资料价格：198元

1 用于薄膜材料的沉积和/或表面改性的电子束/微波气体喷射PECVD方法和设备
2 IC制造业中的PECVD－Ti和CVD－Ti薄膜的单一腔室加工方法
3 采用TEOS源PECVD生长氧化硅厚膜的方法
4 低损伤PECVD沉积致密SiO2</sub>的方法
5 在PECVD放电工艺中用于控制电磁辐射的系统和方法
6 用于PECVD沉积工艺期间包覆屏蔽的系统和方法
7 一种可获得均匀电场的大面积VHF-PECVD反应室电极
8 可获得均匀电场的大面积VHF-PECVD反应室异形电极
9 可获得均匀电场的大面积VHF-PECVD反应室背馈入式平行板功率电极
10 通过后PECVD沉积UV处理增加氮化硅膜的拉伸应力的方法
11 一种生长硅基薄膜及高效硅基薄膜太阳能电池的PECVD设备
12 用于容器上内屏障层的PECVD沉积且包括光学等离子体分析器件的装置
13 使用氟化硫从CVD/PECVD腔的内部除去表面沉积物的远程腔方法
14 利用气体注入孔的PECVD的光发射干涉测量
15 用于在容器内部进行等离子体增强型化学气相沉积(PECVD)内阻挡层的装置
16 增加PECVD氮化硅膜层的压缩应力的方法
17 PECVD沉积低应力SiN薄膜工艺
18 PECVD富含硅的氧化物层以减少EEPROM中的UV充电
19 PECVD沉积SiN薄膜剥离工艺
20 采用PECVD由氨基硅烷制备氮化硅
21 调制PECVD放电源的功率及其有关函数的系统和方法
22 消除PECVD膜的第一晶片效应
23 PECVD系统中的气体混合装置、方法和系统
24 一种平板PECVD氮化硅覆膜系统
25 薄膜太阳能电池多级PECVD沉积设备
26 超大产能PECVD设备
27 一种用于PECVD装置的悬臂式推拉舟系统
28 PECVD沉积腔体吹扫系统
29 PECVD设备用气源柜及PECVD设备
30 一种用于防止PECVD镀膜边缘发红的装置
31 用于PECVD设备的维护工具
32 一种单晶硅太阳能电池PECVD后快速散热的装置
33 一种PECVD用基板架自动识别装置
34 PECVD设备的石墨载板传输装置
35 在硅和有机前驱物的PECVD工艺中减少气相反应以沉积无缺陷起始层方法
36 平板氮化硅薄膜PECVD沉积系统
37 太阳能电池片连续式PECVD载片舟成型方法
38 PECVD装置的气体管路结构
39 改善PECVD不定形碳膜层的膜内缺陷的方法
40 PECVD薄膜的总缺陷的减少
41 PECVD用硅片载片器的转换装置
42 PECVD用硅片载片器的变换装置
43 PECVD用硅片载片器的改装装置
44 PECVD用硅片载片器的挂钩
45 PECVD镀膜专用硅片承载器
46 全自动大型平板式PECVD晶硅光伏减反射覆膜制备设备
47 可获得均匀电场的大面积VHF-PECVD反应室瓦片式功率电极
48 具有冷却的背板的PECVD工艺腔室
49 一种PECVD薄膜沉积的自动化制程控制方法
50 全自动大型平板PECVD氮化硅覆膜制备系统
51 可提升薄膜太阳能电池均匀性的PECVD装置及方法
52 一种带有内加热器的PECVD系统
53 采用PECVD制备碳化硅薄膜的方法
54 复合电极板及PECVD沉积盒和PECVD系统
55 使用共形等离子体增强化学气相沉积(PECVD)膜来缩减关键尺寸的方法
56 一种用于PECVD装置的悬臂式推拉舟系统
57 用于低温PECVD应用的基座加热器
58 一种PECVD系统
59 PECVD上下同时镀膜方法
60 去除工艺过程中产生的薄膜污染物的方法及PECVD系统
61 一种晶体硅太阳能电池PECVD彩虹片返工方法
62 用于PECVD自动装卸片系统的石墨舟小车
63 用于非晶硅薄膜太阳电池制作的PECVD装置
64 太阳能电池生产线PECVD环节所用的石墨架导轨
65 平板氮化硅薄膜PECVD沉积系统
66 用于放置在PECVD腔中的背板的夹钳机械装置
67 太阳电池平板式PECVD设备辅助工装
68 PECVD设备上料及下料端的输送台
69 全自动大型平板式PECVD晶硅光伏减反射覆膜制备设备
70 一种全自动大型平板PECVD氮化硅覆膜制备系统
71 一种带有内加热器的PECVD系统
72 一种平板PECVD氮化硅覆膜系统
73 用于PECVD工序与丝网印刷工序间的装卸片运载车
74 一种平板PECVD氮化硅覆膜系统
75 PECVD镀膜专用硅片承载器
76 一种等离子体化学气相沉积法PECVD小车
77 用于放置在PECVD腔中的背板的夹钳机械装置
78 PECVD用硅片载片器的变换装置
79 PECVD用硅片载片器的转换装置
80 等离子体增强化学气相沉积PECVD小车识别系统
81 PECVD设备尾气处理装置
82 适用于PECVD中处理二氧化硅粉尘的多功能尾气处理装置
83 一种平板PECVD氮化硅覆膜的系统
84 一种PECVD设备
85 PECVD用硅片载片器的改装装置
86 PECVD用硅片载片器的挂钩
87 一种PECVD自动装卸舟装置
88 PECVD设备翻盖机构
89 PECVD腔体的内连接结构
90 太阳能电池PECVD镀膜机下料端风冷散热装置
91 平板PECVD装置的挂钩
92 PECVD设备新型开关炉门
93 连续模块化设计PECVD腔体
94 非晶硅太阳电池PECVD系统基片装载盒的清洁装置
95 一种管式PECVD上料小车
96 多路独立供气式PECVD供气沉积系统