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单晶硅生产工艺 单晶硅加工技术【小套】

点击数: 更新时间:2021-02-17 17:35
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资料编号:ZL-2995

资料价格:198元

1 单晶硅晶片及单晶硅的制造方法
2 绝缘体上的单晶硅(SOI)材料的制造方法
3 分离单晶硅埚底料中石英的工艺
4 单晶硅衬底上可动微机械结构单片集成的制作方法
5 直径300mm及300mm以上的单晶硅晶片及其制造方法
6 抑制长的大直径单晶硅生长条纹的直拉生长装置
7 制备单晶硅片表面完整层的新途径
8 非线性磁场中单晶硅拉制方法及其装置
9 掺金、掺铂单晶硅互换热敏电阻及其制作方法
10 单晶硅的制造方法和设备
11 一种单晶硅压力传感器制造方法及其结构
12 单晶硅生产装置
13 制造单晶硅的设备
14 单晶硅直径测定法及其设备
15 单晶硅直径控制法及其设备
16 单晶硅生产设备
17 单晶硅生产设备
18 单晶硅生产设备
19 制造单晶硅的装置
20 单晶硅上大面积(100)取向的金刚石膜的生长方法
21 单晶硅锭及其制造方法
22 提拉单晶硅的装置
23 直拉生长单晶硅期间实时监测和控制氧的一氧化硅探针
24 双电极单晶硅电容加速度传感器及其制造方法
25 通过控制拉速分布制造单晶硅锭和晶片的方法及其产品
26 单晶硅-纳米晶立方氮化硼薄膜类P-N结及其制作方法
27 低浓度钙杂质的石墨支撑容器及其在制造单晶硅中的应用
28 单晶硅片抗机械力的提高
29 生长富空位单晶硅的热屏蔽组件和方法
30 用于单晶硅生长的非Dash缩颈法
31 形成单晶硅层的方法和制造半导体器件的方法
32 热退火后的低缺陷密度单晶硅
33 从低缺陷密度的单晶硅上制备硅-绝缘体结构
34 标定单晶硅晶圆晶向的方法
35 制备具有均匀热过程的单晶硅的方法
36 单晶硅片衬底的磁控溅射铁膜合成二硫化铁的制备方法
37 单晶硅高效复合切割方法及其切割系统
38 新型铝背发射结N型单晶硅太阳电池
39 过渡金属多重掺杂负温度系数单晶硅热敏电阻
40 单晶硅太阳能电池的制造方法及单晶硅太阳能电池
41 单晶硅太阳能电池的制造方法及单晶硅太阳能电池
42 单晶硅太阳能电池的制造方法及单晶硅太阳能电池
43 单晶硅太阳能电池的制造方法及单晶硅太阳能电池
44 超声波清洗单晶硅片方法及其装置
45 使用金属污染及热处理识别单晶硅中的晶体缺陷区的方法
46 可反射出色域的电极结构以及单晶硅面板与显示装置
47 单晶硅的生长方法
48 单晶硅薄膜及其组件的制备方法
49 单晶硅棒制造方法和单晶硅棒结构
50 提高单晶硅太阳能电池减反射膜质量的方法
51 改善半导体单晶硅研磨硅片平行度的方法及其装置
52 一种直拉法生长单晶硅用硅籽晶夹持器
53 区熔单晶炉单晶硅棒夹持机构
54 单晶硅太阳电池微电机风扇凉帽
55 单晶硅片各向异性腐蚀夹具
56 用于制备薄膜的单晶硅辐射式加热器
57 单晶硅炉传动轴用磁性液体密封装置
58 单晶硅衬底双面抛光片
59 单晶硅炉传动轴用磁性流体密封装置
60 低氧碳单晶硅复投料自卸机构
61 一种单晶硅太阳能电池绒面腐蚀槽
62 超声波清洗单晶硅片装置
63 一种锌掺杂的负温度系数单晶硅热敏电阻
64 一种锰掺杂的负温度系数单晶硅热敏电阻
65 具有均匀空位缺陷的单晶硅锭和晶片及其制备方法和设备
66 单晶硅的制造方法及单晶硅以及硅晶片
67 单晶硅晶片及外延片以及单晶硅的制造方法
68 单晶硅片表面制备巯基硅烷-稀土纳米复合薄膜的方法
69 单晶硅片表面制备磺酸基硅烷-稀土纳米复合薄膜的方法
70 提拉单晶硅用石英玻璃坩埚和制造该坩埚的方法
71 涂覆有金属电镀层的单晶硅基片和垂直磁记录介质
72 直拉单晶硅用砷掺杂剂及其制造方法以及使用该掺杂剂的单晶硅的制造方法
73 单晶硅及SOI基板、半导体装置及其制造方法、显示装置
74 平板单晶硅表面的改性方法
75 用于制备低铁污染单晶硅的装置和方法
76 用于控制空位为主的单晶硅热过程的方法
77 一种直拉法生长单晶硅用硅籽晶夹持器
78 用于制备具有改善的栅氧化层完整性的单晶硅的方法
79 单晶硅太阳能电池的表面结构及其制作方法
80 硅片和生产单晶硅的方法
81 单晶硅膜的制造方法
82 单晶硅基片表面自组装稀土纳米膜的制备方法
83 通过控制拉速分布制造单晶硅锭和晶片的方法及其产品
84 单晶硅片表面自组装聚电解质-稀土纳米薄膜的制备方法
85 一种生产硅铁、硅钙和单晶硅的原料的加工方法
86 单晶硅液晶显示面板的驱动系统与方法
87 单一轴向排布的单晶硅纳米线阵列制备方法
88 单晶硅微机械加工的电容式麦克风及其制造方法
89 用于纳米光子技术的单晶硅纳米膜的制备方法
90 单晶硅片表面制备巯基硅烷-稀土自润滑复合薄膜的方法
91 单晶硅片表面制备磺酸基硅烷-稀土纳米复合薄膜的方法
92 纳米晶硅/单晶硅异质结太阳能电池及其制备方法
93 利用坩埚旋转以控制温度梯度的制备单晶硅的方法
94 一种单晶硅抛光片热处理工艺
95 单晶硅片表面氨基硅烷-稀土纳米薄膜的制备方法
96 单晶硅片表面磷酸基硅烷-稀土纳米薄膜的制备方法
97 单晶硅片表面自洁性二氧化钛纳米薄膜的制备方法
98 对称结构双级解耦单晶硅微机械陀螺仪
99 p型单晶硅片的表面处理方法
100 n型单晶硅片的表面处理方法
101 单晶硅拉制炉及多晶硅冶炼炉用炭/炭隔热屏的制备方法
102 单晶硅拉制炉及多晶硅冶炼炉用炭/炭加热器的制备方法
103 掺杂单晶硅硅化电熔丝及其形成方法
104 单晶硅拉制炉用热场炭/炭坩埚的制备方法
105 单晶硅拉制炉用热场炭/炭导流筒的制备方法
106 单晶硅锭和硅片、及其生长装置和方法
107 单片单晶硅微机械加工的电容式压力传感器
108 反射式单晶硅液晶面板以及使用此液晶面板的投影装置
109 一种在单晶硅基底表面直接制备Cr-Si硅化物电阻薄膜的方法
110 单晶硅切方机构
111 制作单晶硅太阳电池绒面的方法
112 单晶硅太阳电池绒面的制备方法
113 单晶硅制备中稀土镧系基合金吸气剂提纯氩气与氩气回收工艺
114 生产单晶硅的方法
115 基于霍夫变换的直拉单晶硅棒直径的测量方法
116 直拉法单晶硅生长过程中的熔体液面位置检测方法
117 在单晶硅片表面制备碳纳米管复合薄膜的方法
118 单晶硅片表面磷酸基硅烷-碳纳米管复合薄膜的制备方法
119 单晶硅拉制炉用炭/炭保温罩的制备方法
120 反射式单晶硅液晶面板
121 用于单晶硅连续生长的系统
122 单晶硅太阳能电池化学蚀刻、清洗、干燥的方法和它的一体化处理机
123 一种单晶硅太阳能电池绒面腐蚀槽
124 形成纳米单晶硅的方法和非挥发性半导体存储器制造方法
125 单晶硅切割废液的处理回收方法
126 单晶硅的培育工艺中溶液的液面位置监视装置
127 单晶硅横向微型MEMS皮拉尼计及其制备方法
128 一种低弯曲薄片单晶硅太阳电池烧结工艺
129 单晶硅太阳能电池的制造方法及单晶硅太阳能电池
130 单晶硅或炭基单晶硅电极电解氧化处理有机化工污水方法
131 单晶硅片水基清洗剂
132 一种双稳态单晶硅梁射频微机电系统开关
133 一种静电推拉式单晶硅梁射频微机电系统开关
134 单晶硅太阳能电池的制造方法及单晶硅太阳能电池
135 单晶硅炉传动装置
136 单晶硅太阳能电池表面处理用的制绒剂及其制造方法
137 混合图形化单晶硅的绝缘层上锗结构、方法及应用
138 单晶硅制备炉石英埚增容加料装置
139 磁场下制备单晶硅太阳能电池绒面的方法
140 单晶硅晶片的制造方法
141 单晶硅晶片的制造方法
142 单晶硅的提拉方法
143 超净工作台及单晶硅用原料的制造方法
144 单晶硅正温度系数片式热敏电阻器及其制备方法
145 金和镍掺杂单晶硅片式负温度系数热敏电阻及其制备方法
146 一种掺镓单晶硅太阳电池及其制造方法
147 一种基于单晶硅片检测红外光谱仪稳定性的方法
148 一种单晶硅片制绒的方法
149 一种单晶硅加料装置
150 一种在单晶硅片表面制备ZrO2复合薄膜的方法
151 一种制备单晶硅绒面的碱腐蚀溶液及方法
152 单晶硅太阳电池的制绒方法
153 单晶硅太阳电池绒面的制备方法
154 一种单晶硅棒的生产工艺及设备
155 基于单晶硅PN结的非制冷红外探测器阵列及其制备方法
156 透光单晶硅太阳电池的制造方法
157 具有单晶硅电极的电容性微机电传感器
158 单晶硅片的COP产生原因的判定方法
159 单晶硅片的COP评价方法
160 太阳能级6寸单晶硅片切割工艺方法
161 单晶硅薄膜太阳电池
162 单晶硅的制造系统及使用该系统的单晶硅的制造方法
163 单晶硅衬底多结太阳电池
164 一种太阳能级单晶硅棒的抛光处理方法
165 一种制造掺镓单晶硅太阳能电池的磷扩散方法
166 一种机床刀具用单晶硅片表面涂层Si3N4复合薄膜的方法
167 一种在单晶硅太阳能电池表面上蚀刻绒面的方法
168 利用含杂质硅材料制备高纯度单晶硅棒的方法及其装置
169 一种在单晶硅片表面制备Si3N4复合薄膜的方法
170 具有逆碳分布的低缺陷碳替代单晶硅层
171 非易失性电荷俘获存储器件的单晶硅制造工艺
172 一种基于摩擦诱导构造单晶硅表面纳米凸起结构的加工方法
173 单晶硅基片表面自组装磺酸基硅烷-二氧化钛复合膜的制备方法
174 单晶硅掺杂剂的生产工艺
175 单晶硅半导体晶片及其制造方法
176 一种用于单晶硅绒面制备的腐蚀液及单晶硅绒面的制备方法
177 单晶硅薄膜组件的制备方法
178 一种激光精密加工单晶硅的方法
179 一种单晶硅片的清洗方法
180 太阳能级φ6英吋无位错单晶硅的制备方法
181 掺氮的定向凝固铸造单晶硅及其制备方法
182 掺锗的定向凝固铸造单晶硅及其制备方法
183 在氮气下铸造氮浓度可控的掺氮单晶硅的方法
184 在氮气下融化多晶硅制备掺氮铸造单晶硅的方法
185 一种绒面单晶硅太阳能电池及其制备方法和制备系统
186 一种降低绒面单晶硅片表面反射率的方法
187 双面光照单晶硅太阳电池
188 单晶硅切方装置
189 反射式单晶硅液晶面板以及使用此液晶面板的投影装置
190 单晶硅棒切方滚磨机床
191 直拉法单晶硅生产用石英坩埚
192 单晶硅棒切方滚磨机床
193 N型基体单晶硅太阳电池
194 区熔单晶硅炉
195 区熔单晶硅生长炉
196 单晶硅炉控制装置
197 软轴单晶硅炉
198 丝网印刷铝背发射结N型单晶硅太阳电池
199 一种用于直拉单晶硅制备中的掺杂装置
200 单晶硅取锭运锭车
201 改善半导体单晶硅研磨硅片平行度的装置
202 软轴单晶硅炉
203 一种单晶硅炉
204 大面积超薄型高效率单晶硅双面照光太阳电池
205 一种降低单晶硅炉能耗的装置
206 一种提高单晶硅炉晶体生长速度的装置
207 单晶硅晶体切片厚度控制器
208 单晶硅加料装置
209 单晶硅加料器
210 一种装夹单晶硅工件的四爪自定心夹具
211 一种数控单晶硅专用磨床
212 一种单晶硅生长炉
213 一种单晶硅磨圆装置
214 便于线切割的单晶硅棒
215 一种单晶硅热场二次加料装置
216 由硅矿产出单晶硅或多晶硅连续纯化反应处理装置
217 单晶硅运锭车
218 一种单晶硅生长炉的加热系统
219 一种单晶硅生产设备的真空装置 

温馨提示

1、资料格式:资料全部为PDF格式文件,可复制到电脑自由阅读、打印,也可以用手机阅读,方便快捷,没有任何限制,所有文件均保证正常打开。

2、资料说明:资料都是国家专利文献原版全文内容,含技术背景/原理、材料配方比例、制作方法、工艺步骤、技术关键、结构设计图(部分设备类有),以及发明人姓名、地址/邮编、申请日期、专利号、权利要求等详细信息。每一项专利文献的内容详略都是不同的,平均每一项4-10页,多的有几十页的。

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