1 直拉硅单晶炉热场的气流控制方法及装置
2 直拉硅单晶炉热屏方法及热屏蔽器
3 一种用于单晶炉的柔性水冷金属电极
4 一种直拉硅单晶炉的熔硅液面位置的控制方法
5 浮力提拉单晶炉
6 单晶炉的保温装置
7 一种防止单晶炉软轴抖动的方法及阻止抖动的阻尼器
8 区熔硅单晶炉电气控制系统
9 节能型直拉单晶炉
10 一种清除直拉硅单晶炉内SiO的方法及装置
11 一种提高直拉硅单晶炉热场部件寿命的方法及单晶炉
12 单晶炉中籽晶与熔融硅液面接触的检测方法
13 一种三瓣石墨坩埚单晶炉
14 单晶炉自动引晶系统及方法
15 硅单晶炉摄像头安装支架
16 一种单晶炉加热装置
17 硅单晶炉炉盖观察窗
18 一种从单晶炉中取出单晶棒的方法
19 直拉单晶炉石墨坩埚
20 一种单晶炉加热系统
21 一种单晶炉的装料方法
22 一种硅单晶炉的热场系统
23 硅单晶炉翻板阀室观察窗
24 单晶炉加热系统
25 一种能漏硅后防护的单晶炉
26 直拉式单晶炉用籽晶提升装置
27 直拉式单晶炉的可调托晶盘装置
28 直拉式单晶炉用坩埚驱动装置
29 能够快速换料的单晶炉及单晶炉快速换料方法
30 谐波差速传动装置及采用谐波差速传动装置的单晶炉
31 新型单晶炉热场
32 双上炉体连续加料硅单晶炉及其使用方法
33 用于直拉硅单晶炉的热屏装置
34 单晶炉的多管式结构
35 一种双区加热真空感应单晶炉
36 一种密封式单晶炉
37 单晶炉等径提拉装置
38 区熔单晶炉单晶硅棒夹持机构
39 下开平动式直拉单晶炉
40 一种用于直拉硅单晶炉热场的主发热体
41 单晶炉坩埚托
42 直拉单晶炉双CCD测量光学系统
43 一种应用于单晶炉的加料管
44 单晶炉勾形电磁场装置
45 单晶炉的保温装置
46 硅单晶炉热系统装置
47 带可旋转托盘的单晶炉
48 单晶炉防爆阀处管道疏通器
49 单晶炉真空管道清洁器
50 单晶炉波纹管道清洁器
51 用于单晶炉的真空加热互锁装置
52 一种直拉单晶炉用热屏
53 一种单晶炉副炉
54 一种防腐蚀单晶炉下炉体
55 一种直拉单晶炉用石墨坩埚
56 一种密闭式单晶炉热场系统
57 一种改进的直拉单晶炉
58 一种单晶炉热场排气装置
59 一种蓝宝石单晶炉
60 直拉硅单晶炉的复投料装置
61 直拉单晶炉的埚轴护套
62 一种蓝宝石单晶炉
63 一种蓝宝石单晶炉
64 一种CFC单晶炉坩埚结构
65 一种蓝宝石单晶炉
66 单晶炉冷却水管防烫装置
67 一种单晶炉热场
68 单晶炉中导流筒的升降装置
69 单晶炉勾形磁场一线测温装置
70 直拉单晶炉加热装置
71 单晶炉装置的起吊夹具
72 单晶炉勾形磁场冷却水路系统
73 一种直拉单晶炉用热场
74 一种可以实时检测硅单晶生长直径的单晶炉
75 单晶炉电源专用无源滤波电路
76 一种简易实用的硅单晶炉晶棒托架
77 单晶炉二次加料装置
78 硅单晶炉翻板阀室观察窗
79 单晶炉加料装置
80 硅单晶炉测温探头安装机构
81 硅单晶炉炉盖观察窗
82 硅单晶炉摄像头安装支架
83 一种单晶炉温度控制板
84 一种单晶炉晶升电机驱动板
85 一种单晶炉用真空泵的过滤网
86 一种单晶炉
87 一种单晶炉的二次投料装置
88 一种单晶炉导流筒的提升装置
89 一种单晶炉的密封门启闭结构
90 一种单晶炉用涂层热屏
91 一种单晶炉
92 一种单晶炉的真空系统
93 一种单晶炉测径仪的安装结构
94 单晶炉热量回收采暖系统
95 太阳能级单晶炉控制装置
96 大直径单晶炉勾型电磁场装置
97 单晶炉氩气流量控制装置
98 一种太阳能硅单晶炉传热装置
99 单晶炉腔体排气系统
100 直拉硅单晶炉用节能装置
101 一种单晶炉用热屏支撑架
102 直拉式单晶炉用坩埚驱动装置
103 直拉式单晶炉可调式水压安全阀
104 单晶炉的真空压力传感器的安装结构
105 一种上排气热场式直拉硅单晶炉石墨热场系统
106 单晶炉电气控制系统
107 单晶炉副炉室自动旋转装置
108 防单晶炉加热器螺栓断裂的装置
109 直拉法单晶硅制备中具有二次投料装置的单晶炉
110 一种单晶炉的坩埚上升及旋转系统
111 单晶炉坩埚上升及旋转系统中的导轨座
112 直拉式单晶炉的可调托晶盘装置
113 一种单晶炉的坩埚上升及旋转系统中的水冷电缆
114 单晶炉三维热场分布全自动测试系统及其测试方法
115 单晶炉导流筒及其生产工艺
116 单晶炉
117 一种延长直拉单晶炉中主发热体使用寿命、减少其自重的方法
118 单晶炉加料器
119 一种硅单晶炉连续投料装置及设有该装置的硅单晶炉
120 直拉式单晶炉中晶体与熔硅液面熔接状态自动检测装置
121 单晶炉副炉室垂直度调节装置
122 单晶炉炉盖结构
123 单晶炉的结构
124 单晶炉炉底板与电极套的装配方法
125 CZ直拉法单晶炉
126 直拉单晶炉热场用石墨埚帮
127 CZ直拉法单晶炉石墨热场结构
128 单晶炉扶绳机构
129 改进的直拉单晶炉加热器结构
130 填装性能良好的原料硅块在单晶炉或多晶炉中的应用
131 硅粉在单晶炉或多晶炉中的应用方法
132 一种用于单晶炉的原料输送装置
133 一种延长单晶炉排气口保温罩寿命的方法和装置
134 一种单晶炉用硬质复合石墨毡保温隔热桶制作工艺
135 单晶炉余热循环利用装置
136 单晶炉称重装置
137 用于单晶炉的保温筒以及具有其的单晶炉
138 可消除挥发份在热屏外侧沉积的单晶炉热场
139 改进的直拉硅单晶炉
140 一种用于直拉硅单晶炉热场系统
141 一种增加区熔单晶炉运行时单晶稳定性的方法及装置
142 一种增加单晶炉投料量的方法
143 直拉硅单晶炉炉盖
144 直拉硅单晶炉的硅熔体液面位置及单晶棒直径的测量方法
145 用于MCZ单晶炉的勾形磁场的优化设计方法
146 一种单晶炉重锤软轴夹具
147 开门式单晶炉取棒车
148 副炉开门式单晶炉
149 单晶炉装置
150 单晶炉装置
151 单晶炉用热屏以及具有其的单晶炉
152 单晶炉装置
153 单晶炉装置
154 一种硅单晶炉热场系统的改进方法
155 单晶炉内一种控氧生长的装置
156 用于MCZ单晶炉的非对称勾形磁场的三维优化设计方法
157 一种单晶炉的石墨热场
158 一种单晶炉及抑制单晶炉的软轴摆动的方法
159 一种延长单晶炉真空泵寿命的方法
160 一种延长单晶炉真空泵寿命的装置
161 一种单晶炉热场的排气方法和装置
162 一种单晶炉热场
163 直拉单晶炉硅液面位置控制方法及装置
164 一种直拉硅单晶炉的复投料装置
165 一种单晶炉热场结构
166 一种提高单晶炉热场坩埚使用寿命的方法及直拉单晶炉
167 一种可提高单晶炉生长速度的冷却装置
168 一种单晶炉旋转机构的轴密封结构
169 单晶炉热屏升降装置
170 大直径单晶炉勾型电磁场装置
171 双加热器移动热屏式直拉单晶炉
172 一种单晶炉用冷却水的处理方法
173 直拉式单晶炉中石墨坩埚
174 直拉硅单晶炉装置及硅单晶拉制方法
175 用于硅单晶生长的连续加料装置及设置该装置的单晶炉
176 一种单晶炉副室提升操作的自动保护方法
177 一种单晶炉抽气孔堵塞的处理方法
178 能够测量熔硅液面与导流筒之间距离的单晶炉热场装置
179 硅单晶炉测温探头安装机构
180 具备双副炉室结构的单晶炉及单晶硅生产方法
181 具有多个均布向下的排气管道的直拉式硅单晶炉热场
182 用于单晶炉的外部连续投料机构
183 单晶炉真空管道压力检测报警系统及其控制方法
184 单晶炉隔离系统
185 一种增高单晶炉
186 一种用于单晶炉上的轴向集线器
187 区熔硅单晶炉电气控制装置
188 一种带有后氧化装置的直拉硅单晶炉
189 太阳能硅单晶炉的冷却水系统
190 太阳能硅单晶炉的组合铜排
191 一种单晶炉移动热屏装置
192 一种具有保护气控制装置的直拉单晶炉
193 一种用于单晶炉的柔性水冷金属电极
194 用于硅单晶炉的坩埚轴传动部件
195 单晶炉导流筒
196 一种十二段加热区水平单晶炉加热体
197 一种硅单晶炉磁流体密封装置
198 带有一次加料器的直拉单晶炉
199 硅单晶炉生长晶体实时称重装置
200 一种单晶炉
201 双滑道单晶炉测径仪
202 单晶炉测径仪底座
203 一种直拉单晶炉用坩埚驱动装置
204 单晶炉炉体结构
205 单晶炉防爆真空管接
206 一种用于直拉单晶炉热场的电极机构
207 双顶丝单晶炉测径仪底座
208 单晶炉观察窗防护镜
209 设有掺杂器的直拉硅单晶炉
210 一种单晶炉冷却供水装置
211 直拉式单晶炉中晶体与熔硅液面熔接状态自动检测装置
212 一种单晶炉热场装置
213 一种防止单晶炉保护气体管路泄漏的供气装置
214 一种单晶炉加热器底盘
215 一种硅单晶炉连续投料装置及设有该装置的硅单晶炉
216 直拉单晶炉用石墨坩埚
217 一种测量直拉单晶炉电极电位差的装置
218 太阳能硅单晶炉热场的导流筒
219 单晶炉取棒车
220 单晶炉真空系统过滤器
221 单晶炉防烧毁石墨件装置
222 单晶炉热场投料装置
223 单晶炉埚转升降轴
224 单晶炉零压报警装置
225 单晶炉单入口式水冷炉盖
226 单晶炉上传动水平调整装置
227 单晶炉晶升软轴固定装置
228 单晶炉扶绳机构
229 单晶炉晶升限位装置
230 单晶炉掺杂料斗
231 单晶炉温度控制单元
232 单晶炉DAC信号给定板
233 单晶炉ADC信号测量板
234 单晶炉翻板箱的冷却结构
235 单晶炉副炉
236 单晶炉盖的过滤结构
237 单晶炉的下炉体结构
238 单晶炉的下炉体
239 单晶炉盖的冷却结构
240 单晶炉上炉体的冷却结构
241 防腐蚀单晶炉上炉体
242 防腐蚀单晶炉翻板箱
243 一种硅单晶炉晶棒托架
244 直拉单晶炉
245 一种用于生长300mm以上大尺寸蓝宝石的单晶炉炉体
246 一种直拉单晶炉热场用石墨电极
247 一种CZ直拉法单晶炉
248 一种CZ直拉法单晶炉石墨热场结构
249 具有上部断热材的单晶炉装置
250 具有反射板的单晶炉装置
251 单晶炉余热循环利用装置
252 单晶炉用导流筒提升机构
253 贴设有石墨布的单晶炉装置
254 单晶炉勾形磁场装置
255 一种直拉单晶炉
256 直拉单晶炉石墨坩埚
257 直拉硅单晶炉装置
258 镀金隔热单晶炉视窗
259 单晶炉籽晶原点开关装置
260 一种硅单晶炉的热场系统
261 单晶炉炉体电动旋转机构
262 单晶炉冷却水回收装置
263 一种包括内热屏罩和外热屏罩的单晶炉装置
264 由断热材、热屏罩、反射板组成的单晶炉装置
265 一种反射板高度小的单晶炉装置
266 一种单晶炉真空管路
267 一种单晶炉重锤软轴夹具
268 一种单晶炉埚转主轴
269 一种单晶炉用安全泄压阀
270 单晶炉用坩埚轴
271 单晶炉用热屏以及具有其的单晶炉
272 单晶炉装置
273 单晶炉副炉结构
274 一种用于单晶炉的原料输送装置
275 一种单晶炉传动部件
276 一种单晶炉冷却系统
277 Z80单晶炉石墨系统
278 改进的直拉单晶炉加热器结构
279 单晶炉用热屏
280 用于单晶炉的二次加料圆棒夹具
281 用于单晶炉的籽晶夹持器
282 用于直拉硅单晶炉热场系统
283 一种单晶炉
284 一种单晶炉限位装置
285 单晶炉副室清洁杆
286 一种用于直拉硅单晶炉的尾气自净化过滤装置
287 单晶炉用石墨坩埚
288 一种单晶炉的石墨热场
289 一种筒式单晶炉的石墨热场
290 一种超大拉伸比单晶炉丝杠防尘罩
291 单晶炉同心水冷电极
292 单晶炉热场
293 一种磁极间距可调式单晶炉电磁场装置
294 一种用于单晶炉降低拉晶功率的热场装置
295 一种单晶炉冷却装置
296 单晶炉谐波滤波补偿装置
297 单晶炉滤波补偿电路
298 单晶炉谐波滤波电路
299 单晶炉滤波补偿柜控制电路
300 单晶炉放气装置
301 单晶炉内一种控氧生长的装置
302 一种用于提取单晶炉热场高温环形石墨部件的装置
303 单晶炉低功耗勾形电磁场装置
304 一种可减小软轴提拉型单晶炉软轴摆动的冲击减振器
305 单晶炉、多晶炉循环水管道装置
306 一种副炉开门式单晶炉
307 一种开门式单晶炉取棒车
308 一种单晶炉激光对中装置
309 一种抑制软轴提拉型单晶炉软轴摆动的阻尼套支撑装置
310 一种抑制软轴提拉型单晶炉软轴摆动的阻尼器
311 一种单晶炉炉室旋转装置
312 勾型磁场单晶炉用炉室抓取提升旋转装置
313 单晶炉勾形磁场升降装置
314 直拉单晶炉热场用多匝复合式埚帮
315 单晶炉籽晶夹头机构
316 一种单晶炉电气控制操作平台
317 一种新型单晶炉电气控制箱
318 一种单晶炉
319 一种单晶炉加料器
320 一种单晶炉
321 单晶炉硅料真空装料装置
322 单晶炉用热屏
323 一种增加单晶炉投料量的装置
324 单晶炉盖的冷却结构
325 单晶炉限位开关装置
326 单晶炉的炉筒加高装置
327 硅单晶炉重锤
328 直拉单晶炉的导流筒
329 直拉单晶炉的炉底压片
330 直拉单晶炉的排气口挡板
331 单晶炉的导流筒
332 高热效单晶炉
333 一种新型三瓣石墨坩埚单晶炉
334 单晶炉用籽晶夹头
335 一种单晶炉用三瓣锅
336 一种单晶炉的石墨热场
337 一种单晶炉真空系统过滤器
338 单晶炉取棒装置
339 一种硅单晶炉的导轨柱部件
340 一种用于单晶炉的保温筒以及具有其的单晶炉
341 单晶炉的提升机构
342 单晶炉的籽晶提拉旋转机构
343 单晶炉滤波补偿专用成套装置
344 单晶炉真空铰链安全阀
345 一种单晶炉电控柜
346 单晶炉机架水平调节机构
347 单晶炉顶部安全阀
348 硅单晶炉热场装卸车
349 一种800型硅单晶炉的石墨导流筒
350 一种直拉单晶炉投料车
351 一种单晶炉
352 一种太阳能硅单晶炉的充气装置
353 一种单晶炉上炉体
354 一种带有通气阀的单晶炉副炉
355 单晶炉保温盖板边口
356 单晶炉用石墨坩埚
357 单晶炉
358 一种应用在单晶炉中的热屏装置
359 一种直拉单晶炉晶棒托架
360 单晶炉中三瓣埚
361 一种直拉单晶炉用组合坩埚
362 一种带有侧取光装置的太阳能级硅单晶生产用单晶炉
363 一种直拉单晶炉坩埚旋转与升降机构
364 一种单晶炉石墨热系统拆卸工具组
365 单晶炉用石墨坩埚
366 一种可提高单晶炉生长速度的单晶炉热场
367 直拉单晶炉用组合坩埚
368 一种单晶炉翻板箱的密封门铰链
369 一种单晶炉用的密封装置
370 单晶炉直拉炉防漏液石墨装置
371 单晶炉绳轮同步装置
372 一种单晶炉加料器
373 一种新型单晶炉提拉头的传动机构
374 一种单晶炉加热开关跳闸报警电路