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1 多晶硅薄膜残余应变的在线检测结构及检测方法
2 低温多晶硅显示装置及其制作方法
3 一种抑制多晶硅针孔的多晶硅层缓冲局部场氧化硅结构工艺方法
4 多晶硅液晶显示器件的制造方法
5 具有多晶硅层的薄膜晶体管、制造方法及平板显示器
6 具有高性能集成电路多晶硅凝集熔消组件的互补金属氧化物半导体的工艺
7 以连续式侧向固化法形成多晶硅膜的方法及其光罩图案
8 电热致动多晶硅柔性铰支承杠杆式微夹钳
9 多晶硅的生产装置
10 形成具高电阻值的多晶硅薄膜的方法
11 利用双镶嵌工艺来制造T型多晶硅栅极的方法
12 利用双镶嵌工艺来形成T型多晶硅栅极的方法
13 形成T型多晶硅栅极的方法
14 一种纳米线宽多晶硅栅刻蚀掩膜图形的形成方法
15 15-50纳米线宽多晶硅栅的刻蚀方法
16 应用于高效能薄膜晶体管的多晶硅退火结构及其方法
17 化学机械抛光用于接合多晶硅插拴制造方法及其结构
18 形成多晶硅的方法和在硅基材料中的MOSFET器件
19 具有多晶硅插头的半导体器件的制造方法
20 制造双层多晶硅存储器元件的方法
21 形成多晶硅结构
22 在半导体装置中形成多晶硅层的方法
23 制备多晶硅薄膜的方法以及用其制备半导体器件的方法
24 制造双层多晶硅可改写非挥发性存储器的方法
25 低温多晶硅薄膜晶体管及其通道层的制造方法
26 低温多晶硅薄膜晶体管全集成有源选址基板及制备方法
27 低温多晶硅薄膜晶体管及其制造方法
28 多晶硅细脉熔丝
29 一种制备多晶硅的方法
30 制造内层多晶硅介电层的方法
31 多晶化方法、制造多晶硅薄膜晶体管的方法及用于该方法的激光辐照装置
32 形成具有粗糙表面的多晶硅的方法
33 多晶硅薄膜晶体管制造方法
34 改善栅极多晶硅层电阻值的方法
35 多晶硅薄膜晶体管的形成方法
36 彩色多晶硅微粒及其制备方法
37 平坦多晶硅薄膜晶体管的制作方法
38 闪存储器用的多层叠层多晶硅栅的平整方法
39 激光退火多晶硅薄膜晶体管栅绝缘层的制备方法
40 具有多晶硅层的显示面板及其制造方法
41 多晶硅薄膜晶体管离子感测装置与制作方法
42 用于多晶硅制作的辅助激光结晶的方法
43 形成多晶硅薄膜的方法，包含多晶硅薄膜的薄膜晶体管及其制造方法
44 浸沾法金属诱导碟形晶畴多晶硅薄膜材料及制备和应用
45 多晶硅化学机械研磨法来增进栅极微影能力的方法
46 带有掺杂多晶硅场发射阴极阵列结构的平板显示器及其制作工艺
47 溶液法金属诱导晶化大晶粒多晶硅薄膜材料及制备和应用
48 低温多晶硅薄膜晶体管显示面板及其制造方法
49 硅薄膜退火方法和由该方法制造的多晶硅薄膜
50 薄膜晶体管与多晶硅层的制造方法
51 一种制备太阳能级多晶硅的方法
52 具有多晶硅浮动隔离层的镜像存储单元晶体管对
53 激光辐射方法和形成多晶硅薄膜的装置
54 有机发光二极管显示面板及其多晶硅通道层的形成方法
55 具有单层多晶硅的镜像非易失性存储器单元晶体管对
56 单层多晶硅电可擦可编程只读存储器
57 一种多晶硅生产过程中的副产物的综合利用方法
58 一种改善线条粗糙度的多晶硅刻蚀方法
59 一种多晶硅刻蚀工艺中的颗粒控制方法
60 一种能够消除残气影响的多晶硅刻蚀工艺
61 一种提高各向异性的多晶硅脉冲刻蚀工艺
62 一种减少颗粒产生的多晶硅栅极刻蚀工艺
63 一种能够防止器件等离子体损伤的多晶硅刻蚀工艺
64 具有平坦表面的多晶硅薄膜及其制造方法
65 一种多晶硅振动膜硅微电容传声器芯片及其制备方法
66 精密多晶硅电阻器工艺
67 用于减小多晶硅高度的SOI底部预掺杂合并e-SiGe
68 多晶硅-绝缘层-多晶硅电容和高阻多晶硅器件及制作方法
69 用于沉积多晶硅的CVD装置
70 一种多晶硅刻蚀中的干法清洗工艺
71 多晶硅薄膜制造方法和具有其的薄膜晶体管的制造方法
72 一种去除多晶硅刻蚀工艺中残留聚合物的方法
73 一种防止多晶硅刻蚀中器件等离子损伤的刻蚀工艺
74 降低多晶耗尽效应的制作多晶硅栅极晶体管的方法
75 双胆碱和三胆碱在涂石英多晶硅和其它材料清洁中的用法
76 一种太阳能电池用高纯多晶硅的制备方法和装置
77 一种生产多晶硅用的还原炉
78 限定多晶硅图案的方法
79 激光薄膜多晶硅退火光学系统
80 激光薄膜多晶硅退火系统
81 单晶硅拉制炉及多晶硅冶炼炉用炭/炭隔热屏的制备方法
82 单晶硅拉制炉及多晶硅冶炼炉用炭/炭加热器的制备方法
83 多晶硅的制造方法
84 多晶硅栅极掺杂方法
85 多晶硅薄膜晶体管液晶显示面板及其制造方法
86 用于连续横向固化技术的掩膜及用其形成多晶硅层的方法
87 具有低掺杂漏极结构的低温多晶硅薄膜晶体管的制造方法
88 薄膜晶体管的制造方法与修补多晶硅膜层之缺陷的方法
89 用于在衬底上淀积多晶硅层的装置
90 用于多晶硅低温结晶化的金属催化剂掺杂装置及通过该装置进行掺杂的方法
91 高压水气退火的多晶硅薄膜晶体管组件的制作方法
92 铸模及其形成方法
93 形成多晶硅薄膜的方法及用该方法制造薄膜晶体管的方法
94 低温多晶硅液晶显示结构及其制造方法
95 形成多晶硅薄膜的方法
96 薄膜晶体管及低温多晶硅薄膜晶体管之多晶硅层的制造方法
97 廉价多晶硅薄膜太阳电池
98 P型太阳能电池等级多晶硅制备工艺
99 一种用稻壳制备太阳能电池用多晶硅的方法
100 采用无氯烷氧基硅烷制备多晶硅的方法
101 双掺杂多晶硅及锗化硅的蚀刻
102 利用双多晶硅的位线注入
103 一种低温多晶硅薄膜器件及其制造方法与设备
104 用于应变硅MOS晶体管的多晶硅栅极掺杂方法和结构
105 一种锌还原法生产多晶硅的工艺
106 一种太阳能级多晶硅的生产方法
107 直接沉积多晶硅的方法
108 高压集成电路中制作高阻值多晶硅电阻的方法
109 适用于有机发光二极管显示器的多晶硅薄膜象素电极
110 多晶硅/体硅ESD结构保护的垂直双扩散金属氧化物半导体功率器件
111 多晶硅ESD结构保护的垂直双扩散金属氧化物半导体功率器件
112 多晶硅板制备方法
113 多晶硅薄膜、其制法以及用该膜制造的薄膜晶体管
114 单层多晶硅非易失性存储器装置的操作方法
115 择优取向的多晶硅薄膜的制备方法
116 多晶硅太阳能发电并网装置
117 具有多晶硅薄膜晶体管的平板显示装置
118 使用固体激光器退火的多晶硅薄膜制备半导体器件的方法
119 低电压单层多晶硅电可擦编程只读存储器(EEPROM)存储单元
120 叠层储存电容器结构、低温多晶硅薄膜晶体管液晶显示器
121 一种在集成电路中使用α多晶硅的方法
122 用于静电放电保护的改善多晶硅-源区边界电场的结构
123 一种多晶硅存储元件及其制备方法
124 多晶硅炉的喷嘴
125 多晶硅薄膜的制作方法
126 多晶硅层、制造其的方法和平板显示器
127 多晶硅层、使用其的平板显示器及其制造方法
128 多晶硅太阳电池绒面的制备方法
129 形成多晶硅薄膜的方法
130 一种减少多晶硅生长工艺崩边的石英舟
131 具有金属和多晶硅栅电极的高性能电路及其制造方法
132 一种掺杂锗的定向凝固铸造多晶硅
133 利用浮动和/或偏置多晶硅区域的静电保护系统和方法
134 表面修饰溶液诱导晶化多晶硅薄膜的制备方法
135 多晶硅横向结晶方法以及应用其制造的多晶硅薄膜晶体管
136 具有发射极多晶硅源/漏区的EEPROM单元的制造
137 多晶硅层以及薄膜晶体管的制造方法
138 供高温力学量传感器用的纳米多晶硅-氮化铝隔膜-硅单晶衬底基片
139 生成低电阻自对准多晶硅化物栅极和台面接触区MOSFET器件的结构和方法
140 多晶硅膜的制造方法以及薄膜晶体管的制造方法
141 一种利用多晶硅构建ESD泄放通道的防护电路
142 形成多晶硅薄膜装置的方法
143 将非晶硅结晶成多晶硅的方法及使用于此方法之光刻掩膜
144 一种单一内嵌多晶硅存储结构及其操作方法
145 利用纵向多晶硅增加静电泄放通道的静电放电防护器件
146 多晶硅的除硼方法
147 用于增加多晶硅熔化速率的间歇式加料技术
148 一种太阳能多晶硅原料提纯制备方法
149 通过自对准形成多晶硅浮栅结构的方法
150 蘸取式多晶硅太阳能电池p-n结的制作方法
151 多晶硅晶棒的制造方法
152 低温直接沉积多晶硅薄膜晶体管及其制造方法
153 低温多晶硅薄膜晶体管结构及其制造方法
154 多晶硅薄膜晶体管阵列基板及其制造方法
155 用于制造单晶或多晶材料、尤其是多晶硅的装置和方法
156 用于显示影像的系统及低温多晶硅的激光退火方法
157 一种单层多晶硅、多位的非易失性存储元件及其制造方法
158 用单层多晶硅工艺形成高薄层电阻量电阻器和高电容量电容器
159 在金属和多晶硅化学机械研磨中减少大图案凹陷的方法
160 多晶硅锭制造装置
161 尤其在闪存中用于刻蚀多晶硅上钨硅化物的方法
162 利用多晶硅区的I/O ESD保护的系统和方法
163 一种多晶硅的提纯方法及其凝固装置
164 太阳能级多晶硅大锭的制备方法
165 高效太阳能电池用微晶多晶硅片无切割制备方法
166 多晶硅层及其制造方法
167 制作多晶硅薄膜的方法
168 低温多晶硅驱动电路
169 多晶硅铸锭炉的热场结构
170 用于产生结晶方向受控的多晶硅膜的系统和方法
171 多晶硅图案形成方法、多层交叉点电阻存储器及制造方法
172 多晶硅薄膜晶体管及其制造方法
173 多晶硅刻蚀腔体
174 单层多晶硅可电除可程序只读存储单元的制造方法
175 用于使低温多晶硅薄膜面板平面化的多晶硅平面化溶液
176 多晶硅原料低能耗提纯制备方法
177 一种太阳能电池用多晶硅制造方法
178 有源驱动有机电致发光显示屏中多晶硅TFT阵列的制作方法
179 超厚多晶硅回刻的方法
180 多晶硅控制的回蚀刻显示器
181 一种转化四氯化硅制取三氯氢硅和多晶硅的方法
182 太阳能等级多晶硅的制备方法
183 在流化床反应器中制备颗粒状多晶硅的方法和装置
184 以高纯石英砂为原料生产太阳能级多晶硅的方法
185 多晶硅片水基清洗剂
186 用于多晶硅铸锭工艺的石墨加热器
187 具有多晶硅浮置隔片的镜像存储单元晶体管对的制造方法
188 带有多晶硅场板的功率MOS场效应管及其制造方法
189 基于多晶硅特性制作热剪切应力传感器的方法
190 多晶硅炉观察装置
191 合成多晶硅原料三氯氢硅的方法
192 多晶硅化学机械抛光液
193 多晶硅级连二极管
194 多晶硅薄膜晶体管
195 具有多晶硅电极的半导体器件
196 去除多晶硅中杂质磷和金属杂质的方法及装置
197 多晶硅沉积制程
198 多晶硅薄膜的制备方法
199 修复多晶硅栅极侧壁刻蚀损伤的方法及栅极的制造方法
200 物料完全循环的太阳能级多晶硅氢锌还原方法
201 制备太阳能级多晶硅的新工艺
202 一种DRAM的多晶硅栅极制作方法
203 用于对多晶硅膜进行抛光的化学机械抛光浆料组合物及其制备方法
204 低磷太阳能级多晶硅的制备方法
205 一种连续生产多晶硅锭的定向凝固方法及其装置
206 多晶硅薄膜的制备方法
207 多晶硅的刻蚀方法
208 高纯度多晶硅的制造装置及制造方法
209 一种化学冶金提纯多晶硅的方法
210 一种用于多晶硅铸锭工艺的真空压力连续控制方法及其控制系统
211 一种多晶硅铸锭炉控温热偶故障处理方法
212 一种适于制造大尺寸高纯度多晶硅铸锭的真空炉
213 晶粒尺寸可控的多晶硅薄膜制备及检测装置
214 多晶硅制造方法及制造装置
215 制造多晶硅的方法
216 用于区域精制的多晶硅棒及其生产方法
217 快开式、水冷结构的多晶硅还原炉
218 多晶硅还原炉之水冷双层玻璃视镜
219 多晶硅还原炉之水冷电极
220 多晶硅单边去除方法
221 多晶硅膜阻值的测试方法
222 一种多晶硅尾气的净化方法以及使用该方法的净化装置
223 多晶硅层的制法、TFT及其制法及OLED显示装置
224 提高沟槽型双层栅功率MOS两多晶硅间击穿电压的方法
225 制造多晶硅薄膜的方法
226 一种流化床制备高纯度多晶硅颗粒的方法及流化床反应器
227 一种去除多晶硅中杂质磷的方法及装置
228 多晶硅的冶金提纯方法
229 镍溶液雾滴法制备碟型大晶畴多晶硅的方法及产品和应用
230 一种多晶硅薄膜的制备方法及其制备系统
231 生产多晶硅的方法
232 多晶硅铸锭炉自动控制系统及方法
233 高温真空预处理制备太阳能级多晶硅的方法
234 形成多晶硅的方法和采用多晶硅的薄膜晶体管及其制法
235 控制多晶硅移除的方法
236 提高多晶硅生产的方法及其装置
237 一种多晶硅定向凝固设备
238 一种多晶硅定向长晶热场结构
239 掩模与应用其形成多晶硅层的方法
240 一种制备多晶硅薄膜太阳电池的方法和装置
241 有机发光二极管低温多晶硅制造方法与激光退火结晶系统
242 单晶与多晶硅线切割用砂浆回收技术
243 从生产多晶硅所产生的尾气中回收氢气的方法
244 多晶硅铸锭炉同步提升装置
245 与CMOS兼容的单层多晶硅非易失性存储器
246 多晶硅的制法、薄膜晶体管及制法及有机发光二极管显示装置
247 制造n型多晶硅太阳能电池的方法
248 多晶硅铸锭炉及控制方法
249 一种多晶硅生产废物的综合利用方法
250 太阳能级多晶硅的提纯装置及提纯方法
251 多晶硅的制造方法
252 用于多晶硅结晶的不透明石英坩埚及其制造方法
253 沟槽式多晶硅二极管
254 从生产多晶硅所产生的尾气中回收二氯二氢硅的方法
255 从生产多晶硅所产生的尾气中回收氯化氢的方法
256 一种从生产多晶硅所产生的尾气中循环回收氯化氢的方法
257 利用四氯化硅对生产多晶硅所产生的尾气进行回收的方法
258 可回收循环利用尾气中的氯化氢的多晶硅生产方法
259 一种湿法冶金除多晶硅中硼的方法
260 应变硅晶体管的锗硅和多晶硅栅极结构
261 铸锭边皮和头料的多晶硅的酸洗方法
262 一种多晶硅片的制造方法
263 一种多晶硅片的制造方法
264 磁场下制备多晶硅太阳能电池绒面的方法
265 多晶硅生产方法
266 一种多晶硅生产方法
267 回收处理生产多晶硅所产生的尾气的方法
268 多晶硅破碎用锤
269 生产多晶硅的方法
270 制造太阳能级多晶硅的装置及其方法
271 回收生产多晶硅所产生的尾气的方法
272 用于制备粒状多晶硅的高压流化床反应器
273 多晶硅的洗净方法和洗净装置以及多晶硅的制造方法
274 使用流化床反应器制备颗粒多晶硅的方法
275 一种利用多晶硅生产废物制备无机化工产品的方法
276 采用金属芯结构制备高纯多晶硅棒的方法
277 太阳能多晶硅片的制备方法
278 多晶硅反应炉和多晶硅的制备方法
279 半导体器件制造过程中控制多晶硅薄层电阻的方法
280 半导体器件电容区上多晶硅阻值的控制方法