磁控溅射靶构造加工方法 平面磁控溅射靶材料装置技术【小套】
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1 对向异材磁控溅射靶制备合金薄膜工艺方法
2 包层的中空阴极磁控管溅射靶的制造方法
3 制备组分渐变薄膜的磁控溅射靶
4 用于10<sup>-8</sup>Pa超高真空圆形平面磁控溅射靶的密封装置
5 平面磁控溅射靶及其镀膜方法
6 复合磁控溅射靶及其镀膜方法
7 磁控溅射靶的制造方法及该方法使用的模具
8 一种可提高靶材利用率的磁控溅射靶
9 一种具有在线清洗功能的磁控溅射靶及其应用方法
10 增强的磁控溅射靶
11 一种可调节磁靴的磁控溅射靶
12 磁控溅射靶结构
13 一种改型磁控溅射靶材部件及其方法
14 Mn-Co-Ni-O薄膜材料磁控溅射靶材制作方法
15 一种平面磁控溅射靶
16 一种平面磁控溅射靶
17 同轴磁控溅射靶
18 合金成分可调的平面磁控溅射靶
19 透明导电膜平面磁控溅射靶板
20 圆柱型平面式磁控溅射靶
21 永磁式平面磁控溅射靶
22 可延长靶材使用寿命的平面磁控溅射靶
23 扫描聚焦磁控溅射靶
24 一种磁控溅射靶
25 真空镀膜机磁控溅射靶装置
26 定向式圆柱磁控溅射靶
27 一种组合式磁控溅射靶材
28 一种具有磁场增强和调节功能的磁控溅射靶
29 旋转圆柱磁控溅射靶
30 一种旋转磁控溅射靶
31 超高真空磁控溅射矩形平面溅射靶
32 一种改善磁场分布的平面磁控溅射靶
33 一种用于贵重金属镀膜的磁控溅射靶
34 一种用于超高真空的磁控溅射靶以及靶中磁体的制备工艺
35 磁控管溅射靶中腐蚀的预测和补偿
36 一种磁控溅射靶
37 磁控溅射靶材表面粗糙度的监测方法和系统
38 磁控溅射靶座及具有该磁控溅射靶座的磁控溅射装置
39 一种用于超高真空的磁控溅射靶
40 磁控溅射靶
41 磁控溅射靶及采用该磁控溅射靶的磁控溅射装置
42 一种提高利用率的平面磁控溅射靶
43 一种高利用率的平面磁控溅射靶
44 一种磁控溅射靶
45 磁水分离型平面磁控溅射靶
46 一种磁控溅射靶磁场源
47 旋转式磁控溅射靶
48 一种旋转式圆柱磁控溅射靶
49 一种具有在线清洗功能的磁控溅射靶
50 磁控溅射靶结构及设备
51 磁控溅射靶
52 磁控溅射靶
53 一种新型结构平面磁控溅射靶
54 内装式磁控溅射靶
55 一种提高利用率的平面磁控溅射靶
56 磁控溅射靶屏蔽装置
57 光盘薄膜制备中磁控溅射靶材装置
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1、资料格式：资料全部为PDF格式文件，可复制到电脑自由阅读、打印，也可以用手机阅读，方便快捷，没有任何限制，所有文件均保证正常打开。
2、资料说明：资料都是国家专利文献原版全文内容，含技术背景/原理、材料配方比例、制作方法、工艺步骤、技术关键、结构设计图（部分设备类有），以及发明人姓名、地址/邮编、申请日期、专利号、权利要求等详细信息。每一项专利文献的内容详略都是不同的，平均每一项4-10页，多的有几十页的。
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