氮化钽涂层生产工艺 氮化钽加工技术【小套】
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1 氮化钽的刻蚀方法
2 用于3DAMR的氮化钽刻蚀方法
3 用于铜金属化的ALD氮化钽的集成
4 氮化钽片式薄膜电阻器及其制造方法
5 一种氮化钽反应离子刻蚀方法
6 超细高氮氮化钽粉末及其制备方法
7 一种氧氮化钽光催化材料的制备方法
8 氮化钽干法刻蚀后的清洁方法
9 一种调控氮化钽薄膜电阻阻值的方法
10 用于铜阻挡层应用的掺杂的氮化钽
11 氮化钽粉末及其制备方法，客服QQ:113`4268~395
12 氮化钽及双层的等离子体增强原子层淀积
13 氮化钽的刻蚀方法、磁传感器的形成方法
14 一种制备氧氮化钽组装介孔分子筛的方法
15 一种铜互联用氮化钽扩散阻挡层的制备方法
16 用于电解电容器基底的钽和氮化钽粉末混合物
17 一种氮化钽纳米管阵列电极及其制备方法
18 纪念币模具表面制备氮化钽涂层的工艺方法
19 一种离子注入调控氮化钽薄膜电阻阻值的方法
20 一种钴修饰氮化钽的可见光响应型光催化材料及其制备方法
21 作为用于铜金属化的阻挡层的原子层沉积氮化钽和α相钽
22 一种利用含氮的等离子体制备低阻钽和氮化钽双层阻挡层的方法
23 作为用于铜金属化的阻挡层的原子层沉积氮化钽和α相钽
24 用于铜、钽和氮化钽的化学机械法平面化的组合物
25 一种基于原子层沉积技术的氮化钽薄膜的制作工艺
26 一种低电阻温度系数、高电阻率氮化钽与钽多层膜的制备方法
27 低热导率材料上氮化钽扩散阻挡区域的等离子体增强原子层沉积
28 阳极氧化工艺控制氮化钽埋置薄膜电阻精度的方法
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2、资料说明：资料都是国家专利文献原版全文内容，含技术背景/原理、材料配方比例、制作方法、工艺步骤、技术关键、结构设计图（部分设备类有），以及发明人姓名、地址/邮编、申请日期、专利号、权利要求等详细信息。每一项专利文献的内容详略都是不同的，平均每一项4-10页，多的有几十页的。
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