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1 多晶硅—碳化硅叠层薄膜太阳能电池
2 一种多级吸附和多级再生提纯多晶硅尾气的方法
3 高纯度二氧化硅与冶金级多晶硅的制法
4 应用流化床反应器连续制备多晶硅的方法
5 注入气体的装置及利用该装置生成原位掺杂多晶硅方法
6 多晶硅薄膜组件的制备方法
7 一种多晶硅太阳电池绒面制作方法
8 多晶硅层的制作方法
9 多晶硅膜的形成方法
10 形成LCD驱动IC的R串中的多晶硅图样的方法及其结构
11 多晶硅炉用炭/炭复合材料发热体的制备方法
12 低温多晶硅薄膜晶体管的制造方法
13 用于将多晶硅碎片灵活分级的装置和方法
14 多晶硅生产中的氯硅烷、氢气混合的方法
15 空气冷却多晶硅氢还原炉出气管的方法
16 PLC自动控制的多晶硅还原炉进气系统
17 一种多晶硅提纯或铸锭炉的硅液泄漏防护装置
18 多晶硅太阳能电池铸锭用石英坩埚的氮化硅喷涂方法
19 多晶硅还原炉高压启动装置
20 一种高纯金属硅提纯制备高纯多晶硅的方法及装置
21 一种多晶硅铸锭炉
22 T型多晶硅栅电极的制备方法
23 一种两次刻蚀单多晶硅的高功率BCD工艺
24 在化学气相沉积反应器中提高的多晶硅沉积
25 制备粒状多晶硅的方法和装置
26 基于多晶硅PN结的非制冷红外探测器阵列及其制备方法
27 使用搀杂物和具有受控晶体结构的多层硅薄膜来调整多晶硅薄膜和周围层的应力
28 对深沟槽内的多晶硅进行干法刻蚀的方法
29 一种可提高抛光性能的多晶硅抛光方法
30 一种多晶硅化学机械抛光液
31 多晶硅还原炉用硅芯电极
32 一种多晶硅栅极刻蚀的方法
33 带有多晶硅晶粒的硅化物源极/漏极电极
34 多晶硅制造装置以及制造方法
35 多晶硅生产用还原炉的进气口和出气口
36 多晶硅提纯用真空电子束熔炼炉
37 多晶硅制造方法
38 高电阻多晶硅形成方法
39 太阳能级多晶硅的生产方法
40 用于边缘限定硅膜生长法生产带状多晶硅的装置
41 提高自对准接触孔击穿电压的方法和多晶硅栅极结构
42 多晶硅生产用还原炉
43 一种太阳能多晶硅材料的生产工艺
44 测量半球形颗粒多晶硅层厚度的方法
45 双层多晶硅自对准栅结构的制备方法
46 多晶硅膜层的制造方法
47 多晶硅还原反应炉
48 多晶硅-绝缘体-多晶硅电容结构
49 用于半球形晶粒硅和纳米晶粒尺寸多晶硅的单晶片热CVD处理
50 多晶硅的还原生产工艺及其生产用还原炉
51 一种多晶硅控档片、以及多晶硅控档片的回收方法
52 柔性石墨衬底多晶硅薄膜的制备方法
53 一种多晶硅氢化炉用炭/炭发热体的制备方法
54 用于使半导体级多晶硅锭料定向凝固的方法和坩埚
55 一种制备多晶硅的方法
56 多晶硅副产品四氯化硅的回收利用方法
57 一种制备多晶硅薄膜的方法
58 用于PCRAM的多晶硅发射极BJT存取器件
59 多晶硅还原炉石墨电极的洁净处理水淬法
60 一种低温多晶硅薄膜器件及其制造方法
61 沉积多晶硅的方法
62 一种制备太阳能电池级多晶硅产品的方法
63 薄膜晶体管的多晶硅层及其显示器
64 一种制造精炼冶金多晶硅太阳能电池的磷扩散方法
65 多晶硅的制备方法及多晶硅的制备设备
66 用于制造经分级的高纯度多晶硅碎片的方法和装置
67 无掩模多层多晶硅电阻器
68 一种去除原生多晶硅棒端面石墨的方法
69 一种多晶硅的制备方法
70 多晶硅铸锭梯度冷却升降机构
71 一种多晶硅还原电源硅棒并串联的控制回路
72 一种用于制备单层多晶硅栅非挥发性存储器的方法
73 用多晶硅做寿命控制层的内透明集电极IGBT制造方法
74 宽槽形多晶硅联栅晶体管
75 一种利用等离子体提纯铸造一体炉制备多晶硅的方法
76 一种多晶硅坩锅平台支撑装置
77 一种多晶硅太阳能电池制作方法
78 多晶硅棒热力学破碎工艺与装备
79 一种多晶硅铸锭用坩埚涂层以及制备方法
80 用于制造多晶硅的等离子体沉积装置和方法
81 一种用于生长多晶硅棒的硅芯及其制备方法
82 用于功率金属氧化物半导体场效应晶体管及集成电路的递减电压多晶硅二极管静电放电电路
83 具多晶硅层及微晶硅层的双底材主动层结构、方法及装置
84 槽形栅多晶硅结构的联栅晶体管
85 具有直接沟槽多晶硅接触的横向沟槽金属氧化物半导体场效应晶体管及其形成方法
86 多晶硅生产过程中的三氯氢硅分离提纯系统及操作方法
87 多晶硅薄膜太阳能电池的制造方法
88 多晶硅制造装置中的聚合物钝化方法
89 多晶硅制造装置
90 用于抛光多晶硅的化学机械抛光液
91 槽形栅掺砷多晶硅结构的联栅晶体管
92 用于使用多晶硅的沟槽DMOS器件的源极和本体连接结构
93 一种制备多晶硅的方法
94 组合式多晶硅提纯凝固坩埚
95 一种多晶硅的除硼提纯方法及装置
96 用于抛光多晶硅的化学机械抛光液
97 非离子型聚合物在自停止多晶硅抛光液制备及使用中的应用
98 利用硅纳米颗粒制备高纯多晶硅的方法及装置
99 提高多晶硅的纯化和沉积效率的方法和装置
100 一种多晶硅生产用氢化炉装置内电极密封的方法及装置
101 多晶硅棒的制造方法
102 晶体连续生产设备及使用该设备连续生产多晶硅的方法
103 多晶硅硅料的清洗方法
104 一种用于抛光多晶硅的化学机械抛光液
105 多晶硅铸锭炉的耐腐蚀涂层、耐高温保护层及其制备方法
106 一种测定多晶硅中硼、磷含量的方法
107 掺杂多晶硅的平坦化方法以及多晶硅浮栅的制作方法
108 多晶硅薄膜及栅极的形成方法
109 多晶硅表面平坦化的方法
110 利用多晶硅基脚特性实现低漏电流的PMOS器件的加工方法

111 自对准侧壁多晶硅导线制造方法及使用该方法制造的导线
112 数控多晶硅硅芯多线切割机床
113 一种工业化生产太阳能级多晶硅的方法
114 多晶硅薄膜及多晶硅栅极的形成方法
115 顶部带有硬质掩膜层的多晶硅栅极结构及制备方法
116 多晶硅还原炉高压启动绝缘电极
117 一种多晶硅薄膜太阳能电池
118 一种提纯太阳能级多晶硅的装置与方法
119 多晶硅酸蚀化学绒面制备添加剂
120 多晶硅铸锭设备的漏硅检测结构
121 用于基于SONOS的快闪存储的多晶硅栅极蚀刻方法和器件
122 冶金级多晶硅太阳能电池磷扩散工艺
123 多晶硅用石墨
124 三为一体多晶硅定向结晶炉
125 一种用于回收多晶硅提纯工艺废物焚烧废热的余热锅炉
126 多晶硅栅极、半导体器件及其形成方法
127 多晶硅栅极、侧墙、半导体器件及其形成方法
128 多晶硅生长视频监测装置
129 用于制备高纯多晶硅的装置
130 多晶硅还原炉自动调功装置
131 在氮气下融化多晶硅制备掺氮铸造单晶硅的方法
132 氮气下融硅掺氮制备铸造多晶硅的方法
133 掺氮的定向凝固铸造多晶硅及其制备方法
134 在氮气下铸造氮浓度可控的掺氮多晶硅的方法
135 一种生长多晶硅锭的坩埚
136 掩模刻蚀制程中减少多晶硅损失的方法
137 单层多晶硅HBT非本征基区的掺杂方法
138 一种基于多晶硅发射极的双极晶体管
139 一种用于多晶硅生产领域的防止硅液漏流用坩埚托
140 一种高纯多晶硅的生产方法及生产装备
141 一种在炉管中沉积多晶硅的方法
142 一种多晶硅装置的清洗方法
143 多晶硅制造装置
144 多晶硅酸法制绒工艺
145 制造多晶硅和硅-锗太阳能电池的方法和系统
146 掺杂栅介质层、多晶硅层及叠层顶层的最小厚度确定方法
147 具有多晶硅接触的自对准MOS结构
148 一种多晶硅生长铸锭炉
149 一种多晶硅太阳电池表面织构的制备方法
150 多根多晶硅棒的取棒方法及其取棒装置和取棒装置组合件
151 在多晶硅膜层中形成窄沟槽结构的制备方法
152 用于抛光多晶硅的化学机械抛光液
153 多晶硅氢化炉双层导流隔热罩
154 一种去除磷掺杂多晶硅表面氧化物的方法
155 多晶硅太阳能电池
156 一种多晶硅氢化炉用炭/炭隔热屏的制备方法
157 带温度传感器的多晶硅纳米膜压力传感器及其制作方法
158 多晶硅浮置栅极及其制造方法
159 多晶硅薄膜及栅极的形成方法
160 多晶硅化学机械抛光液
161 一种多晶硅硅棒的生产方法
162 一种单晶向、柱状大晶粒的铸造多晶硅的制备方法
163 绝缘涂料、多晶硅提纯设备及其防电离与防短路方法、电气设备
164 一种微正压状态下生长多晶硅锭的方法和铸锭炉
165 一种多晶硅铸锭炉保温系统
166 一种减少多晶硅铸锭应力的方法
167 一种减少多晶硅铸锭应力的方法和装置
168 多晶硅提纯方法及用于多晶硅提纯的坩埚、提纯设备
169 铝诱导低温制备大晶粒多晶硅薄膜的方法
170 多晶硅的修复刻蚀方法
171 一种多晶硅太阳电池及其制备方法
172 一种从单/多晶硅切割料浆中回收太阳能级多晶硅的方法
173 一种多晶硅除硼提纯方法
174 一种采用电磁感应熔炼辅助高温等离子除硼提纯多晶硅的生产工艺及装置
175 一种生产P型太阳能电池用多晶硅的工艺
176 酸洗除杂方法、设备及多晶硅提纯方法、系统
177 一种多晶硅预掺杂方法
178 默认多晶硅间距设计规则下的混合多晶硅间距单元设计结构及系统
179 一种用稻壳制备生产太阳能电池多晶硅原料的方法
180 冶金法多晶硅太阳能电池的制备方法
181 用于包装粉碎的多晶硅材料的方法和装置
182 三氯硅烷的制备方法和制备装置以及多晶硅的制备方法
183 生产多晶硅的装置和方法以及多晶硅的锭和片
184 具有搭桥晶粒结构的多晶硅薄膜晶体管
185 制造低温多晶硅晶体管的多晶硅的组合设备工具
186 多晶硅薄膜晶体管离子注入机
187 多晶硅氢还原炉
188 非晶硅（多晶硅）家用小型太阳能发、用电装置
189 多晶硅氢还原炉
190 低温多晶硅薄膜晶体管
191 低温多晶硅薄膜晶体管
192 低温多晶硅薄膜晶体管基板
193 低温多晶硅显示装置
194 MTV播放器低温多晶硅显示装置
195 多晶硅太阳能发电并网装置
196 一种减少多晶硅生长工艺崩边的石英舟
197 多晶硅冶炼用调压变压器
198 制备多晶硅用铸锭炉
199 多晶硅定向凝固下拉晶体生长的重心驱动传动机构
200 有双重冷却系统的多晶硅还原炉
201 单/多晶硅薄膜及其组件的制备装置
202 多晶硅铸锭炉的炉体保护装置
203 一种多晶硅分凝铸锭炉
204 采用梯度降温的多晶硅精铸锭炉
205 一种无需移动部件的多晶硅分凝铸锭炉
206 一种带水冷式双电极和软电缆的多晶硅铸锭炉
207 一种带可升降式保温罩的多晶硅铸锭炉
208 多晶硅制造装置
209 新型多晶硅还原炉
210 节能型多晶硅还原炉
211 多晶硅制造炉
212 多晶硅铸锭炉
213 多晶硅氯硅烷取样装置
214 带有多晶硅场板的功率MOS场效应管
215 用于多晶硅铸锭工艺的石墨加热器
216 晶粒尺寸可控的多晶硅薄膜制备及检测装置
217 多晶硅尾气净化装置
218 新型快开式、水冷结构的多晶硅还原炉
219 新型多晶硅还原炉之水冷双层玻璃视镜
220 新型多晶硅还原炉之水冷电极
221 具有多晶硅装饰层的物品
222 多晶硅铸锭炉的热场结构
223 具有一层保温条的多晶硅铸锭炉的热场结构
224 具有五层保温条的多晶硅铸锭炉的热场结构
225 具有石墨冷却块保温条的多晶硅铸锭炉热场结构
226 多晶硅铸锭炉坩埚的护板
227 一种多晶硅铸锭炉
228 多晶硅炉传动装置
229 一种新型多晶硅炉
230 多晶硅铸锭炉
231 多晶硅炉泄压装置
232 适于单层多晶硅CMOS工艺的LCOS像素单元结构
233 多晶硅提纯或铸锭炉的硅液泄漏防护机构
234 多晶硅坩埚平台支撑机构
235 多晶硅还原炉
236 一种多晶硅定向长晶热场结构
237 一种多晶硅用石墨
238 用于制备高纯多晶硅的装置
239 带有补充加料装置的定向凝固多晶硅铸造炉
240 进气管喷嘴可调节的多晶硅还原炉
241 多晶硅铸锭炉同步提升装置
242 三位一体多晶硅定向结晶炉
243 托在多晶硅生产领域用的坩埚下部的防漏流的坩埚托
244 一种多晶硅还原炉用变压器
245 连续式多晶硅提纯结晶炉
246 一种用于多晶硅真空区熔提纯的加热线圈
247 一种多晶硅还原炉或氢化炉用干式变流变压器
248 用于多晶硅结晶的石英坩埚
249 多晶硅还原炉挠性结构冷却夹套
250 带有微调装置的多晶硅铸锭炉上料用货叉
251 用于多晶硅生产的固舌阀塔盘
252 多晶硅静态温梯定向凝固提纯炉
253 一种多晶硅变流变压器
254 多晶硅还原炉阶梯渐进导流板夹套
255 并联双螺旋导流通道多晶硅还原炉底盘
256 带波纹管热补偿结构的多晶硅设备双层视镜
257 多晶硅氢还原炉
258 多晶硅生产中的氯硅烷、氢气混合的装置
259 多晶硅氢还原炉底盘的高温水冷却装置
260 多晶硅氢还原炉
261 多晶硅氢还原炉电极结构
262 多晶硅氢还原炉硅芯棒与石墨夹头的连接装置
263 多晶硅氢还原炉出气管的空气冷却装置
264 多晶硅生产中回收冷凝的装置
265 余热锅炉型多晶硅还原炉冷却装置
266 多晶硅太阳能电池铸锭用石英坩埚的氮化硅喷涂装置
267 多晶硅生产干法尾气回收四氯化硅淋洗塔
268 一次能取出多根多晶硅棒的取棒装置和取棒装置组合件
269 多晶硅提纯用真空电子束熔炼炉
270 多晶硅铸锭用高纯石英坩埚专用烧结炉
271 用于制备多晶硅的还原炉
272 一种多晶硅双硅芯拉制装置
273 一种多晶硅还原炉
274 PLC自动控制的多晶硅还原炉进气装置
275 多晶硅还原炉用硅芯电极
276 多晶硅太阳能电池铸锭用石英坩埚的氮化硅膜烘烤装置
277 多晶硅结晶炉炉壁保护的石英内衬
278 一种多晶硅铸锭炉硅液溢流保护结构
279 多晶硅晶体切割形成太阳能晶片的装置
280 用于制造具有透光孔的多晶硅太阳能电池的模具
281 多晶硅还原炉进气喷嘴
282 多晶硅晶棒的制造装置
283 由硅矿产出单晶硅或多晶硅连续纯化反应处理装置
284 多晶硅还原炉
285 多晶硅还原电源硅棒并串联的控制回路
286 用于定向凝固多晶硅铸造炉补充加料的定量给料器
287 用于多晶硅生产的三氯氢硅汽化装置的挥发器及控制系统
288 多晶硅还原炉用硅芯夹持装置
289 一种多晶硅料提纯设备
290 多晶硅破碎台
291 多晶硅氢化炉用碳/碳复合材料加热带结构
292 一种制备高纯多晶硅的还原设备
293 用于制备多晶硅颗粒的无筛板流化床反应装置
294 太阳能级多晶硅专用超耐磨球阀
295 超高频太阳能级单晶硅多晶硅原材料自动分拣机
296 测定多晶硅中磷、硼的含量的系统
297 多晶硅还原炉高压启动绝缘电极
298 一种多晶硅化学气相沉积装置