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氧化硅膜生产技术 二氧化硅涂膜形成方法【小套】

点击数: 更新时间:2021-01-09 13:04
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资料编号:ZL-16739

资料价格:198元

1 可改善浅沟槽边角薄膜生长均匀性的二氧化硅制造方法
2 透明二氧化硅覆膜形成用涂覆溶液及透明二氧化硅覆膜的制造方法
3 含有稀土和二氧化硅的二氧化钛纳米薄膜及其制法
4 含亲水纳米铂颗粒和憎水二氧化硅颗粒的复合酶功能敏感膜及其制法和用途
5 氧化硅膜制作方法
6 一种含羟侧基聚酰亚胺/二氧化硅杂化薄膜的制备方法
7 用于氧化硅设备的氧迁移膜
8 一种氧化铝-氧化硅复合氧化物薄膜制备工艺
9 改进的氟掺杂二氧化硅薄膜
10 制造二氧化硅基涂覆隔离膜的材料
11 一种氧化铝-氧化硅-氧化钛复合陶瓷薄膜的制备方法
12 生产具有含有有机着色剂的二氧化硅膜的积层材料的方法和由此生产的积层材料
13 低温光化学气相淀积二氧化硅、氮化硅薄膜技术
14 热壁密装低温低压淀积二氧化硅薄膜技术
15 包含一层带有氧化硅层的薄膜和一层聚烯烃薄膜的材料
16 用于海水淡化的超滤二氧化硅薄膜的制备方法
17 二氧化硅光学镀膜材料的制备方法及二氧化硅材料
18 二氧化硅增透膜的制备方法
19 从氧化硅膜选择蚀刻氮化硅膜的方法
20 在掩膜二氧化硅上钻孔的等离子蚀刻方法
21 介电常数降低的改进二氧化硅绝缘膜及其形成方法
22 二氧化硅薄膜的生产设备及其所用的生产方法
23 氧化锆/氧化硅系高抗激光损伤高反膜的制备方法
24 氧化硅膜的制造方法、半导体装置的制造方法、半导体装置、显示装置和红外光照射装置
25 用于生产多纳孔二氧化硅薄膜的醇基处理器
26 硅烷基多纳米孔隙二氧化硅薄膜
27 玻璃的二氧化硅膜织构化
28 高抗激光损伤阈值疏水增透二氧化硅膜的制备方法
29 由含表面活性剂的溶液制备的中孔二氧化硅膜及其制备方法
30 一种氧化硅纳米孔分子筛薄膜的制备方法
31 采用TEOS源PECVD生长氧化硅厚膜的方法
32 多官能硅基低聚物/聚合物纳米孔二氧化硅薄膜的表面改性中的应用
33 化学机械法抛光二氧化硅薄膜用抛光膏
34 用烷基硅氧烷低聚物和臭氧化学气相沉积氧化硅薄膜
35 在铝酸盐系长余辉荧光粉表面包覆二氧化硅薄膜的方法
36 在微米级条形台面上制作二氧化硅介质膜的方法
37 氧化硅薄膜的沉积
38 氧等离子体辅助脉冲激光沉积法制备二氧化硅薄膜的方法
39 二氧化硅系被膜形成用组合物
40 氧化硅膜的制造方法、其控制程序、存储介质和等离子体处理装置
41 用于高性能CMOS应用的超薄Hf掺杂氮氧化硅膜及制造方法
42 微机械开关低应力氮氧化硅桥膜的制备方法
43 一种提高发光效率的稀土掺杂二氧化硅薄膜制备方法
44 纳米二氧化硅微粒增强的超疏水聚苯乙烯薄膜及其制备方法
45 形成含氧化硅的薄膜的方法
46 掺杂二氧化硅的硅橡胶富氧膜及其制备方法
47 二氧化硅膜形态的控制
48 一种生长二氧化硅薄膜的方法
49 一种高氨基含量有序介孔二氧化硅薄膜及其制备方法和应用
50 应用膜分离技术对超细二氧化硅洗涤提纯的新工艺
51 基于二氧化硅中空微球的中温质子导电膜材料及其制备方法
52 用聚乙烯醇作为模板制备多孔二氧化硅薄膜的方法
53 利用复合掩膜进行反应离子深刻蚀二氧化硅的方法
54 低介电常数绝缘介质氧化硅薄膜及其制备方法
55 氧化锑被覆氧化硅类微粒、其制造方法及含该微粒的膜被覆基材
56 氧气氛下等离子氧化制备二氧化硅薄膜的方法
57 掺杂碳的二氧化硅膜的沉积方法与金属内连线的制造方法
58 二氧化硅涂膜形成用组合物、二氧化硅涂膜及其制造方法、以及电子部件
59 二氧化硅涂膜形成用组合物、二氧化硅涂膜及其制造方法、以及电子部件
60 一种用于硬掩膜层的含氧化硅基团的抗反射组合物
61 氧化锌掺杂的二氧化硅薄膜材料的制备方法
62 生产结构体的方法和氧化硅膜用蚀刻剂
63 笼型多聚物制孔超低介电氧化硅薄膜及其制备方法
64 氧化硅包膜荧光粉及其包膜方法
65 低介电常数多孔氧化硅薄膜及其制备方法
66 由热化学气相沉积制造氮化硅薄膜和氮氧化硅薄膜的方法
67 用于二氧化硅或金属硅酸盐薄膜的前体
68 低介电常数无定形二氧化硅类被膜形成用涂布液及该涂布液的配制方法
69 低介电常数无定形二氧化硅类被膜的形成方法及由该方法得到的低介电常数无定形二氧化硅类被膜
70 纳米氧化硅改性聚烯烃复合棚膜及其生产工艺
71 基于二氧化硅薄膜的悬臂梁式点样针尖的集成制造方法
72 氧化硅膜的成膜方法以及成膜装置
73 生产氢化碳氧化硅膜的方法
74 二氧化硅系被膜形成用涂布液
75 二氧化硅管改性的聚酰亚胺杂化薄膜及其制备方法
76 二氧化硅系被膜形成用涂布液
77 二氧化硅涂膜形成用组合物、二氧化硅涂膜及其制造方法、以及电子部件
78 制造氧化硅薄膜和光学多层膜的方法
79 蒸镀二氧化硅保护膜方法
80 一种掺杂二氧化硅的无氟质子交换膜的制备方法
81 一种以二氧化硅陶瓷为载体的高性能硅分子筛膜及其制备方法
82 含二氧化硅纳米颗粒的类金刚石碳复合薄膜的制备方法
83 一种聚酰亚胺/二氧化硅纳米杂化薄膜的制备方法
84 二氧化硅晶体表面复合增透膜的镀制方法
85 一种纳米银颗粒分散二氧化硅光学薄膜制备方法
86 一种介孔二氧化硅膜的制备方法
87 一种碱土铝酸盐长余辉发光粉表面二氧化硅致密膜层包覆方法
88 一种纳米铜颗粒分散二氧化硅光学薄膜制备方法
89 具有低二氧化硅与氧化铝比率分子筛的混合基质膜以及制造和使用该膜的方法
90 一种纳米二氧化硅改性淀粉基全生物降解薄膜及制备方法
91 二氧化硅膜、该膜的形成材料和相关产品、及其制造方法
92 氮氧化硅膜的形成方法、形成装置以及程序
93 层状奈米氧化硅片改质聚酰胺酸树脂组合物及由其制备的聚酰亚胺薄膜
94 形成有二氧化硅系膜的物品及其制造方法
95 绝缘膜形成用组合物和其制法及二氧化硅系绝缘膜和其形成法
96 有机二氧化硅系膜及形成法、布线结构体、半导体装置及膜形成用组合物
97 有机二氧化硅系膜及形成法、布线结构体、半导体装置及膜形成用组合物
98 二氧化硅类微粒的制备方法、涂膜形成用涂料及覆有涂膜的基材
99 二氧化硅类微粒、其制备方法、涂膜形成用涂料及覆有涂膜的基材
100 具有非晶质氧化硅结合剂的MgF2/sub光学薄膜与具备该薄膜的光学组件,及该MgFs......
101 氧化硅膜的形成方法、半导体装置的制造方法及计算机存储介质
102 着色二氧化硅类涂膜形成用组合物,客服QQ:113`42`68`395
103 低折射率二氧化硅类涂膜形成用组合物
104 宏观取向有序介孔二氧化硅薄膜的制备方法
105 一种介孔二氧化硅膜及一种抗生素制药废水净化处理方法
106 一种纳米银铜颗粒分散二氧化硅光学薄膜与制备方法
107 从有机氨基硅烷前体制备氧化硅薄膜的方法
108 纳米二氧化钛/二氧化硅复合光催化溶胶的制备方法及透明光催化膜
109 用于从低级醇中去除水和氢气分离的二氧化硅杂化膜
110 一种稻壳灰制备二氧化硅膜分离提纯的方法
111 高透明度氧化铈-氧化硅紫外线吸收薄膜的制备方法
112 感光性树脂组合物、二氧化硅系覆膜的形成方法以及具有二氧化硅系覆膜的装置和部件
113 掺杂芴甲氧羰酰氯的氧化硅薄膜及其制备方法和应用
114 苯基修饰有机-无机杂化微孔二氧化硅膜制备方法
115 一种用于水煤气变换膜反应器的疏水二氧化硅膜制备方法
116 一种低介电常数介孔氧化硅薄膜材料的制备方法
117 一种纳米二氧化钛包覆纳米二氧化硅薄膜的制备方法
118 一种优化的多晶栅极氧化硅硬质掩膜去除方法
119 一种改性二氧化硅及高性能锂离子电池隔膜和其应用
120 一种二氧化硅纳米粒共混改性聚砜膜及其制备方法
121 一种丙烯基弹性体/mPE/纳米二氧化硅改性的CPP薄膜
122 一种透明聚酰亚胺/二氧化硅杂化薄膜的制备方法
123 一种硅单晶片的二氧化硅薄膜的剥离装置及其方法
124 一种磁场导向下形貌各向异性的椭球状介孔二氧化硅光子晶体有序薄膜的组装方法
125 包括晶体氧化硅钝化薄膜的光伏电池以及用于制造该光伏电池的方法
126 纳米纤维素/二氧化硅多孔网络结构纤维膜的制备方法
127 介孔二氧化硅球-聚合物纳米复合纳滤膜及其制备方法
128 二氧化硅-硬脂酸复合包膜的硅酮密封胶专用纳米碳酸钙的制备方法
129 基于硅烷的二氧化硅膜形成方法以及半导体器件制造方法
130 二氧化硅类微粒的分散溶胶的制造方法、二氧化硅类微粒的分散溶胶、含有该分散溶胶的涂料组合物、固化性涂膜......
131 低温二氧化硅薄膜的形成方法
132 低温二氧化硅薄膜的形成方法
133 低温二氧化硅薄膜的形成方法
134 一种介孔二氧化硅膜的制备方法
135 低温二氧化硅薄膜的形成方法
136 一种二氧化硅减反射膜的制备方法
137 梯度折射率二氧化硅增透膜玻璃及其制备方法
138 碳纳米管、纳米二氧化硅共改性聚乙烯醇复合超滤膜
139 一种大面积无裂缝二氧化硅胶体晶体薄膜的制备方法
140 一种分离CH4/sub/CO2/sub气体的二氧化硅膜及其制备方法
141 一种分离CH4/sub/CO2/sub的改性二氧化硅膜
142 一种聚醚酰亚胺/氨基化二氧化硅杂化膜的制备方法
143 一种晶体硅太阳电池二氧化硅薄膜的制备方法
144 用于化学机械抛光包含氧化硅电介质和多晶硅膜的基底的含水抛光组合物和方法
145 涂有二氧化硅纳米颗粒的玻璃样聚合物抗反射膜、制备方法以及使用该膜的吸光装置
146 反应溅射二氧化硅与导电膜连镀的气体隔离装置
147 中频反应磁控溅射制备二氧化硅膜设备
148 一种沉积二氧化硅薄膜的装置
149 一种具有二氧化硅膜的光伏玻璃
150 一种新型的用于晶圆二氧化硅背封膜生长过程的硅片承载装置
151 熔融二氧化硅薄膜
152 一种多孔氧化硅膜的制备方法
153 氧化硅薄膜的制造方法
154 二氧化硅气凝胶薄膜材料的制备方法
155 纳米多孔二氧化硅光学薄膜的制备方法
156 一种低介电常数氧化硅薄膜的化学气相淀积方法
157 掺氟氧化硅玻璃层间绝缘膜的集成方法
158 改性多孔质二氧化硅膜的制造方法、由该制造方法得到的改性多孔质二氧化硅膜、及含有该改性多孔质二氧化硅膜......
159 聚酰亚胺/二氧化硅空心微球复合薄膜的制备方法
160 用来改变氧化硅和氮化硅膜的介电性能的有机硅烷化合物
161 球型二氧化硅/聚酰亚胺复合薄膜及其制备方法与应用
162 除汞用纳米多孔二氧化硅-聚间苯二胺复合薄膜及其制备方法
163 二氧化硅涂膜形成用组合物、二氧化硅涂膜及其制造方法、电子部件
164 中空二氧化硅微粒、含有该微粒的透明涂膜形成用组合物、及覆有透明涂膜的基材
165 氧化硅膜、其制备方法以及具有使用其的栅极绝缘膜的半导体器件
166 Nafion/介孔二氧化硅复合质子交换膜的制备方法
167 氮化硅/氧化硅双层增透保护薄膜的制备方法
168 二氧化硅气凝胶薄膜的制备方法、减反射涂层和光学元件
169 去除缺陷膜层及形成氧化硅-氮化硅-氧化硅侧墙的方法
170 一种超疏水透明二氧化硅薄膜的制备方法
171 通过来自乙硅烷前体的远程等离子体CVD的高质量氧化硅膜
172 HDP CVD工艺淀积介质膜时减少二氧化硅的方法
173 一种用于刻蚀二氧化硅掩膜的浆料的清洗工艺
174 一种采用氮化硅(Si3/subN4/sub)和掺磷氧化硅(PSG)复合薄......
175 新颖沉积-等离子硬化循环处理以提高二氧化硅膜品质方法
176 一种氮氧化硅薄膜的等离子处理程度的光学检测方法
177 一种二氧化硅/聚偏氟乙烯复合纳米纤维膜的制备方法
178 一种用于刻蚀二氧化硅掩膜的浆料的清洗工艺
179 放射线敏感性组合物、二氧化硅系覆膜的形成方法、二氧化硅系覆膜、具有二氧化硅系覆膜的装置和部件以及绝缘......
180 浅沟渠隔离的二氧化硅高品质介电膜的形成:于高纵深比填沟工艺Ⅱ( HARPⅡ)使用不同的硅氧烷前体—远......
181 折射率可控的多孔性二氧化硅减反膜的制备方法
182 一种银、金纳米颗粒分散二氧化硅光学薄膜及制备方法
183 环境稳定的超低介电常数二氧化硅多孔薄膜的制备方法
184 一种高柔韧超疏水耐高温纳米二氧化硅纤维膜的制备方法
185 包含基于掺杂了三价元素的二氧化硅的微孔二氧化硅层的气体分离膜
186 二氧化钛二氧化硅复合纳米管光催化薄膜的制备方法
187 一种超亲水性介孔氧化硅薄膜的制备方法
188 去除氮氧化硅膜的方法
189 介孔二氧化硅薄膜
190 制备壳聚糖/二氧化硅杂化阻隔性包装复合薄膜的方法
191 包含具有特定折射率的二氧化硅的层压玻璃制品用夹层膜
192 中空纳米二氧化硅微球改性的聚丙烯酸酯核壳结构复合乳液及薄膜
193 碳化硅-氧化硅陶瓷膜过滤管的生产方法
194 高性能聚电解质-二氧化硅纳米复合物渗透汽化膜的制备方法
195 一种制备低介电常数纳米氧化硅分子筛薄膜的方法
196 氧化硅薄膜及金属-绝缘体-金属型电容的形成方法
197 一种去除正面化学气相沉积层二氧化硅膜的方法
198 多孔质二氧化硅前体组合物及其制备方法、多孔质二氧化硅膜及其形成方法、半导体元件、图像显示装置及液晶显......
199 硅钨酸/二氧化硅聚乙烯醇质子交换膜的制备方法
200 在紫铜基底上制备微纳米二氧化硅薄膜的方法
201 功能化壳带状二氧化硅纳米纤维膜的制备方法
202 一种氧化硅超疏水薄膜的溶胶凝胶制备方法
203 一种纤维和改性二氧化硅掺杂含氟离子膜及其制备方法
204 以光刻胶为掩膜对二氧化硅进行深刻蚀的方法
205 二氧化硅分散体的制造方法、能量射线固化型树脂组合物及膜
206 含疏水纳米二氧化硅微粒的疏水性壳聚糖薄膜及其制备方法
207 一种聚二甲基硅氧烷/二氧化硅杂化膜及制备方法
208 二氧化硅薄膜力学特性测试用薄膜的制备方法
209 一种氧化硅基半导体纳米薄膜的制备方法
210 去除氮氧化硅膜残留物的方法
211 掺氟的氧化硅薄膜的形成方法
212 一种二氧化硅增透膜的制备方法
213 纳米晶硅-氧化铝/氧化硅热电薄膜材料的制备方法
214 氧化硅膜的形成方法、氧化硅膜、半导体器件、以及半导体器件的制造方法
215 二氧化硅溶胶浸渍微弧氧化法制备镁合金微弧氧化膜
216 检测掺氮氧化硅薄膜含氮量的方法
217 反应型二氧化硅化合物以及包含其的光学保护膜
218 聚苯乙烯基介孔二氧化硅薄膜的制备方法
219 苯乙烯接枝二氧化硅超疏水薄膜的制备方法
220 一种高透过纳米二氧化硅减反射薄膜及其制备方法和应用
221 一种原位无皂种子乳液聚合法制备改性酪素/纳米二氧化硅复合成膜剂的方法
222 氧化硅膜、氧化硅膜的形成方法及等离子体CVD装置
223 溶胶凝胶法制备疏水性介孔二氧化硅膜
224 中空介孔二氧化硅球-聚合物杂化超滤膜及其制备方法
225 改善再生晶圆表面性能以及在其上沉积富氧氧化硅薄膜的方法
226 一种制备纳米级二氧化硅图形掩膜的方法
227 一种在晶圆上淀积掺氟氧化硅薄膜的方法
228 一种在金属基体表面制备锌-镍-二氧化硅复合膜的方法
229 一种改性二氧化硅和高性能锂离子电池隔膜及其应用
230 塑料薄膜开口剂用二氧化硅的制备方法
231 超亲水二氧化钛/二氧化硅多孔双层膜的制备方法
232 一种用于栅极侧墙的二氧化硅薄膜的沉积方法
233 向钨膜或者氧化钨膜上形成氧化硅膜的成膜方法
234 一种MIM型电容中绝缘体二氧化硅薄膜的制备方法
235 一种耐高温二氧化硅纳米纤维过滤膜的制备方法
236 多孔纳米二氧化硅减反射膜的制备方法
237 一种超低介电常数薄膜生长中形成渐进二氧化硅层的方法
238 MIM型电容中绝缘体二氧化硅薄膜的制备方法
239 二氧化硅膜应力监测方法以及半导体器件制造方法
240 疏水二氧化硅纤维膜的制备及在去除有机污染物的应用
241 一种疏水性介孔二氧化硅膜的溶胶-凝胶制备方法
242 一种溶胶凝胶二氧化硅薄膜的制备方法
243 一种二氧化硅超疏水薄膜的制备方法及一种超疏水材料
244 表面超快疏水处理的二氧化硅增透膜及其制备方法
245 化学气相法一步合成氧化硅/碳纳米管膜状锂离子电池负极材料的方法
246 一种高稳定性纳米二氧化硅溶胶镀膜液的制备方法
247 一种选择性发射极电池片二氧化硅膜的制备方法
248 一种晶体硅太阳能电池多层二氧化硅减反射膜
249 带含无机微粒的氧化硅膜的玻璃基板的制造方法
250 一种湿法氧化制备二氧化硅掩膜的方法
251 含二氧化硅聚酰亚胺薄膜的制备方法
252 利用二氧化硅制作背反射层之高效率薄膜太阳能电池
253 利用二氧化硅中间层制作高效率双结硅薄膜太阳能电池
254 羟乙基纤维素-二氧化硅渗透汽化杂化膜的制备方法
255 一种低挥发性纳米二氧化硅溶胶镀膜液的制备方法
256 一种准对称薄层结构二氧化硅膜的制备方法
257 用于化学机械抛光包含氧化硅电介质和多晶硅膜的衬底的含水抛光组合物和方法
258 一种聚醚酰亚胺与气相二氧化硅混合基质膜、制备及应用
259 一种光控局部电沉积二氧化硅薄膜的制备方法
260 一种二氧化硅AR膜及其制备方法
261 氮氧化硅膜及其形成方法以及半导体器件
262 一种超疏水性纳米二氧化硅膜的制备方法
263 一种硅橡胶掺杂二氧化硅共混膜的制备方法
264 改善浅槽隔离氧化硅膜表面平坦化的方法
265 碳纳米管、纳米二氧化硅共改性聚乙烯醇复合超滤膜的制备方法
266 一种介孔氧化硅薄膜材料的制备方法
267 碳氮氧化硅膜的形成方法
268 聚合物中空纤维上的介孔二氧化硅膜
269 从有机氨基硅烷前体制备氧化硅薄膜的方法

温馨提示

1、资料格式:资料全部为PDF格式文件,可复制到电脑自由阅读、打印,也可以用手机阅读,方便快捷,没有任何限制,所有文件均保证正常打开。

2、资料说明:资料都是国家专利文献原版全文内容,含技术背景/原理、材料配方比例、制作方法、工艺步骤、技术关键、结构设计图(部分设备类有),以及发明人姓名、地址/邮编、申请日期、专利号、权利要求等详细信息。每一项专利文献的内容详略都是不同的,平均每一项4-10页,多的有几十页的。

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