷冻磨料抛光垫及其制备方法
180 一种改进型抛光垫调节器工艺
181 表面具有纹理的微孔抛光垫
182 化学机械抛光垫
183 带自修整功能的磨损均匀性好的固结磨料抛光垫
184 用于化学机械抛光的抛光垫及应用其的化学机械抛光方法
185 互相连接的多元件栅格抛光垫
186 一种抛光垫修整头
187 具有控制的润湿的化学机械抛光垫
188 抛光垫、抛光装置、以及使用抛光垫的工艺
189 改进的化学机械抛光垫及其制造和使用方法
190 抛光垫的制造方法
191 改进的化学机械抛光垫以及制造和使用这种抛光垫方法
192 固结磨料研磨抛光垫及其制备方法
193 抛光垫
194 抛光垫
195 抛光垫
196 抛光垫
197 包含封装在聚合物外壳中的液体有机材料芯体的化学机械抛光垫及其制造方法
198 具有表面粗糙度的抛光垫
199 垫表面上具有微槽的抛光垫
200 抛光垫的制造方法
201 抛光垫
202 化学机械抛光垫调整器及其相关方法
203 抛光垫及抛光垫的制造方法
204 抛光垫及其制造方法
205 一种用于对抛光垫进行修整的修整装置
206 化学机械抛光垫制造组合件
207 多层化学机械抛光垫的制造方法
208 化学机械抛光垫
209 抛光垫及其形成方法以及抛光方法
210 用于抛光垫的衬垫和使用该衬垫的抛光垫
211 用于高温应用的层叠抛光垫
212 制造气体夹杂物缺陷减少的化学机械抛光垫抛光层的方法
213 一种仿生结构的锡固结金刚石磨料抛光垫及制造方法
214 一种于内部原位生成空隙的抛光垫及其方法
215 一种用于化学机械平坦化的抛光垫及其制造方法
216 用于形成软膏抛光垫的方法和装置
217 具有整体识别特征的化学机械抛光垫
218 具有密封窗口的化学机械抛光垫
219 具有混合研磨表面的CMP抛光垫修整器及其相关方法
220 具有研磨粒的抛光垫及其制造方法
221 延长化学机械抛光垫修整器的使用寿命的方法
222 冰粒型固结磨料抛光垫及快速制备方法和装置
223 抛光垫
224 可导电的抛光垫及其制造方法
225 抛光垫及使用方法
226 抛光垫 电话 1331^^OOl8…………778
227 基于热引发固化的固结磨料研磨抛光垫及其制备方法
228 基于葵花籽粒分布结构的仿生抛光垫及制造方法
229 抛光垫修整器
230 具有阻绝层的抛光垫和其制造方法
231 带有过渡层和粘接层的固结磨料研磨抛光垫
232 抛光垫以及抛光半导体晶片的方法
233 多功能抛光垫
234 抛光垫的制造方法
235 抛光垫的制造方法
236 一种抛光垫修整头
237 一种仿生表面结构抛光垫及制造方法
238 开槽型冰冻固结磨料抛光垫及其制备方法
239 具有经控制的孔隙形态的抛光垫
240 聚氨酯发泡体和抛光垫
241 双孔结构抛光垫
242 抛光垫修整器
243 冰冻固结磨料抛光垫承载装置及其抛光垫
244 制备冰冻固结磨料抛光垫的模具
245 抛光垫片组合物与制造和使用方法
246 具有终点窗口的抛光垫以及使用其的系统和方法
247 抛光垫
248 具有浮动单元的抛光垫以及制造和使用该抛光垫的方法
249 抗蠕变抛光垫窗
250 具有混合修整功能的化学机械抛光垫修整器及相关方法
251 冰冻固结磨料抛光垫开槽装置
252 抛光垫修整方法
253 具有低缺陷整体窗的化学机械抛光垫
254 抛光垫清理器
255 抛光垫、其聚氨酯层及抛光硅晶片的方法
256 抛光垫背板
257 簇绒抛光垫
258 形成硅酸盐抛光垫的方法
259 CMP抛光垫及其制造方法
260 硅酸盐复合物抛光垫
261 一种用于固结磨料抛光垫的纳米金刚石-高分子复合磨料
262 一种固定研磨粒抛光垫清洗装置及清洗方法
263 具有光稳性聚合物终点检测窗的化学机械抛光垫及相应的抛光方法
264 一种抛光垫修整方法
265 化学机械抛光垫及化学机械抛光方法
266 球面光学元件加工用固结磨料研磨抛光垫
267 一种聚氨酯抛光垫的生产工艺
268 抛光垫的制造方法
269 填充有机颗粒的抛光垫及其制造和使用方法
270 包括分相共混聚合物的抛光垫及其制备和使用方法
271 固结磨料抛光垫及其制备方法
272 抛光垫
273 化学机械抛光机及其抛光垫部件
274 抛光垫及其制造方法
275 模塑及汽车表面抛光研磨机用新型抛光垫
276 抛光垫修整装置
277 化学机械抛光垫及化学机械装置
278 抛光垫修整装置
279 一种抛光垫调节器
280 一种抛光垫调节器及具有抛光垫调节器的化学机械装置
281 一种抛光垫调节器及具有抛光垫调节器的化学机械装置
282 抛光垫
283 抛光垫
284 一种CMP抛光垫修整器下压力控制系统
285 一种有坐标标识的化学机械抛光垫修整盘
286 抛光垫修整头和具有该抛光垫修整头的抛光垫修整器