溅镀靶材制备方法 溅镀靶材装置结构加工方法专利资料【小套】
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1 溅射玻璃镀膜用镍基变形合金靶材
2 以气喷粉末制作铝合金溅镀靶材的方法
3 金属溅镀靶材的制造方法
4 氮化碳超硬薄膜镀覆靶材及其制备方法
5 溅镀靶材的制造方法
6 钽基化合物的陶瓷溅镀靶材及其应用方法和制备方法
7 溅镀靶材
8 溅镀靶材牌的电子束焊接
9 对向靶材式溅镀装置
10 溅镀靶材的制造方法
11 溅镀靶材
12 以等离子喷涂制备圆柱形大面积镀膜靶材及方法
13 光伏吸收层溅射镀膜的铜镓合金旋转靶材及制备方法
14 一种真空溅射镀膜用硅铝合金中空旋转靶材的制备方法
15 溅射式镀膜机用靶材结构
16 真空离子溅镀靶材
17 真空镀膜机用成型镀膜靶材
18 靶材金属化蒸发镀膜用多功能夹具
19 用于反射型平面显示器的反射膜及溅镀靶材的合金材料
20 高真空离子束溅镀靶材利用率增强装置
21 含贵金属溅镀靶材的制作方法
22 一种具有多元靶材的溅镀靶
23 一种溅射镀膜用高硅含量硅铝合金靶材及其制备方法
24 电弧离子镀方法以及该方法中使用的靶材
25 高强度光记录介质保护膜形成用溅镀靶材
26 溅镀用方形TiW靶材表面处理工艺
27 掺铌纳米铟锡氧化物粉末及其高密度溅射镀膜靶材的制备方法
28 磁控溅射镀膜系统中提高平面靶材利用率的方法
29 陶瓷溅镀靶材组件及其焊合方法
30 形成金属玻璃镀膜的靶材及该靶材形成的复合材料
31 再生溅镀靶材及其制作方法
32 用于磁控溅射镀膜的导电Nb2</sub>O5-x</sub>靶材及生产方法
33 一种玻璃镀膜靶材及其制备方法
34 一种靶材和利用靶材在铝或铝合金基材上镀膜的工艺方法
35 CIGS太阳能光电四元溅镀靶材、其制法、其与靶背板结合方法及其补料方法
36 一种玻璃镀膜用ZnSn溅射靶材的制造方法
37 靶材基座及采用该靶材基座的镀膜装置
38 溅镀用旋转靶材的粘接合成物及利用上述合成物的旋转靶材粘接方法
39 用于电弧离子镀沉积磁性材料涂层的复合结构靶材及应用
40 可均匀镀膜的靶材装置
41 高真空离子束溅镀靶材利用率增强装置
42 溅镀靶材的冷却装置
43 用于溅镀设备更换靶材的辅助装置
44 一种磁控溅射镀膜设备中的靶材结构
45 靶材结构及其溅镀设备
46 高材料利用率的溅镀靶材
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2、资料说明：资料都是国家专利文献原版全文内容，含技术背景/原理、材料配方比例、制作方法、工艺步骤、技术关键、结构设计图（部分设备类有），以及发明人姓名、地址/邮编、申请日期、专利号、权利要求等详细信息。每一项专利文献的内容详略都是不同的，平均每一项4-10页，多的有几十页的。
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